光电测试技术 (2)精.ppt
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1、光电测试技术第1页,本讲稿共105页第四章 光电测试常用器件第2页,本讲稿共105页n n光电器件的类型与特点光电器件的类型与特点光电器件的类型与特点光电器件的类型与特点n n光电器件的基本特性参数光电器件的基本特性参数光电器件的基本特性参数光电器件的基本特性参数n n半导体光电器件半导体光电器件半导体光电器件半导体光电器件l l光电导器件光电导器件光电导器件光电导器件光敏电阻光敏电阻光敏电阻光敏电阻l l光伏器件光伏器件光伏器件光伏器件n n光电池光电池光电池光电池n n光电二极管光电二极管光电二极管光电二极管/三极管三极管三极管三极管n n真空光电器件真空光电器件真空光电器件真空光电器件l
2、 l光电管光电管光电管光电管l l光电倍增管光电倍增管光电倍增管光电倍增管n n热电检测器件热电检测器件热电检测器件热电检测器件l l热敏电阻热敏电阻热敏电阻热敏电阻l l热电偶和热电堆热电偶和热电堆热电偶和热电堆热电偶和热电堆l l热释电探测器件热释电探测器件热释电探测器件热释电探测器件第3页,本讲稿共105页1光电器件的类型与特点光电器件的类型与特点n n光电效应光电效应:光照射到物体表面上使物体的光照射到物体表面上使物体的电学特性发生变化电学特性发生变化n n光电子发射光电子发射:物体受光照后向外发射电子物体受光照后向外发射电子多发生于金属和金属氧化物多发生于金属和金属氧化物n n光电导
3、效应光电导效应:半导体受光照后,内部产生光生载半导体受光照后,内部产生光生载流子,使半导体中载流子数显著增加而电阻减少流子,使半导体中载流子数显著增加而电阻减少n n光生伏特效应光生伏特效应:光照在半导体光照在半导体PNPN结或金属结或金属半半导体接触上时,会在导体接触上时,会在PNPN结或金属结或金属半导体接触的半导体接触的两侧产生光生电动势。两侧产生光生电动势。第4页,本讲稿共105页光电检测器件的类型光电检测器件的类型n n光电检测器件是利用物质的光电效应把光信号转换成电信号的器件.n n光电检测器件分为两大类:l l光子(光电子)检测器件l l热电检测器件热电检测器件不同之处:对光信号
4、的响应无波长选择性不同之处:对光信号的响应无波长选择性第5页,本讲稿共105页光电检测器件光电检测器件光电检测器件光电检测器件光子器件光子器件光子器件光子器件热电器件热电器件热电器件热电器件真空器件真空器件真空器件真空器件固体器件固体器件固体器件固体器件光电管光电倍增管真空摄像管变像管像增强管光敏电阻光电池光电二极管光电三极管光纤传感器电荷耦合器件CCD热电偶/热电堆热辐射计/热敏电阻热释电探测器第6页,本讲稿共105页光电检测器件的特点光子器件光子器件热电器件热电器件响应波长有选择性,一般有响应波长有选择性,一般有截止波长,超截止波长,超 过该波长,过该波长,器件无响应。器件无响应。响应波长
5、无选择性,对可见响应波长无选择性,对可见光到远红外的各种波长的辐光到远红外的各种波长的辐射同样敏感射同样敏感响应快,吸收辐射产生信号响应快,吸收辐射产生信号需要的时间短,需要的时间短,一般为纳一般为纳秒到几百微秒秒到几百微秒响应慢,一般为几毫秒响应慢,一般为几毫秒第7页,本讲稿共105页3.2 3.2 器件的基本特性参数器件的基本特性参数n n响应特性n n噪声特性n n量子效率n n线性度n n工作温度第8页,本讲稿共105页一、响应特性一、响应特性响应度(或称灵敏度):是光电探测器输出信号与输入光功率之间关系的度量。描述的是光电探测器件的光电转换效率。l l响应度是随入射光波长变化而变化的
