特气系统安全培训ppt课件.ppt

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1、Nano Fabrication Facility中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS主编：加工平台范亚明主编：加工平台范亚明特气系统安全培训特气系统安全培训中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Na

2、no-Tech and Nano-Bionics，CAS篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的，因此，篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统目录1.气柜概述气柜概述2.自动气柜安全配置自动气柜安全配置3.系统参数含义及作用系统参数含义及作用4.气柜的安全性能气柜的安全性能5.常见故障及处理方法常见故障及处理方法特气系统培训Gas Cabinet的用途1.实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机台制程使用,满足生产用气要求.2.为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独立的操作执行体.3.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实现Purge,更换钢瓶,并直至到Standby.等待

3、被自动切换当另外一边气体被用完后.4.可以实现跟VMB,Scrubber 等设备的联动根据客户的要求.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CASNH3&SiH4Psi-pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）无水氨气是一种刺激性、无无水氨气是一种刺激性、无色储存于钢瓶的液化压缩气色储存于钢瓶的液化压缩气体。其存储压力为其蒸汽压体。其存储压力为其蒸汽压114 psi 需避免的情况：需避免的情况：高温高温(

4、大于大于426)，钢瓶储存温度不可，钢瓶储存温度不可高于高于52比重：比重：(空气空气1)0.59不可燃气体不可燃气体!但当它在空气但当它在空气中的浓度超过中的浓度超过15%时有立即时有立即造成火灾及爆炸的危险造成火灾及爆炸的危险可自燃气体可自燃气体!硅烷是一种无色、与硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾烟雾。其存储压力为其蒸汽压其存储压力为其蒸汽压9001100psi。如果泄放硅烷时压力过高或速度如果泄放硅烷时压力过高或速度过快

5、会引起滞后性的爆炸。泄漏的过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。靠近。比重：（空气比重：（空气1)1.2不要用卤化物类灭火器。从最远不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火的距离用水冷却暴露在火 焰中的焰中的钢瓶。钢瓶。中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tec

6、h and Nano-Bionics，CAS篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的，因此，篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统特气系统培训硅烷和氨气主要在太阳能生产上用于等离子化学气相沉积(PEVCD)之中.等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在300-900的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。典型的化学反应为：SiH4+NH3 Si3N4+NH3+N2全自动气柜安全配置Fire Sensor(火焰侦测)High Temp Sensor(高温传感器)Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置)Sprinkler(喷淋装置

7、)Seismic Detector(防震探测器)Gas Leak Detector(毒气侦测器)中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CASFire Sensor(火焰侦测)定义:此设备是针对一些易燃气体,易爆气体或因为其他原因而设工作原理:当气柜里面有火焰时气柜内部会有个超声波检测模块(UV-TRON)探测到一个特殊的频段,产生报警信号中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano

8、-Tech and Nano-Bionics，CASHigh Temp Sensor(高温传感器)定义:此设备的目的是为了防止气柜内部温度过高而导致危险工作原理:这是一个双金属开关,它由两个受热膨胀绿不同的金属片组成,从而控制电信号开关.规格:工作温度是72,超过72度便产生报警信号.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CASAuto Guard(钢瓶接口处的安全装置)定义:这个装置的目的是为了保证换钢瓶的安全.为了防止在没有进行换瓶前吹扫便把钢瓶卸下从而导致

9、毒气泄漏.工作原理:这是一个气动装置.装置内部有一个控制开关的电磁阀.这个装置保证了钢瓶接口处的安全,操作者无法轻易卸下钢瓶接口,除非是在安全流程下才会打开此装置,允许操作者卸下接口中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CASSprinkler(喷淋装置)定义:当气柜内部由于火焰或其他原因导致内部温度超过72时喷淋启动工作原理:当气柜内部温度上升到一定极限(72)时消防水便会被开启中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Su

10、zhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CASGas Leak Detector(毒气侦测器)定义:此设备是侦测大气中毒气含量的装置,根据所设定值来产生报警工作原理:公司常用的是电化学式的侦测器,通过采样管从气柜风管里抽取少量气体从如侦测器分析毒气含量,之后排出大气.(采样管必须接在排气管的下面)安装:可以采集气柜内部的气体进行分析,也可以采集环境中的气体进行分析中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS中国科

11、学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的，因此，篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统特气系统培训中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的，因此，篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统各零部件的简图及名称气

12、柜阀门及零件概述AV1低压吹扫阀AV9氮气吹扫微漏阀PT1高压供气阀REG调压阀PT3低压供气阀CV单向阀AV4低压端抽空阀GF垫片式过滤器AV5高压端抽空阀MV供气确认手动阀AV6高压保压阀AV7氮气吹扫阀AV8抽空微漏阀中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS气柜运作流程图供电 参数设定 传感器校零 END 泄压吹扫 PT1设定值 负压保压 供气 前吹扫 后吹扫 换瓶 正压保压中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

