材料科学电子衍射学习教案.pptx
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1、会计学 1材料科学电子衍射第一页,共48 页。n n 电子衍射的优点是可以原位同时得到微观形貌和结构 电子衍射的优点是可以原位同时得到微观形貌和结构(jigu)(jigu)信息,并能进行对照分析。电子显微镜物镜背焦面 信息,并能进行对照分析。电子显微镜物镜背焦面上的衍射像常称为电子衍射花样。电子衍射作为一种独特的 上的衍射像常称为电子衍射花样。电子衍射作为一种独特的结构 结构(jigu)(jigu)分析方法,在材料科学中得到广泛应用,主要 分析方法,在材料科学中得到广泛应用,主要有以下三个方面:有以下三个方面:n n(1 1)物相分析和结构)物相分析和结构(jigu)(jigu)分析;分析;n
2、 n(2 2)确定晶体位向;)确定晶体位向;n n(3 3)确定晶体缺陷的结构)确定晶体缺陷的结构(jigu)(jigu)及其晶体学特征。及其晶体学特征。第1 页/共47 页第二页,共48 页。8-1 电子衍射(y nsh)和X射线衍射(y nsh)的比较 共同点n n 电子衍射的原理 电子衍射的原理(yunl)(yunl)和 和X X射线衍射相似,是以满足(或基本 射线衍射相似,是以满足(或基本满足)布拉格方程作为产生衍射的必要条件。满足)布拉格方程作为产生衍射的必要条件。n n 两种衍射技术得到的衍射花样在几何特征上也大致相似:多晶 两种衍射技术得到的衍射花样在几何特征上也大致相似:多晶体
3、的电子衍射花样是一系列不同半径的同心圆环,单晶衍射花 体的电子衍射花样是一系列不同半径的同心圆环,单晶衍射花样由排列得十分整齐的许多斑点所组成,而非晶体物质的衍射 样由排列得十分整齐的许多斑点所组成,而非晶体物质的衍射花样只有一个漫散的中心斑点。花样只有一个漫散的中心斑点。第2 页/共47 页第三页,共48 页。多晶衍射(ynsh)花样n n NiFe多晶纳米(n m)薄膜的电子衍射第3 页/共47 页第四页,共48 页。La3Cu2VO9单晶体的电子衍射图n n 第4 页/共47 页第五页,共48 页。非晶态材料(cilio)电子衍射图的特征第5 页/共47 页第六页,共48 页。电子衍射
4、电子衍射(ynsh)(ynsh)和 和X X射线衍射 射线衍射(ynsh)(ynsh)不同点 不同点 由于电子波与 由于电子波与X X射线相比有其本身的特性,因此电子衍射和 射线相比有其本身的特性,因此电子衍射和X X射线衍射 射线衍射相比较时,具有下列不同之处:相比较时,具有下列不同之处:首先,电子波的波长比 首先,电子波的波长比X X射线短得多,在同样满足布拉格条件时,它的 射线短得多,在同样满足布拉格条件时,它的衍射角 衍射角 很小,约为 很小,约为10-2rad 10-2rad。而。而X X射线产生衍射时,其衍射角最大 射线产生衍射时,其衍射角最大可接近 可接近90 90。电子衍射测定
5、衍射斑点。电子衍射测定衍射斑点(bndin)(bndin)位置精度远低于 位置精度远低于X X射 射线。线。其次,在进行电子衍射操作时采用薄晶样品,薄样品的倒易阵点会沿着 其次,在进行电子衍射操作时采用薄晶样品,薄样品的倒易阵点会沿着样品厚度方向延伸成杆状,因此,增加了倒易阵点和爱瓦尔德球相 样品厚度方向延伸成杆状,因此,增加了倒易阵点和爱瓦尔德球相交截的机会,结果使略为偏离布格条件的电子束也能发生衍射。交截的机会,结果使略为偏离布格条件的电子束也能发生衍射。第6 页/共47 页第七页,共48 页。n n 第三,因为电子波的波长短,采用厄瓦德球图解时,反射 第三,因为电子波的波长短,采用厄瓦德
