TFT行业术语最全.ppt
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1、B4-制造部新人培训资料TFT-LCD 通用术语简介Page 2一般专有名词124Contents3345678洁净间工厂自动化生产作业系统及工艺日常用语产品评价用语QA用语不良用语Page 3日常使用的英文名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Organization 组织Manufacturing Department 制造部Production Management Department 生产管理部Manager 经理Minister 部长section chief 科长Section Manager 助理(公司中称为主任)Supervisor 管理者Line Leader 组长Op
2、erator 作业员Page 4日常使用的英文名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Performance Evaluation 绩效考核Poor 表现差的Fair 普通Good 表现好的Excellent 优秀Outstanding 卓越Improve 有待改进 TeamWork 联合协作,团队(Team)Speed 速度Quality 品质TerminologyPage 5一般专有名词124Contents3345678洁净间工厂自动化生产作业系统及工艺日常用语产品评价用语QA用语不良用语Page 6一般专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明TFT(Thin Film Tran
3、sistor)薄膜晶体管,一般代指薄膜液晶显示器LCD(Liquid Crystal Display)用电场、磁场等外部影响,改变液晶分子排列,改变液晶分子结构的光学特性后,利用其明暗效果的显示元件LED(Light Emitting Diode)发光二极管,是一种固态的半导体器件,它可以直接把电转化为光Glass,substrate or glass substrate 玻璃基板,缩写GLSC/FColor Filter 的简称,制造Color 液晶显示元件时使用的主要原材料,指按一定的顺序排列了Red,Green,Blue像素的薄膜Panel 面板,缩写PNL,常指独立的液晶屏幕Modul
4、e 模组,指后段组装制程Monitor 监视器,显示器NB Notebook 的简称,笔记本电脑TV Television 的简称,电视机Page 7一般专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Resolution 分辨率,解析度Active Area 有效显示区,即可显示文字图形的总面积Aperture Ratio开口率,即每个像素可透光的有效区域除以像素的总面积,开口率越高,整体画面越亮 Black Matrix 黑矩阵,用来遮住R、G、B 各Pixel 间之空隙,可大幅减少LCD 光点间彼此干扰所产生的光害 Luminance 明亮度,指产品本身的可见亮度Gray Level灰度,
5、用黑色调表示物体 每个灰度对象都具有从 0%(白色)到 100%(黑色)的亮度值Response Time 响应时间,液晶由暗转亮(Rising)或者是由亮转暗(Falling)的反应时间,分别为上升时间和下降时间Contrast Ratio 对比度,白色画面(最亮时)下的亮度除以黑色画面(最暗时)下的亮度View Angle视角,面对屏幕,往其上、下、左、右四方观测,调整此屏幕直到其无法由此四方看到屏幕画面之角度Uniformity 均匀度,画面的均匀度 Page 8一般专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Pixel and DotPixel 是Picture Element的简称
6、,Color Filter Stripe上的3个R、G、B Dot统称为单位像素,Dot(or Sub-pixel)指上述R、G、B 的 各个像素RGB(Red,Green,Blue)指红、绿、蓝三原色Pitch 尺寸Model 型号Super VGA 显示器之显像分辨率单位,其横向扫描线数目为600 条,纵向画素为800 颗 SXGA 显示器之显像分辨率单位,其横向扫描线数目为800 条,纵向画素为1400 颗SXGA 显示器之显像分辨率单位,其横向扫描线数目为1020 条,纵向画素为1400 颗UXGA 显示器之显像分辨率单位,其横向扫描线数目为1400 条,纵向画素为1600 颗Oper
