[精选]LED工艺流程.pptx

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1、LED工艺简介工艺简介讲师：讲师：LED白光LED的前程LED芯片的实物照片LED 发光管是怎样练成的发光管是怎样练成的衬底材料衬底材料生长或购生长或购买衬底买衬底LED结构结构MOCVD生长生长芯片加工芯片加工芯片切割芯片切割器件封装器件封装Sapphire蓝宝石蓝宝石 2-inch衬底片衬底片 氮化物氮化物LED发光管的器件结构及发光机理发光管的器件结构及发光机理electrons电子空穴电子空穴复合发光复合发光P 欧姆接触N 欧姆接触蓝宝石或碳化硅MOCVD外延蓝宝石蓝宝石缓冲层缓冲层N-GaNp-GaNMQWMOCVD机台第一步第一步 清洗清洗有机物有机物金属离子金属离子第二步第二步n

2、区光刻区光刻 爆光机刻蚀刻蚀Cl2+Bcl3+ArPlasmalab System 133去胶去胶3#液p电极蒸发电极蒸发蒸发机台P电极光刻P电极腐蚀KI+I2去胶丙酮+酒精P电极合金O2合金炉N电极光刻N电极蒸发N剥离N退火N2P压焊点光刻P压焊点蒸发P压焊点剥离钝化层沉积气体，功率气体，功率PECVD机台钝化层光刻钝化层刻蚀钝化层去胶丙酮丙酮中道终测检验减薄划片裂片扩膜划片,裂片工作流程图划片前晶片反面划片后反面划片后,侧视图裂片后,侧视图扩膜后,正视图测试分检测试机LED:Whats inside?electrodessemiconductor chipepoxydomebond wir

3、es“silver cupreflectorDesign Growth Processing Packaging CharacterizationA packaged LEDDifferent parts of an LEDProcess flow:交通灯全彩显示RadiometryPhotometryPowerWatt Wlumen lmPower per unit areaW/m2lm/m2=lux lxPower per unit solid angleW/srlm/sr=candela cdPhotometry is just like radiometry except that e

4、verything is weighted by the spectral response of the eye光学知识Solid angle:sr=2 1-cos/2 立体角立体角:如何理解光通量如何理解光通量Lumen和发光强度和发光强度Mcd470nm LED:3000mcd 20mA P*62.139 lm/Sr 15Deg=3cdP*62.139/0.0537=3cdP=0.00259W=2.58mW市场上市场上:谢谢大家！谢谢大家！9、静夜四无邻，荒居旧业贫。6月-236月-23Thursday,June 1,202310、雨中黄叶树，灯下白头人。08:14:5508:14:55

5、08:146/1/2023 8:14:55 AM11、以我独沈久，愧君相见频。6月-2308:14:5508:14Jun-2301-Jun-2312、故人江海别，几度隔山川。08:14:5508:14:5508:14Thursday,June 1,202313、乍见翻疑梦，相悲各问年。6月-236月-2308:14:5508:14:55June 1,202314、他乡生白发，旧国见青山。01 六月 20238:14:55 上午08:14:556月-2315、比不了得就不比，得不到的就不要。六月 238:14 上午6月-2308:14June 1,202316、行动出成果，工作出财富。2023/

6、6/1 8:14:5508:14:5501 June 202317、做前，能够环视四周；做时，你只能或者最好沿着以脚为起点的射线向前。8:14:55 上午8:14 上午08:14:556月-239、没有失败，只有暂时停止成功！。6月-236月-23Thursday,June 1,202310、很多事情努力了未必有结果，但是不努力却什么改变也没有。08:14:5508:14:5508:146/1/2023 8:14:55 AM11、成功就是日复一日那一点点小小努力的积累。6月-2308:14:5508:14Jun-2301-Jun-2312、世间成事，不求其绝对圆满，留一份缺乏，可得无限完美。0

7、8:14:5508:14:5508:14Thursday,June 1,202313、不知香积寺，数里入云峰。6月-236月-2308:14:5508:14:55June 1,202314、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。01 六月 20238:14:55 上午08:14:556月-2315、楚塞三湘接，荆门九派通。六月 238:14 上午6月-2308:14June 1,202316、少年十五二十时，步行夺得胡马骑。2023/6/1 8:14:5508:14:5501 June 202317、空山新雨后，天气晚来秋。8:14:55 上午8:14 上午08:14:556月-23

8、9、杨柳散和风，青山澹吾虑。6月-236月-23Thursday,June 1,202310、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。08:14:5508:14:5508:146/1/2023 8:14:55 AM11、越是没有本领的就越加自命非凡。6月-2308:14:5508:14Jun-2301-Jun-2312、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。08:14:5508:14:5508:14Thursday,June 1,202313、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。6月-236月-2308:14:5508:14:55June 1,202314、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块

9、一样任意揉捏。01 六月 20238:14:55 上午08:14:556月-2315、最具挑战性的挑战莫过于提升自我。六月 238:14 上午6月-2308:14June 1,202316、业余生活要有意义，不要越轨。2023/6/1 8:14:5508:14:5501 June 202317、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。8:14:55 上午8:14 上午08:14:556月-23MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet,consectetur adipiscing elit.Fusce id urna blandit,eleifend nulla ac,fringilla purus.Nulla iaculis tempor felis ut cursus.感感 谢谢 您您 的的 下下 载载 观观 看看专家告诉