氟化物气体应用：二氟硅烷3424.docx
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氟化物气体应用：二氟硅烷1.别名middot;英文名二氟二氢硅；Difluorosilane2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质分子量：68.10熔点：-122.0沸点(101.325kPa)：-77.8气体密度：2.35kg/m3熔化热：6.148kJ/kg气化热：292.092kJ/kg临界温度：34蒸气压(-124.3)：2.666kPa(-98.3)：26.664kPa(-87.8)：53.329kPa比热容(气体，25)：749.443J/(kgmiddot;K)二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比SiHF3分解速度慢。2SiH2F2rarr;SiH4+SiF4在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。与乙醇、氨和胺反应。参见六氟化二硅。内容总结（1）氟化物气体应用：二氟硅烷1.别名middot（2）参见六氟化二硅2
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