13、Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS系统参数含义及作用(1)NOITEMDESCRIPTION1Pre-purge 1st time(允许参数:109999)这三次吹扫的目的都是在换钢瓶前将管道内残留的有毒气体排出管道以外.根据气体的属性来决定,将这三个吹扫的总和设在不低于150次较合理2Pre-2st LPT Purge(109999)3Pre-purge 2st time(109999)4post-purge 1st time(109999)此两种是发生在换钢瓶以后的吹扫,目的是将管道中可能存在的颗粒进行吹扫以达到去除这些颗粒

14、的目的5post purge 2st time(109999)6PositiveL/C Low limit(159999)正压保压最低底线值.检查钢瓶与猪尾巴有没有完全被密封.若保压失败一般都是钢瓶接头没有旋紧.但也有特殊情况,比如SIH4可能会受温度的影响系统参数含义及作用(2)7Vacuum low limit(-159999Psi)吹扫时真空端的压力底线吹扫时真空端的压力底线,低于此设定值便产生报低于此设定值便产生报警警.8Positve L/C Time(09999)正压保压时间,检查钢瓶与连接头有没有完全被密封.若保压失败一般都是钢瓶接头没有旋紧.但也有特殊情况,比如SIH4保高压可

15、能会受温度的影响9Negative L/C Time(09999)负压保压时间.检查钢瓶阀门是否关紧,若保压失败一般情况下可以确认是钢瓶阀没有关紧10P-N2 Low Limit(-159999)高纯氮吹扫最低压力值,低于此设定值产生报警11Leak Check stable time(09999)保压稳压时间.经过稳压可以让PT SENSOR保持稳定,待数分钟稳定后方开始保压,高压时建议稳压30分钟以上12Leak change pressure(09999)保压时允许降低/升高的压力值.超过此设定值保压失败,须重新走保压流程13Torque wrench pressure力矩扳手提示压力,

16、只供操作者参考中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS系统参数含义及作用(3)14PT1 1st Low limit(-159999)当当PT1的显示值低于这个参数时的显示值低于这个参数时,屏幕会出屏幕会出现字幕提醒用户做好换钢瓶的准备现字幕提醒用户做好换钢瓶的准备15PT1 2nd Low limit(-159999)当PT1的显示值低于这个参数时并且满足切换条件时.系统会进行钢瓶的切换,报警消失16PT1 1st High limit(-159999)此

17、参数是为了防止一些受加热的气体由于温度太高导致压力过高(如NH3)设定的报警点17PT3 1st Low limit(-159999)供气调压之后PT3端的压力1段报警,这时请调节调压阀增大压力18PT3 2st Low limit(-159999)供气调压之后PT3端的压力2段报警,这时请调节调压阀增大压力中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS系统参数含义及作用(4)19PT3 1st High limit(-15999)PT3低压端压力过高产生的一段报

18、警低压端压力过高产生的一段报警.此此时屏幕会指示操作者调节调压阀来解决时屏幕会指示操作者调节调压阀来解决此问题此问题20PT3 2st High limit(-15999)PT3低压端压力过高产生的二段报警低压端压力过高产生的二段报警.此此时供气将被临时停止时供气将被临时停止,系统会进行短暂的系统会进行短暂的泄压步骤泄压步骤.待压力正常后才恢复工作待压力正常后才恢复工作21W/S 1st Low limit(0999.9)此参数多用于以重量来切换的气体如NH3,当达到此设定值时系统报警提示即将切换钢瓶22W/S 2st Low limit(0999.9)此参数为重量切换的临界值参数.当重量低于

19、此值时,并且满足切换条件,系统正常切换左右钢瓶中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS气柜的安全性能(1)各类安全装置各类安全装置(切断气柜切断气柜)供气状态供气状态系统执行的命令系统执行的命令UVIR（光感应器）任何供气状态所有气动阀关闭/气柜顶部红色指示灯闪烁/蜂鸣器持续报警/屏幕上出现报警字幕且无法被消除(重启电源并排除故障后方能开机)Emergency StopHi-temperature sensorPT3 2st High Limit 中国科学院

20、苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS气柜安全性能(2)各类安全装置各类安全装置(提示报警提示报警)供气状态供气状态系统执行的命令系统执行的命令 所有供气状态气柜顶灯:橙色指示灯亮/蜂鸣器间歇性报警/屏幕上出现报警提示(待问题解决后可消除报警字幕)Exhaust Fail（抽风失败）L/D 1st alarmL/D 2st alarmPLC CPU memory errorPLC battery low error中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州

21、纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS常见的故障及处理方法(1)NO状况状况原因原因措施措施12st压力高于设定值由于颗粒导致调压阀内漏PT不稳定或损坏气柜内部温度突然变化更换调压阀进行PT校准或更换调整气柜内部温度2在供气之前(备用状态)PT1压力下降由于颗粒导致气动阀门内漏PT不稳定或损坏气柜内部温度突然变化更换调压阀进行PT校准或更换调整气柜内部温度3在1st调压时压力达不到设定值钢瓶内压力过低PT不稳定或损坏报警设定的值有问题更换钢瓶进行PT校准或更换重新调整设定值4排风负压表没有读数主排风的负压力

