2023年无尘车间洁净室管理制度4篇.docx

《2023年无尘车间洁净室管理制度4篇.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《2023年无尘车间洁净室管理制度4篇.docx（20页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、2023年无尘车间洁净室管理制度4篇 书目 第1篇无尘车间干净室人员管理制度 第2篇无尘车间干净室物流室内设备工器具管理制度 第3篇无尘车间干净室清洁清扫灭菌管理制度 第4篇无尘车间干净室作业管理制度 无尘车间干净室物流室内设备工器具管理制度 无尘车间干净室物流、室内设备及工器具管理制度 1 物流管理包括:进入干净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、废弃物管理制度等。 1.1 为防止污染物带入干净室(区),全部送入干净室(区)的各种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按要求进行外包装清理、吹净,有效地清除外表面的微粒。 1.2 在干净厂房内依据空气干净度等级、产品生产的要求设置必要的物

2、料净化设施,包括外包装清理室,气闸室或传递窗(柜)等。 1.3 物料在外包装清理室拆除外包装、装入干净容器内或当外包装不能拆除时,对其擦拭清除尘土或采纳其他清除污染物的方式对设备、容器工具进行清洁处理,并使清理前后的物料以肯定标记予以区分。 1.4 干净区域的专用周转小车、周转盒必需有清楚的标记,与非干净周转小车有明显的区分标识,禁止混用。 1.5 对清理外包装后的物料应经过气闸室或传递窗(柜)才能进入干净室(区),气闸室或传递窗(柜)的作用与人员净化用气闸室相像,用于保持干净室的空气干净度和干净室内必需的压力。 1.6 传递窗(柜)应满意如下要求。两侧门上设窗,能望见内部和两侧;确保两侧门不

3、能同时开启(可通过两侧门上设连锁装置或通过严格管理来实现);传递窗内尺寸可适应搬运物料的大小及重量,气密性好并有必要的强度;依据用途的不同可设置室内灯、杀菌设施。 2 干净室内设备及工器具管理包括:设备及工器具的搬入管理,清扫和清洁规定,设备及工器具的退出管理等。 2.1 工艺设备进入干净区域前,应事先明确运输路途,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动干净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避开破坏干净区域的环境;若设备搬入可能对生产造成污染,应提前支配局部停产协作设备搬入。 2.2 隔离防护的设施必需确保严密牢靠,能够有效限制污染物的扩散,并留意监控其完好状态,若有破损,刚好修补使严密

4、完好。 2.3 设备进入干净区域前,必需先在缓冲区(或缓冲地带)进行彻底的清洁和擦拭。 2.4 在进行设备、材料搬运的过程中,要严格进行干净限制,设备进车间前留意在干净缓冲区(或临时缓冲走廊)的相关清洁工作。尤其留意不得穿干净服经设备、材料通道门到户外,如此经过交叉污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入干净室,会造成干净室交叉污染。 2.5 在设备、材料搬运期间应尽可能避开让步接受可能出现的环境扰动,对人员、设备、材料净化管制应严格进行限制。肯定要严格限制污染物扩散,尤其是交叉污染的现象,否则会有高效过滤器(hepa)的污染损失,以及额外的干净清理费用。 2.6 如下图所示,在干净室批准

5、入口处设置干净缓冲/管制间,任何进入干净室内的物品必需经过缓冲间。 2.7 物品进入干净室的流程。 室外预清洁传入缓冲区缓冲区内最终清洁传入干净室内 t 首先,室外、缓冲间(或临时缓冲走廊)、干净室内各有一支搬运组(共三组)候命,这三组人员依据各自的环境身着不同的服装:室外身着一般工作服,缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套,干净室内身着完整的干净服,带有口罩和手套等,这三组人互不能进入其它人的工作区域。 t 当有设备、物品须要运输时,首先室外组人员对物品进行预清洁,然后打开缓冲间室外侧的门(或设备预留进出外门),将物品传入缓冲区。必需保证,在打开缓冲间室外侧门(或设备预留进出外门)时,干净室侧的