7、ation 活动,操作HDHigh Definition,高解析度,显示萤幕的解析度1280*720 即可以列为HD 等级 Page 9一般专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明FHD Full Hight Definition,全高清,支持1920*1080P Material 材料,物料Page 10一般专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Standard 标准(指作业标准或品质指标)Yield 良品率Quality 品质,质量CIM(Computer Integration Manufacturing)电脑整合制造系统(指以电脑系统整合制造流程)FA(Factory A
8、utomation)工厂自动化Entry 入口Exit 出口Precaution 预防措施Warning 警告Emergency 紧急(常用在设备的紧急按钮处)Page 11一般专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Alarm 警报PM(Preventive Maintenance)预防保养Run 运行Down 停机(一般为设备故障原因)E-Time Engineer 测试时间Idle 空闲,闲置Page 12一般专有名词124Contents3345678洁净间工厂自动化生产作业系统及工艺日常用语产品评价用语QA用语不良用语Page 13洁净间专有名词英 文 专 有 名 词 中 文
9、说 明Clean room洁净室,维持特定水平以上的操作环境的区域。如Particle,温度,湿度,震动,静电,噪音,室内气压,室内气流,室内气流风速等。Smock room 更衣室,出入Clean Room 换着Smock的场所Particle微粒子,是大气灰尘及装备/DI Water产生的污染物质等的总称,通常指大小在00011000um的固体或液体粒子HEPA(High Efficient Particulate Air)filter 高效能粒子空气过滤网Contamination 污染Temperature(TEMP)温度Humidity 湿度Pressure 压力UPW(Ultra-
10、Pure Water)超纯水(产线内较少使用)DIW(De-Ionized Water)去离子水(如更衣室等处使用)Page 14洁净间专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明IPA(Isopropyl Alcohol)异丙醇(擦设备或地板使用,有一定腐蚀作用,在去光阻制程中亦用来清除玻璃基板上的有机残留物)Sticky mat 脚踏粘垫Cleanliness 洁净度ESD(Electro-static Discharge)静电破坏Alcohol 酒精Acetone 丙酮Dust 灰尘Air shower 气浴室(风淋间)Prohibit 禁止Clean suit(bunny suit,
11、dust-free garment)无尘衣Page 15洁净间专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Glove 手套Hairnet 网帽Hood 头罩Mask 口罩Clean shoes(dust-free shoes,boots)无尘鞋Vacuum cleaner 真空吸尘器Dryer 烘干机Clean Wiper 无尘布Page 16一般专有名词124Contents3345678洁净间工厂自动化生产作业系统及工艺日常用语产品评价用语QA用语不良用语Page 17工厂自动化专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明AGV(Automatic Guided Vehicle)自动搬
12、运车OHS(Overhead Shuttle)轨道行走的天车OHT(Overhead Transfer)吊行的天车Stocker(clean depot)物料存储系统,现行Line为放Cassette(盒子)的暂存区,缩写为STKBattery 电池Bay 作业区(区域)Controller 控制器Conveyor 输送带Shelf Stocker内存储CST的位置Crane 搬运车(在Stocker內)Page 18工厂自动化专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明FFU(Fan Filter Unit)风扇过滤单元Host 主机I/O(Input/Output)输入/输出Inter-