22、过低排风阀被关闭负压表损坏调排风的压力值打开排风阀更换负压表5设备运行压力过低调压阀没调整到正常压力过滤器被堵塞在2st减压时有泄漏调整调压阀压力更换过滤器进行保压确认2st是否存在问题中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CASNO状况状况原因原因措施措施6在通电运行的状态输送压力没有变化没有气供给气动阀驱动供给气动阀驱动的压力过低由于电磁阀损坏导致没有气体检查供给气动阀的气源是否充足调整供给气动阀驱动的压力值检查电磁阀,并更换7在吹扫的时候低压报警发生氮气吹

23、扫的阀没打开特气室内氮气吹扫端压力过低打开氮气吹扫的阀调整氮气吹扫压力8管道内有发生泄露当你没有为管道做保压测试时可能会由于某些原因导致泄漏此时高温,烟雾,火焰侦测会启动当更换零件,钢瓶后未做压力测试如果是毒性气体必须装备侦测器9在钢瓶接口处发生泄漏火焰,高温报警探测到高温后产生报警.钢瓶接口处没有安装垫片或没有密封将钢瓶接口处加入新垫片在操作时装备PPE等安全装备10在更换零件的时候发生泄漏当更换零件时没有经过置换管路直接拆卸装置时会发生泄漏在操作时必须两人同时在场,并装备PPE常见的故障及处理方法(2)中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzho

24、u Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS常见电信号故障及处理方法NO状况状况原因原因措施措施1电源出现错误主电源被打断电路保护跳确认主电源工作状态（AC100-240 50/60Hz）重新打开空气开关电源2触摸屏电源被停止主电源出现问题线路出线问题检查电源和线路的状态3零点值显示不正确电源错误磅秤损坏信号连接出错零度值出错检查是否输入24V输出4-20MA重新调整零点值检查信号线连接处磅秤显示值不对电源错误磅秤损坏信号连接出错输出范围错误检查是否输入24V输出4-20MA重新调整零点值检查信号线连接处4气动阀错误N2输送问题电磁阀出现问题检查N

25、2驱动的压力时5-7公斤检查是否24V输入中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS报警提示及相应设备的状态(1)报警提示信息状态参数 EMSEmergency StopShut-down 设备出场已设定 安全装置Safety Module FailShut-down设备出场已设定Exhaust FailAlarm设备出场已设定High Temp Sensor Alarm(UV/IR)Shut-down可自行设定High Temp Sensor AlarmSh

26、ut-down可自行设定Smoke Sensor AlarmShut-downN/AL/D 2st AlarmAlarm可自行设定Remote Shutdown OnShut-downN/A中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS报警提示及相应设备的状态(2)报警提示信息状态参数 报警提示装置GMS ShutdownShut-down设备出场已设定CDA Low AlarmAlarm设备出场已设定Z-purge FailAlarm设备出场已设定Heater

27、Low Temp AlarmAlarm可自行设定Heater High Temp AlarmAlarm可自行设定L/H A Sensor ErrorAlarm可自行设定L/H B Sensor ErrorAlarm可自行设定L/D 1st AlarmAlarm可自行设定中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS报警提示及相应设备的状态(3)报警提示信息状态参数 供气状态的报警W/S 1st Low LimitAlarm可自行设定W/S 2st Low Limi

28、tAlarm可自行设定PT1 1st Low AlarmAlarm可自行设定PT1 2st Low AlarmAlarm可自行设定PT3 1st Low AlarmAlarm可自行设定PT3 2st Low AlarmAlarm可自行设定PT3 1st High AlarmAlarm可自行设定PT3 2st High AlarmShut down可自行设定Cylinder change(AB)Alarm无Cylinder change(BA)Alarm无Force ChangeAlarm无中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institu

29、te of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS报警提示及相应设备的状态(4)报警提示信息状态参数 报警提示装置Line Vaccum ErrorAlarm可自行设定Line ErrorAlarm设备出场已设定N2 ErrorAlarm可自行设定L/C He ErrorAlarm可自行设定Negative L/C ErrorAlarm可自行设定Positive L/C ErrorAlarm可自行设定Remain gas ErrorAlarm设备出场已设定中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of

30、Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的，因此，篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统特气系统意外泄漏应急处理意外泄漏应急处理SiH4:1.切断泄漏气源，隔离泄漏钢瓶 2.如果以上不能做到，让钢瓶原地泄放燃烧 NH3:1.撤离受到影响区域，移走所有能燃烧物品并进行最大限度的防爆通风，如有可能切断气源，隔离泄漏钢瓶，氨气可用喷淋水控制。2.所有人员都应良好保护，在氨气浓度小于50ppm（百万分之50）且氧气浓度大于19.5%的情况下，人员在无SCBA(正压式呼吸器）的情况下进入。CF4:1.撤离泄漏区域，加强通风，测氧气含量 2.使用SCBA切断气源，隔离钢瓶&FinallyThank you!