6、门处于关闭状态。 t 缓冲区(或临时缓冲走廊)的那组人员对物品进行最终的清洁,并用干净的干净布检测合格后,打开干净室侧的门,将物品传入干净室内。如此才规范的完成了物品传送和清洁的过程。 2.8 设备搬入完成并就位后,马上清理设备区域的杂物、拆除隔离防护措施、复原活动干净围护板,并对设备搬入区域及旁边区域进行彻底的清扫和清洁,使满意干净。 2.9 拆除隔离防护措施应留意限制避开交叉污染,复原活动干净围护板应保证围护结构的密闭性,密封压条要保证有效密封,胶密缝应复原严密平整。 2.10 小型工器具搬入管理须要满意物流管理要求。 2.11 大型工器具搬入管理可参照工艺设备搬入管理要求执行。 2.12

7、 设备本身的清扫和清洁由生产部门及保养部门进行规定的编制及执行,但其牢靠性必需满意干净要求。 2.13 设备和大型工器具的退出与搬入管理类似,也应事先明确运输路途,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动干净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避开破坏干净区域的环境;若设备退出可能对生产造成污染,应提前支配局部停产协作设备退出。 2.14 设备和大型工器具退出后,马上清理设备区域的杂物、拆除临时隔离防护措施、复原活动干净围护板,并对设备退出区域及旁边区域进行彻底的清扫和清洁,使满意干净。 无尘车间干净室作业管理制度 无尘车间干净室施工管理制度 1 背景 1.1 半导体制造业必需在干净的环境中

8、进行,在施工中必需遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的胜利,现场的每一位人员都必需遵守。 1.2 图纸上对于施工的干净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的全部主厂房内的地方。 1.3 干净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期全部干净室施工项目仍根据本制度规定的原则进行管理。 - 责任与义务 2.1 全部承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序,并且在他们疏于遵从或违反时赐予培训和训练。被安排到干净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守干净建设规则和程序。 2.2 承包商负责执行干净室草案。他将每天对干净建设区域进行

9、检查,并填写检查清单。承包商负责供应干净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和工装。他也负责供应每日执行干净规则和程序的人员和设备。 2.3 承包商建立区域入口并对其进行管理。他供应清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在干净区域工作的人员进行培训,并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。 2.4 起先阶段,承包商应在每个入口处支配人员(除非半导体公司在该入口处支配有人员)以确保本规则和程序的执行。 2.5 重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。 3 草案细则 干净室草案分为三部分,每一部分对应施工的一个过程。施工接近完工阶段,不允许从外面或

10、干净区域的施工场地带入脏物。 3.1第一部分 - 第一部分主要针对直到主要施工完成后。包括屋顶,覆层,门和窗户。全部工人必需从图纸上标明的通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。全部工人进入必需保持鞋子干净。不允许穿奇妙的服装,工人的衣服应当保持适当的干净。现场平安规则必需时刻遵守。 - 全部设备和材料必需从一个入口进入施工现场,并且保持干净,不允许有碎片掉下。 - 施工现场内不允许吃东西,吸烟,喝酒。 - 每班结束时,必需清走全部垃圾和废旧物品。总之,整个施工现场每天必需保持干净。 3.2其次部分 - 其次部分主要针对直到gridline b西边干净区域的内墙完成。此时,只允许承包商雇佣的工

11、人在干净区域。其他供应商假如要进入干净区域,必需提前向承包商提出申请,得到允许后方可进入。工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。 * gridlines 1和2之间的通向成品仓库的外门。 * gridlines 15和16之间的通向原料仓库的外门。 - 其它入口必需经过干净工程承包商的书面批准。两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料打算或拆包预留区域。进如干净区域之前,材料和设备不允许有脏物或由掉下,并且应当用干净的干布擦拭干净。 - 任何可能会造成污染的活动必需必需提前经过干净工程承包商的批准。这包括砂纸打磨,碾,开凿,演练,焊接,切割和任何用水或喷淋工作。承

12、包商要用任何可能的方法预防污染。 - 装好的地板必需用pvc板包装爱护。 - 第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必需的。 - 其次部分草案执行期间,干净区域必需每天吸尘。 3.3 第三部分 - 第三部分主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。 - 进入的工人穿鞋套和工作服。 - 全部进入干净区域的材料,工具和设备要用ipa和水的混合物擦拭。 - 在第三部分草案执行期间,干净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。 4 干净安装 - 必需实行干净措施保持安装干净。 - 各类部件如节气闸,扩散体在进入施工现场时应干净并且拆掉包装。内部表面应当用ipa和水的混合物擦拭。