13、bay 作业区和作业区之间Intra-bay 作业区之内IR(Infra-Red)红外线Retrieve【电脑】检索,截取(资料)SCARA arm AGV的传送手臂Reset 重新设定,重启Transportation 传输Page 19一般专有名词124Contents3345678洁净间工厂自动化生产作业系统及工艺日常用语产品评价用语QA用语不良用语Page 20生产作业系统及工艺专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Array Line阵列产线,为进行Thin Film、Photo、Etch工艺的生产Line是Array Line,主要制造Glass上面TFT(Thin Fil
14、m Transistor)结构Cell Line成盒产线,进行PI Coating、Rubbing、Filling、Seal/TR印刷工艺等生产Line是Cell Line,主要生产 TFT-LCD Cell状态产品的过程Module Line模块产线,是用TCP(Tape Carrier Package)将PCB与CELL进行连接,并使用BEZEL进行组装的Assy 工艺等的生产Line,是生产TFT Module产品的过程Test Line检测产线,对Array Line各层及Cell Line各工序不良产生及稳定性检验的系统产线,起不良反馈与维修的作用C/F Line彩膜产线,制造Col
15、or 液晶显示器时使用的主要原材料生产线,按一定顺序排列了Red,Green,Blue像素的薄膜基板Polarizer(POL)将入射光分为2个直交的偏光,透射其中特定方向的光线,吸收或分散别的光线后,将透射光变为 偏振光的高分子FilmBacklight(B/L)为了给 LCD提供光源,在Panel后部组装的发光部件,有EL,LED 等Lot以一定的目的捆绑为一个单位的状态制造工艺上考虑作业时间及库存等情况后决定最佳的 Lot Size,并使用Recipe 程式,制程参数Stock out 将Cassette 取出Page 21生产作业系统及工艺专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明
16、TNTwisted Nematic 扭曲向列。液晶分子的扭曲取向偏转90,主要功能是电力低耗和产品显示数据的丰富的相关模块。STNSpuer Twisted Nematic,超级扭曲向列。用电场改变原为180度以上扭曲的液晶分子的排列从而改变旋光状态,外加电场通过逐行扫描的方式改变电场,将将入射光旋转180270度。FSTNFormulated Super Twisted Nematic,格式化超级扭曲向列。与普通STN的区别主要是使用的偏光片不同,视角宽,可实现黑白显示,具有较好的对比度。OSDon-screen display的简称,即屏幕菜单式调节方式。一般是按Menu键后屏幕弹出的显示
17、器各项调节项目信息的矩形菜单,可通过该菜单对显示器各项工作指标包括色彩、模式、几何形状等进行调整,从而达到最佳的使用状态。PAL Phase Alternating Line,PAL制式(逐行倒相制式),是电视广播制式的一种,它对同时传送的两个色差信号中的一个色差信号采用逐行倒相,另一个色差信号进行正交调制方式。PAL制对相位失真不敏感,图像彩色误差较小,与黑白电视的兼容也好。NTSC National Television Systems Committee,NTSC制式,全国电视系统委员会制式。按照隔行扫描CCFL(CCFT)Cold Cathode Fluorescent Light/T
18、ube,冷阴极荧光灯。CRT Cathode Radial Tube,阴极射线管。LCM Liquid Crystal Module,液晶模块。Duty 占空比,高出点亮的阀值电压的部分在一个周期中所占的比率。Page 22生产作业系统及工艺专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Request 请求,要求Transfer 传送,运送Instruction 命令,指令Select 选择Cancel 取消Support 支援Process 工艺,制程Start 开始Comp Completion 的缩写,意指完成Page 23生产作业系统及工艺专有名词英 文 专 有 名 词 中 文 说 明
19、Batch 批量 ID(Identity)识别码(如Lot ID or Chip ID)Sheet 片(Array 区玻璃基版计数单位)Chip 片(Cell 区玻璃计数单位)Inspection 检验 Defect 不良,缺陷,Line内应用时指制程不良等Production 生产Hold 留置在当前工序(如有品质问题时或以示区分时)Release 将Hold 住的产品释出,放行Equipment 设备(简称为EQP)Page 24英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Tool 工具WIP(Work In Process)在工,在制品(制程在制品)Cassette 装在制品的盒子Empty