6、球图解时,反射球的半径很大,在衍射角 球的半径很大,在衍射角 较小的范围内反射球的球面可 较小的范围内反射球的球面可以近似地看成是一个平面,从而也可以认为电子衍射产生 以近似地看成是一个平面,从而也可以认为电子衍射产生的衍射斑点大致分布在一个二维倒易截面内。这个结果使 的衍射斑点大致分布在一个二维倒易截面内。这个结果使晶体产生的衍射花样能比较直观 晶体产生的衍射花样能比较直观(zhgun)(zhgun)地反映晶体内各 地反映晶体内各晶面的位向,给分析带来不少方便。晶面的位向,给分析带来不少方便。n n 第四,电子衍射谱强度正比于原子序数,第四,电子衍射谱强度正比于原子序数,X X射线衍射强度正
7、 射线衍射强度正比于原子序数的平方,故电子衍射有助于寻找轻原子的位 比于原子序数的平方,故电子衍射有助于寻找轻原子的位置。置。n n 最后,原子对电子的散射能力远高于它对 最后,原子对电子的散射能力远高于它对X X射线的散射能力 射线的散射能力(约高出四个数量级),故电子衍射束的强度较大,摄取(约高出四个数量级),故电子衍射束的强度较大,摄取衍射花样时曝光时间仅需数秒钟。电子衍射束强度几乎与 衍射花样时曝光时间仅需数秒钟。电子衍射束强度几乎与透射束相当,两者相互作用使衍射花样特别是强度分析变 透射束相当,两者相互作用使衍射花样特别是强度分析变得复杂,不能象 得复杂,不能象X X射线那样通过强度
8、来测定结构。射线那样通过强度来测定结构。第7 页/共47 页第八页,共48 页。由布拉格方程 由布拉格方程 2dhklsin 2dhklsin 因为 因为 所以 所以 这说明,对于给定的晶体 这说明,对于给定的晶体(jngt)(jngt)样品,只有当入射波长足够短时,才 样品,只有当入射波长足够短时,才能产生衍射。而对于电镜的照明光源 能产生衍射。而对于电镜的照明光源 高能电子束来说,比 高能电子束来说,比X X射线更 射线更容易满足。通常的透射电镜的加速电压 容易满足。通常的透射电镜的加速电压100200kv 100200kv,即电子波的波长为,即电子波的波长为10-210-3nm 10-2
9、10-3nm数量级,而常见晶体 数量级,而常见晶体(jngt)(jngt)的晶面间距为 的晶面间距为10010-1nm 10010-1nm数 数量级,于是 量级,于是这表明,电子衍射的衍射角总是非常小的,这也是它的花样特征之所以区 这表明,电子衍射的衍射角总是非常小的,这也是它的花样特征之所以区别 别X X射线的主要原因。射线的主要原因。第8 页/共47 页第九页,共48 页。8-2 偏离(pinl)矢量与倒易点阵扩展 n n 从几何意义上来看,电子束方向与晶带轴重合时,零层倒易 从几何意义上来看,电子束方向与晶带轴重合时,零层倒易截面上除原点 截面上除原点0*0*以外的各倒易阵点不可能与爱瓦
10、尔德球相交,以外的各倒易阵点不可能与爱瓦尔德球相交,因此各晶面都不会产生衍射 因此各晶面都不会产生衍射(ynsh)(ynsh),如图(,如图(a a)所示。)所示。n n 如果要使晶带中某一晶面(或几个晶面)产生衍射 如果要使晶带中某一晶面(或几个晶面)产生衍射(ynsh)(ynsh),必须把晶体倾斜,使晶带轴稍为偏离电子束的轴线方向,必须把晶体倾斜,使晶带轴稍为偏离电子束的轴线方向,此时零层倒易截面上倒易阵点就有可能和厄瓦尔德球面相交,此时零层倒易截面上倒易阵点就有可能和厄瓦尔德球面相交,即产生衍射 即产生衍射(ynsh)(ynsh),如图(,如图(b b)所示。)所示。第9 页/共47 页
11、第十页,共48 页。第10 页/共47 页第十一页,共48 页。n n 但是在电子衍射操作时,即使晶带轴和电子束的轴线严格保持重合(即对称入射)但是在电子衍射操作时,即使晶带轴和电子束的轴线严格保持重合(即对称入射)时,仍可使 时,仍可使g g矢量端点不在厄瓦尔德球面上的晶面产生衍射,即入射束与晶面的夹 矢量端点不在厄瓦尔德球面上的晶面产生衍射,即入射束与晶面的夹角和精确的布拉格角 角和精确的布拉格角B B(B=sin-1 B=sin-1)存在某偏差)存在某偏差 时,衍射强度变弱 时,衍射强度变弱但不一定为零,此时衍射方向 但不一定为零,此时衍射方向(fngxing)(fngxing)的变化并