6、响应度是随入射光波长变化而变化的l l响应度分电压响应率和电流响应率响应度分电压响应率和电流响应率第9页,本讲稿共105页n n电压响应率电压响应率 光电探测器件输出电压与入射光功率光电探测器件输出电压与入射光功率之比之比n n电流响应率电流响应率 光电探测器件输出电流与入射光功率之比光电探测器件输出电流与入射光功率之比第10页,本讲稿共105页光谱响应度:即单色灵敏度 探测器在波长为的单色光照射下,输出电压或电流与入射的单色光功率之比积分响应度:检测器对各种波长光连续辐射量的反应程度第11页,本讲稿共105页响应时间:响应时间是描述光电探测器对入射光响应快慢的一个参数l l上升时间:入射光照
7、射到光电探测器后,光上升时间:入射光照射到光电探测器后,光电探测器输出上升到稳定值所需要的时间。电探测器输出上升到稳定值所需要的时间。l l下降时间:入射光遮断后,光电探测器输出下降时间:入射光遮断后,光电探测器输出下降到稳定值所需要的时间。下降到稳定值所需要的时间。第12页,本讲稿共105页n n表示时间响应选择性的方法:n n脉冲响应特性法 入射光亮度阶跃信号n n频率响应特性法 入射光辐射的调制频率第13页,本讲稿共105页n n光电探测器响应率与入射调制频率的关系光电探测器响应率与入射调制频率的关系 为调制频率为为调制频率为f f 时的响应率时的响应率 为调制频率为零时的响应率为调制频
8、率为零时的响应率 为时间常数(等于为时间常数(等于RCRC)频率响应:光电探测器的响应随入射光的调制频率而变化的特性称为频率响应l l由于光电探测器信号产生和消失存在着一个滞后过程,所以入由于光电探测器信号产生和消失存在着一个滞后过程,所以入射光的调制频率对光电探测器的响应会有较大的影响。射光的调制频率对光电探测器的响应会有较大的影响。第14页,本讲稿共105页:上限截止频率:上限截止频率时间常数决定了光电探测器频率响应的带宽时间常数决定了光电探测器频率响应的带宽返回返回第15页,本讲稿共105页二、噪声特性n n在一定波长的光照下光电探测器输出在一定波长的光照下光电探测器输出的电信号并不是平
9、直的,而是在平均的电信号并不是平直的,而是在平均值上下随机地起伏,它实质上就是物值上下随机地起伏,它实质上就是物理量围绕其平均值的涨落现象。理量围绕其平均值的涨落现象。n n用均方噪声来表示噪声值大小用均方噪声来表示噪声值大小第16页,本讲稿共105页n n噪声在实际的光电探测系统中是极其有害的。噪声在实际的光电探测系统中是极其有害的。n n由于噪声总是与有用信号混在一起,因而影响对由于噪声总是与有用信号混在一起,因而影响对信号特别是微弱信号的正确探测。信号特别是微弱信号的正确探测。n n一个光电探测系统的极限探测能力往往受探测系统一个光电探测系统的极限探测能力往往受探测系统的噪声所限制。的噪
10、声所限制。n n所以在精密测量、通信、自动控制等领域,减小和所以在精密测量、通信、自动控制等领域,减小和消除噪声是十分重要的问题。消除噪声是十分重要的问题。第17页,本讲稿共105页光电探测器常见的噪声n n热噪声n n散粒噪声n n产生-复合噪声n n1/f噪声第18页,本讲稿共105页1 1、热噪声、热噪声n n或称约翰逊噪声,即载流子无规则的或称约翰逊噪声,即载流子无规则的热运动造成的噪声。热运动造成的噪声。n n导体或半导体中每一电子都携带着电子导体或半导体中每一电子都携带着电子电量作随机运动电量作随机运动(相当于微电脉冲相当于微电脉冲),尽,尽管其平均值为零,但瞬时电流扰动在导体管其