20、空的,清空Reserve 预约Report 报告Scrap 报废,废弃处理Rework 返工,修复后再工艺Log on 登录Log off 退出Metal 金属 生产作业系统及工艺专有名词Page 25英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Target 靶、目标、目的MoW(Moly-tungsten)钨化钼 Mo(Molybdenum)钼ITO(Indium Tin Oxide)铟锡氧化物 Al(Aluminum)铝 AlNd(Aluminum and Neodymium Alloy)铝和钕的合金以上皆为溅镀机金属靶的材料之一 Reticle or Mask 光罩 Detergent 界面活
21、性剂的一种LAL-50 含NH4F与HF,为清洗机用来清洗玻璃表面氧化层的化学溶液 Note 注解生产作业系统及工艺专有名词Page 26英 文 专 有 名 词 中 文 说 明O3(Ozone)臭氧,主要为各制程用来清除有机物的污染或残留NBA(1-butyl Acetate)乙酸正丁酯,主要用来清洗旋转涂布光阻时残留在玻璃边缘的光阻液 Resist or Photo Resist 光阻(简称PR)HMDS Hexamethyldisilazane的简写,为一种化学中间体,用以增加光阻涂布时对晶片表面之附着力 AC-1 带静电防止剂(ESD-Preventer),在上光阻机內使用,防止静电产生
22、,破坏玻璃元件 TMAH Tetra-Methyl Ammonium Hydroxide 的简写,为厂內所使用的显影液 Oxalic Acid(H2C2O4)草酸,湿蚀刻机中用来蚀刻5PEP中的a-ITO 膜 DHF 成份为49%氢氟酸HF,主要为湿蚀刻机中用来蚀刻7PEP 中的SiNx 膜 CD(critical dimension)关键尺寸(线路关键处的线宽或间距)ITO-Etchant 成份中含盐酸HCl 及硝酸HNO3,主要用来蚀刻7PEP 中的Poly-ITO 生产作业系统及工艺专有名词Page 27英 文 专 有 名 词 中 文 说 明BHF 成份中含氟化铵NH4F 及HF,主要用
23、来蚀刻7PEP中的SiON Al-Etchant 成份中含乙酸CH3COOH、磷酸H3PO4 及硝酸HNO3,主要用来蚀刻Mo/Al/Mo 的沉积层 IPA 异丙醇 Isopropyl Alcohol 的简称,主要用来作为设备擦拭液,在去光阻制程中亦用来清除玻璃基板上的有机残留物(如光阻或去光阻液)N-300 去光阻液,N-300 为厂商型号,成份为单乙醇铵与单丁醚的混合物(Process)Gas(制程)气体目前大多数种类的气体,多为提供CVD,Sputter 及干蚀刻电浆源之用 SiH4 矽甲烷制程气体(洩漏有爆炸危险)NH3 氨制程气体 N2O 笑气制程气体 N2 氮气制程气体,常用为破真
24、空Vent 或吹干的媒介 PH3 磷化氢制程气体 生产作业系统及工艺专有名词Page 28英 文 专 有 名 词 中 文 说 明H2 氢气制程气体 NF3 氟化氮制程气体,常用为清除CVD 反应室壁沉积矽Si 媒介 Kr 氪气制程气体,用来轰击溅镀机上的金属靶 Ar 氩气制程气体,用来轰击溅镀机上的金属靶或常用为加热设备的热传媒介 O2 常用来作电浆的基本组成 BCl3 氯化硼制程气体,在干蚀刻中用以作为蚀刻AlNd 的电浆源 SF6 氟化硫制程气体,常用的主要干蚀刻电浆源以为提供蚀刻主原料氟的来源 He 氦气制程气体,混合在其它制程气体中,共同形成电浆源,使电浆组成分布均勻 Cl2 氯气制程
25、气体 HCl 氯化氢制程气体,刻蚀n+时的电浆源之一 生产作业系统及工艺专有名词Page 29英 文 专 有 名 词 中 文 说 明CF4 四氟化碳制程气体,常用的主要干蚀刻电浆源以为提供蚀刻主原料氟的来源 Vender(Vendor)厂商,供货商Cleaner 清洗机 CVD(Chemical Vapor Deposition)化学气相沉积 Sputter 溅镀机 Stripper 去光阻机 Coater 上光阻机 Pre-bake 预烘 Stepper 步进式曝光机 生产作业系统及工艺专有名词Page 30英 文 专 有 名 词 中 文 说 明Exposure 曝光 Backside-Ex
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