12、不明显。的变化并不明显。第11 页/共47 页第十二页,共48 页。n n 对 对于 于(duy)(duy)电 电子 子显 显微 微镜 镜中 中经 经常 常遇 遇到 到的 的样 样品 品,薄 薄片 片晶 晶体 体的 的倒 倒易 易阵 阵点 点拉 拉长 长为 为倒 倒易 易“杆 杆”,棒 棒状 状晶 晶体 体为 为倒 倒易 易“盘 盘”,细 细小 小颗 颗粒 粒晶 晶体 体则 则为 为倒 倒易 易“球 球”,如图所示。,如图所示。第12 页/共47 页第十三页,共48 页。倒易点阵(di n zhn)扩展n n 图显示了倒易杆和爱瓦尔德 图显示了倒易杆和爱瓦尔德球相交情况,杆子的总长为 球相交情
13、况,杆子的总长为2/t 2/t。n n 由图可知,在偏离布拉格角 由图可知,在偏离布拉格角max max范围内,倒易杆 范围内,倒易杆都能和球面 都能和球面(qimin)(qimin)相接 相接触而产生衍射。触而产生衍射。n n 偏离 偏离 时,倒易杆中心至 时,倒易杆中心至与爱瓦尔德球面 与爱瓦尔德球面(qimin)(qimin)交截点的距离可用矢量 交截点的距离可用矢量s s表 表示,示,s s就是偏离矢量。就是偏离矢量。n n 为正时,为正时,s s矢量 矢量(shling)(shling)为正,反之为负。为正,反之为负。精确符合布拉格条件时,精确符合布拉格条件时,=0=0,s s也等于
14、零。也等于零。第13 页/共47 页第十四页,共48 页。倒易点阵(di n zhn)扩展n n 下图示出偏离矢量小于零、等于零和大于零的三种情况。下图示出偏离矢量小于零、等于零和大于零的三种情况。如电子束不是 如电子束不是(b shi)(b shi)对称入射,则中心斑点两侧和各 对称入射,则中心斑点两侧和各衍射斑点的强度将出现不对称分布。衍射斑点的强度将出现不对称分布。第14 页/共47 页第十五页,共48 页。8-3 电子衍射基本(jbn)公式 n n 电子衍射操作是把倒易点阵 电子衍射操作是把倒易点阵的图像进行空间转换并在正 的图像进行空间转换并在正空间中记录下来。用底片 空间中记录下来
15、。用底片(dpin)(dpin)记录下来的图像称 记录下来的图像称之为衍射花样。右图为电子 之为衍射花样。右图为电子衍射花样形成原理图。衍射花样形成原理图。n n 根据两相似三角形,推出:根据两相似三角形,推出:n n 故单晶电子衍射花样是所有 故单晶电子衍射花样是所有与反射球相交的倒易点的放 与反射球相交的倒易点的放大像。大像。第15 页/共47 页第十六页,共48 页。电子衍射基本(jbn)公式n n L L称 称为 为电 电子 子衍 衍射 射的 的相 相机 机常 常数 数,而 而L L称 称为 为相 相机 机长 长度 度。R R是 是正 正空 空间 间的 的矢 矢量 量,而 而ghkl
16、ghkl是 是倒 倒易 易 空 空 间 间 中 中 的 的 矢 矢 量 量,因 因 此 此(ync)(ync)相 相机 机常 常数 数L L是 是一 一个 个协调正、倒空间的比例常数。协调正、倒空间的比例常数。n n Rdhkl=f0MIMp=L Rdhkl=f0MIMp=L n n 称 称L L为有效相机常数 为有效相机常数第16 页/共47 页第十七页,共48 页。选区(xu nq)衍射 n n 选 选区 区衍 衍射 射就 就是 是在 在样 样品 品上 上选 选择 择一 一个 个感 感兴 兴趣 趣的 的区 区域 域(qy)(qy),并 并限 限制 制其 其大 大小 小,得 得到 到该 该微
17、 微区 区电 电子 子衍 衍射 射图 图的 的方 方法 法。也 也称微区衍射。称微区衍射。n n 光 光阑 阑选 选区 区衍 衍射 射(Le Le Poole Poole方 方式 式)此 此法 法用 用位 位于 于物 物镜 镜像 像平 平面 面上 上的 的光 光阑 阑限 限制 制微 微区 区大 大小 小。先 先在 在明 明场 场像 像上 上找 找到 到感 感兴 兴趣 趣的 的微 微区 区,将 将其 其移 移到 到荧 荧光 光屏 屏中 中心 心,再 再用 用选 选区 区光 光阑 阑套 套住 住微 微区 区而 而将 将其 其余 余部 部分 分挡 挡掉 掉。理 理论 论上 上,这 这种 种选 选区