11、平均值为零,但瞬时电流扰动在导体两端会产生一个均方根电压,称为热噪声两端会产生一个均方根电压,称为热噪声电压。电压。n n热噪声存在于任何电阻中,热噪声与温热噪声存在于任何电阻中,热噪声与温度成正比,与频率无关,热噪声又称为度成正比,与频率无关,热噪声又称为白噪声白噪声第19页,本讲稿共105页2 2、散粒噪声、散粒噪声n n散粒噪声:入射到光探测器表面的光子是散粒噪声:入射到光探测器表面的光子是随机的,光电子从光电阴极表面逸出是随随机的,光电子从光电阴极表面逸出是随机的,机的,PNPN结中通过结区的载流子数也结中通过结区的载流子数也是随机的。是随机的。n n散粒噪声也是白噪声,与频率无关。散
12、粒噪声也是白噪声,与频率无关。n n散粒噪声是光电探测器的固有特性,对散粒噪声是光电探测器的固有特性,对大多数光电探测器的研究表明:散粒噪大多数光电探测器的研究表明:散粒噪声具有支配地位。声具有支配地位。n n例如光伏器件的例如光伏器件的PNPN结势垒是产生散粒噪结势垒是产生散粒噪声的主要原因。声的主要原因。第21页,本讲稿共105页3 3、产生、产生-复合噪声复合噪声n n半导体受光照,载流子不断产生-复合。n n在平衡状态时,在载流子产生和复合的平均数是一定的n n但在某一瞬间载流子的产生数和复合数是有起伏的。n n载流子浓度的起伏引起半导体电导率的起伏。第23页,本讲稿共105页4 4、
13、1/f1/f噪声噪声n n或称闪烁噪声或低频噪声。n n噪声的功率近似与频率成反比n n多数器件的1/f噪声在200300Hz以上已衰减到可忽略不计。第24页,本讲稿共105页、信噪比、信噪比n n信噪比是判定噪声大小的参数。信噪比是判定噪声大小的参数。n n是负载电阻上信号功率与噪声功率之比是负载电阻上信号功率与噪声功率之比n n若用分贝(若用分贝(dBdB)表示,为)表示,为第25页,本讲稿共105页、噪声等效功率、噪声等效功率(NEP)(NEP)n n定义:信号功率与噪声功率比为定义:信号功率与噪声功率比为1 1(SNR=1SNR=1)时,入)时,入射到探测器件上的辐射通量射到探测器件上
14、的辐射通量(单位为瓦单位为瓦)。n n这时,投射到探测器上的辐射功率所产生的输出电压这时,投射到探测器上的辐射功率所产生的输出电压(或电流)等于探测器本身的噪声电压(或电流)(或电流)等于探测器本身的噪声电压(或电流)n n一般一个良好的探测器件的一般一个良好的探测器件的NEPNEP约为约为1010-11-11WW。n nNEPNEP越小,噪声越小,器件的性能越好。越小,噪声越小,器件的性能越好。第26页,本讲稿共105页 噪声等效功率是一个可测量的量。设入射辐射的功率为P,测得的输出电压为U0 然后除去辐射源,测得探测器的噪声电压为UN 则按比例计算,要使U0UN,的辐射功率为第27页,本讲
15、稿共105页、探测率与归一化探测率、探测率与归一化探测率探测率探测率D D定义为噪声等效功率的倒数定义为噪声等效功率的倒数经经过过分分析析,发发现现NEPNEP与与检检测测元元件件的的面面积积A Ad d和和放放大器带宽大器带宽 f f 乘积的平方根成正比乘积的平方根成正比归一化探测率归一化探测率D D*,即,即D D*与探测器的敏感面积、放大器的带宽无关。与探测器的敏感面积、放大器的带宽无关。D D*(500K,900,1)*(500K,900,1)返回第28页,本讲稿共105页三、量子效率()n n量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生的量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生的光电子数
