光台电测清洗工序工艺知识精.ppt
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1、光台电测清洗工序工艺知识第1页,本讲稿共33页第2页,本讲稿共33页第3页,本讲稿共33页清洗工艺的目的清洗工艺是采用物理的化学的方法将残留在清洗工艺是采用物理的化学的方法将残留在LCD产品产品表面及夹缝中的液晶分子及污染物清洗掉,以保证表面及夹缝中的液晶分子及污染物清洗掉,以保证产品的清洁。产品的清洁。清洗分为:清洗分为:1、有机溶剂、弱酸、弱碱清洗。、有机溶剂、弱酸、弱碱清洗。2、等离子风清洗。、等离子风清洗。3、紫外清洗。、紫外清洗。4、超声、喷淋、气流清洗。、超声、喷淋、气流清洗。第4页,本讲稿共33页清洗工艺的原理众所周知,人们所听到的声音是频率众所周知,人们所听到的声音是频率20-
2、20000Hz的声波信号,的声波信号,高于高于20000Hz的声波称之为超声波,声波的传递依照正弦曲线的声波称之为超声波,声波的传递依照正弦曲线纵向传播,即一层强一层弱,依次传递,当弱的声波信号作用纵向传播,即一层强一层弱,依次传递,当弱的声波信号作用于液体中时,会对液体产生一定的负压,即液体体积增加,液于液体中时,会对液体产生一定的负压,即液体体积增加,液体中分子空隙加大,形成许许多多微小的气泡,而当强的声波体中分子空隙加大,形成许许多多微小的气泡,而当强的声波信号作用于液体时,则会对液体产生一定的正压,即液体体积信号作用于液体时,则会对液体产生一定的正压,即液体体积被压缩减小,液体中形成的
3、微小气泡被压碎。经研究证明:超被压缩减小,液体中形成的微小气泡被压碎。经研究证明:超声波作用于液体中时,液体中每个气泡的破裂会产生能量极大声波作用于液体中时,液体中每个气泡的破裂会产生能量极大的冲击波,相当于瞬间产生几百度的高温和高达上千个大气压,的冲击波,相当于瞬间产生几百度的高温和高达上千个大气压,这种现象被称之为这种现象被称之为“空化作用空化作用”,超声波清洗正是用液体中气,超声波清洗正是用液体中气泡破裂所产生的冲击波来达到清洗和冲刷工件内外表面的作用。泡破裂所产生的冲击波来达到清洗和冲刷工件内外表面的作用。第5页,本讲稿共33页第6页,本讲稿共33页清洗不净造成的后果:清洗不净造成的后
4、果:1、产品清洗不净会有残留液晶在、产品清洗不净会有残留液晶在LCD表面及夹缝,影表面及夹缝,影响产品性能。响产品性能。3、产品清洗不净对外电极的污染,影响上、产品清洗不净对外电极的污染,影响上PIN质量。质量。2、产品清洗不净会残留清洗剂,残留清洗剂与液、产品清洗不净会残留清洗剂,残留清洗剂与液晶或污物等发生混合,在加电作用下,会发生电化晶或污物等发生混合,在加电作用下,会发生电化学反应,对电极可能造成腐蚀。学反应,对电极可能造成腐蚀。第7页,本讲稿共33页第8页,本讲稿共33页用什么材料清洗?本工序常用的清洗材料有:Fisher336A,Fisher12BQ 第9页,本讲稿共33页清洗工艺
5、参数:药液温度:505纯水温度:55 5烘干温度:85第10页,本讲稿共33页清洗造成的清洗造成的PI损伤:损伤:因产品反复清洗,清洗时间过长,造成了产品的因产品反复清洗,清洗时间过长,造成了产品的PI损伤,损伤,PI损伤的产品集中在集成度偏小的产品上。损伤位置如图:损伤的产品集中在集成度偏小的产品上。损伤位置如图:第11页,本讲稿共33页第12页,本讲稿共33页因为超声清洗的超声震子是平行于清洗槽的底部,因为超声清洗的超声震子是平行于清洗槽的底部,超声是由下往上进行震动的,当超声碰到水面反超声是由下往上进行震动的,当超声碰到水面反弹,这一上一下形成柱波,柱波的波峰与波谷交弹,这一上一下形成柱
6、波,柱波的波峰与波谷交替相叠。在柱波的波谷处超声功率为最强,而产替相叠。在柱波的波谷处超声功率为最强,而产品在超声的震动下产生了积分力,因此产品受力品在超声的震动下产生了积分力,因此产品受力较大部位发生了形变,当形变大于较大部位发生了形变,当形变大于SPASER粒径粒径时,时,SPASER会随着超声频率来回滚动,因此造会随着超声频率来回滚动,因此造成成PI损伤。损伤。第13页,本讲稿共33页清洗槽水面震子波峰波谷第14页,本讲稿共33页我们既然知道了我们既然知道了PI损伤产生的原因,又如损伤产生的原因,又如何解决呢?何解决呢?既然既然PI损伤是由于产品受到了功率较强的波柱损伤是由于产品受到了功
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