18、区的 的极 极限 限0.5m 0.5m。第17 页/共47 页第十八页,共48 页。选区(xunq)误差n n 实际上,选区光阑并不能完全挡掉光阑以外(ywi)物相的衍射线。这样选区和衍射像不能完全对应,有一定误差。它起因于物镜有球差和像的聚集误差。严重时,实际衍射区甚至不是光阑所选微区,以致衍射像和微区像来自两个不同部位,造成分析错误。第18 页/共47 页第十九页,共48 页。8-4 单晶电子衍射花样(huyng)因电子衍射的衍射角很小,故只有O*附近落在厄瓦尔德球面(qimin)上的那些倒易结点所代表的晶面组满足布拉格条件而产生衍射束,产生衍射的厄瓦尔德球面(qimin)可近似看成一平面
19、。电子衍射花样即为零层倒易面中满足衍射条件的那些倒易阵点的放大像。薄单晶体产生大量强度不等、排列十分规则的衍射斑点组成,其原因在于薄晶体倒易点扩展成一倒易杆,增加和倒易球相交的机会,产生大量衍射斑点。单晶电子衍射(ynsh)成像原理与衍射(ynsh)花样特征第19 页/共47 页第二十页,共48 页。标定电子衍射图中各斑点的指数 标定电子衍射图中各斑点的指数hkl hkl及晶带轴指数 及晶带轴指数uvw uvw。电 电子 子衍 衍射 射图 图的 的标 标定 定比 比较 较复 复杂 杂,可 可先 先利 利用 用衍 衍射 射图 图上 上的 的信 信息 息(斑 斑点 点距 距离 离、分布及强度等)帮
20、助判断待晶体可能所属晶系、晶带轴指数。分布及强度等)帮助判断待晶体可能所属晶系、晶带轴指数。例 例如 如斑 斑点 点呈 呈正 正方 方形 形,仅 仅可 可能 能是 是立 立方 方晶 晶系 系、四 四方 方晶 晶系 系;正 正六 六角 角形 形的 的斑 斑点,则属于立方晶系、六方晶系。点,则属于立方晶系、六方晶系。熟 熟练 练掌 掌握 握晶 晶体 体学 学和 和衍 衍射 射学 学理 理论 论知 知识 识:收 收集 集有 有关 关材 材料 料化 化学 学成 成分 分、处 处理 理工 工艺 艺以 以及 及(yj)(yj)其 其它 它分 分析 析手 手段 段提 提供 供的 的资 资料 料,可 可帮 帮
21、助 助解 解决 决衍 衍射 射花 花样标定的问题。样标定的问题。单晶电子衍射花样(huyng)标定第20 页/共47 页第二十一页,共48 页。单晶电子衍射花样(huyng)的标定n n 电子衍射花样几何图形 电子衍射花样几何图形 可能所属晶系 可能所属晶系n n 平行四边形 平行四边形 三斜、单斜、正交、四方 三斜、单斜、正交、四方(sfng)(sfng)、六方、六方、三方、立方 三方、立方n n 矩形 矩形 单斜、正交、四方 单斜、正交、四方(sfng)(sfng)、六方、三方、六方、三方、立方 立方n n 有心矩形 有心矩形 同上 同上n n 正方形 正方形 四方 四方(sfng)(sf
22、ng)、立方、立方n n 正六角形 正六角形 六方、三方、立方 六方、三方、立方第21 页/共47 页第二十二页,共48 页。标定前的预先(yxin)缩小范围n n 根据 根据(gnj)(gnj)斑点的规律性判断:斑点的规律性判断:n n 1.1.平行四边形 平行四边形-7-7大晶系都有可能 大晶系都有可能n n 2.2.矩形 矩形-不可能是三斜晶系 不可能是三斜晶系n n 3.3.有心矩形 有心矩形-不可能是三斜晶系 不可能是三斜晶系n n 4.4.正方形 正方形-只可能是四方或立方晶系 只可能是四方或立方晶系n n 5.5.正六角 正六角-只可能是六角、三角或立方晶系 只可能是六角、三角或
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