16、与入射光量子数之比。光电子数与入射光量子数之比。n n对理想的探测器,入射一个光量子发射一个电子,对理想的探测器,入射一个光量子发射一个电子,=1=1n n实际上,实际上,11n n量子效率是一个微观参数,量子效率愈高愈量子效率是一个微观参数,量子效率愈高愈好。好。第29页,本讲稿共105页量子效率与响应度的关系量子效率与响应度的关系I/q:每秒产生的光子数P/h:每秒入射的光子数第30页,本讲稿共105页四、线性度n n线性度是描述光电探测器输出信号与输入信号保持线线性度是描述光电探测器输出信号与输入信号保持线性关系的程度。性关系的程度。n n在某一范围内探测器的响应度是常数,称这个范围为在
17、某一范围内探测器的响应度是常数,称这个范围为线性区。线性区。n n非线性误差:非线性误差:maxmax/(I/(I2 2 I I1 1)maxmax:实际实际响响应应曲曲线线与与拟拟合曲合曲线线之之间间的最大偏差;的最大偏差;I I2 2 和和 I I1 1:分分别为线别为线性区中最小和最大响性区中最小和最大响应值应值。第31页,本讲稿共105页五、工作温度n n工作温度就是指光电探测器最佳工作状态时的温度。n n光电探测器在不同温度下,性能有变化。例如,半导体光电器件的长波限和峰值例如,半导体光电器件的长波限和峰值波长会随温度而变化;热电器件的响应波长会随温度而变化;热电器件的响应度和热噪声
18、会随温度而变化。度和热噪声会随温度而变化。第32页,本讲稿共105页光电探测器的合理选择n n根据待测光信号的大小,确定探测器能输出多大的电根据待测光信号的大小,确定探测器能输出多大的电信号,即探测器的动态范围信号,即探测器的动态范围n n探测器的光谱响应范围是否同待测光信号的相对光探测器的光谱响应范围是否同待测光信号的相对光谱功率分布一致,及探测器和光源的光谱匹配谱功率分布一致,及探测器和光源的光谱匹配n n对某种探测器,能探测的极限功率或最小分辨率是对某种探测器,能探测的极限功率或最小分辨率是多少,即需要知道探测器的等效噪声功率,需要知多少,即需要知道探测器的等效噪声功率,需要知道所产生的
19、电信号的信噪比。道所产生的电信号的信噪比。n n当测量调制或脉冲光信号时,要考虑探测器的响当测量调制或脉冲光信号时,要考虑探测器的响应时间或者频率响应范围应时间或者频率响应范围n n当测量的光信号幅值变化时,探测器输出的信号的线当测量的光信号幅值变化时,探测器输出的信号的线性程度。性程度。第33页,本讲稿共105页3.3 半导体光电器件半导体光电器件n n光敏电阻光敏电阻n n光电池光电池n n光电二极管光电二极管n n光电三极管光电三极管第34页,本讲稿共105页一、光敏电阻n n光敏电阻是光电导型器件。光敏电阻是光电导型器件。n n光敏电阻材料:主要是硅、锗和化合物半导体,例光敏电阻材料:
20、主要是硅、锗和化合物半导体,例如:硫化镉(如:硫化镉(CdSCdS),锑化铟(),锑化铟(InSbInSb)等。)等。n n特点:特点:l l光谱响应范围宽(特别是对于红光和红外辐射);光谱响应范围宽(特别是对于红光和红外辐射);l l偏置电压低,工作电流大;偏置电压低,工作电流大;l l动态范围宽,既可测强光,也可测弱光;动态范围宽,既可测强光,也可测弱光;l l光电导增益大,灵敏度高;光电导增益大,灵敏度高;l l无极性,使用方便;无极性,使用方便;l l在强光照射下,光电线性度较差在强光照射下,光电线性度较差l l光电驰豫时间较长,频率特性较差。光电驰豫时间较长,频率特性较差。第35页,
21、本讲稿共105页光敏光敏电阻电阻(LDR)(LDR)和它的和它的符号符号:符号符号第36页,本讲稿共105页1.光敏电阻的工作原理光敏电阻的工作原理光敏电阻的工作原理光敏电阻的工作原理n n光敏电阻结构光敏电阻结构光敏电阻结构光敏电阻结构:在一块均匀光电导体两:在一块均匀光电导体两:在一块均匀光电导体两:在一块均匀光电导体两端加上电极,贴在硬质玻璃、云母、高端加上电极,贴在硬质玻璃、云母、高端加上电极,贴在硬质玻璃、云母、高端加上电极,贴在硬质玻璃、云母、高频瓷或其他绝缘材料基板上,两端接有频瓷或其他绝缘材料基板上,两端接有频瓷或其他绝缘材料基板上,两端接有频瓷或其他绝缘材料基板上,两端接有电
22、极引线,封装在带有窗口的金属或塑电极引线,封装在带有窗口的金属或塑电极引线,封装在带有窗口的金属或塑电极引线,封装在带有窗口的金属或塑料外壳内。(料外壳内。(料外壳内。(料外壳内。(如图如图如图如图)n n工作机理工作机理工作机理工作机理:当接受光照的时候,光生载流:当接受光照的时候,光生载流:当接受光照的时候,光生载流:当接受光照的时候,光生载流子迅速增加,阻值急剧减小。在外电场作子迅速增加,阻值急剧减小。在外电场作子迅速增加,阻值急剧减小。在外电场作子迅速增加,阻值急剧减小。在外电场作用下,光生载流子沿一定方向运动,形成用下,光生载流子沿一定方向运动,形成用下,光生载流子沿一定方向运动,形
23、成用下,光生载流子沿一定方向运动,形成电流。电流。电流。电流。第37页,本讲稿共105页入射光入射光返回第38页,本讲稿共105页本征型和杂质型光敏电阻n n本征型光敏电阻本征型光敏电阻:当入射光子的:当入射光子的能量等于或大于半导体材料的禁能量等于或大于半导体材料的禁带宽度带宽度EgEg时,激发一个电子空时,激发一个电子空穴对,在外电场的作用下,形成穴对,在外电场的作用下,形成光电流。光电流。n n杂质型光敏电阻杂质型光敏电阻:对于型半导:对于型半导体,当入射光子的能量等于或大体,当入射光子的能量等于或大于杂质电离能于杂质电离能 时,将施主能级时,将施主能级上的电子激发到导带而成为导电上的电
24、子激发到导带而成为导电电子,在外电场的作用下,形成电子,在外电场的作用下,形成光电流。光电流。n n本征型用于可见光长波段本征型用于可见光长波段,杂质型杂质型用于红外波段。用于红外波段。价带导带电子空穴Eg价带导带电子空穴施主第39页,本讲稿共105页光电导与光电流n n光敏电阻两端加电压(直流或交流)无光照时,光敏电阻两端加电压(直流或交流)无光照时,阻值(阻值(暗电阻暗电阻)很大,电流()很大,电流(暗电流暗电流)很小;光照)很小;光照时,光生载流子迅速增加,阻值(时,光生载流子迅速增加,阻值(亮电阻亮电阻)急剧减少)急剧减少在外场作用下,光生载流子沿一定方向运动,在外场作用下,光生载流子
25、沿一定方向运动,形成光电流(形成光电流(亮电流亮电流)。)。n n光电流:亮电流和暗电流之差;光电流:亮电流和暗电流之差;I I光光 =I IL L -I -Id dn n光电导:亮电流和暗电流之差;光电导:亮电流和暗电流之差;g g =g gL L -g -gd d第40页,本讲稿共105页n n光敏电阻的暗阻越大越好,而亮阻越小越好,也就是说暗电流要小,亮电流要大,这样光敏电阻的灵敏度就高。n n光电流与光照强度电阻结构的关系。第41页,本讲稿共105页n n无光照,暗电导率无光照,暗电导率n n光照下电导率光照下电导率 第42页,本讲稿共105页n n附加光电导率附加光电导率附加光电导率
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