13、 - 干净安装过程中,必需亲密关注所实行的干净措施的牢靠程度,对于隔离围护设施肯定要作到刚好发觉、马上订正。 5 最终干净 - 干净区域的全部安装完成后,要进行最终干净。干净要用ipa和水的混合物擦拭。先干净天花板,然后是墙壁,墙壁应从上到下,最终是地面。 - 最终干净完成后,gridline b东边通过的区域将是唯一进入干净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被爱护。 - 最终干净完成后,任何进入的人都必需通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。 6 设备、物品进入干净室规定 无尘车间干净室人员管理制度 无尘车间干净室人员管理制度 1 干净室的人员管理包括:制定专职管理人员的职责、干净室

14、人员的准入制度、人员培训教化规定、进入干净室人员的人净程序管理和退出管理制度等。 2 人员净化与进入 2.1 在干净厂房内众多的污染源中,人是主要污染源之一,尤其是工作人员在干净环境中的活动,会明显地增加干净环境的污染程度。 2.2 对于高级别干净区域,应严格限制进入人员数量,并规范进行二次更衣。 2.3 要获得生产环境所须要的空气干净度等级或延长空气过滤器的运用寿命,对进入干净室的人员、物料进行净化非常必要。 2.4 为保持干净室空气干净度,应尽量削减进入干净室人员带入的污染物。全部进人干净室的人员必需严格地按规定程序进行人身净化。 2.5 个人衣服物品全部放到指定的柜子里,去掉化妆,换上指

15、定的服装,按空气干净度等级相应的脱衣依次脱衣,放在规定的衣柜内。 2.6 进入脱衣室,在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内,禁止不脱鞋干脆跨越更衣凳而进入更衣室。 2.7 若公司后期发展须要更高干净级别要求的干净区域(指高于iso class7级别)进入前,须要设置盟洗室用洗手器洗手(先用干净洗涤剂洗涤,再用干净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干)。 2.8 凡是交叉污染的媒介,要常常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。 3干净室工作人员须知 3.1 进入干净室的人员应严格执行人身净化制度、路途和程序,任何人不得随意更改。在干净室内必需按规定着衣、戴帽、

16、换鞋。 3.2 进入干净级别1万级以及高于万级的干净区域,必需至少经过二次更衣。可先从一次更衣室进入,进行更鞋、脱外衣、换干净服、戴口罩、帽子(或干净头套)后,经过走廊进入二次更衣室,进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子,确认更换完毕后,进入风淋室进行风淋后,才能进入万级以及高于万级的干净区域。 3.3 严禁不通过风淋而干脆走旁通门进入干净室。旁通门只允许人员出到干净间外以及发生紧急状况时的进出。 3.3.1风淋室运用须知 a. 风淋室是工作人员进入净化区域前进行人身净化的专用设备,它能将人体表面吸附着的尘埃用高速气流吹去,使工作人员不带污染源进入净化区域,并能使净化区域与非净化区

17、域起到气闸作用。 b. 风淋室设定和状态:风淋室在投入运用前必需完成调试和设定,使之保持自动风淋状态。 c. 风淋室运用 - 运用者无需按任何键即可开门进入风淋室内,人数每次限定三人,把门关好即可自动风淋,风淋时旋转身体360度, 等待风机停止工作以后蜂鸣响,内门开锁,用户出风淋室。 - 按照明开键即可打开室内照明灯。 - 风淋室的微电脑对所做设定有记忆功能,关闭风淋室电源再次打开电源时风淋室处于上次操作的最终设定状态。 - 禁止一线运用者对设备的数值设定进行更改,数据更改必需由专业的管理人员进行。 - 禁止运用者野蛮对风淋室的门(红外电控锁)强行推拉而损坏设备。 - 风淋设备若因运用不当而损

18、坏,运用部门应据实反映损坏缘由,并马上报修。 - 一线员工在运用过程中发觉状态异样,应马上通知主管部门进行处理;并停止运用风淋室。 d. 风淋室正常/异样状态的界定: 1. 风淋室正常初始化自检:打开电源操作面板led数码显示时间点亮,同时电脑限制器做一次检测,二门是否关闭,有门开着则等待关门,假如二门都关闭则自动进入正常工作状态。 2. 正常工作状态 - 假如系统处于不工作状态:按电源开关键使系统处于工作状态,led被点亮。 - 根据明开/关则风淋室灯被点亮或熄灭,人员可依据须要循环选择。 - 系统处于正常等待工作状态时,风淋室的两扇门处于关闭未锁状态。 3. 异样状态:喷嘴出现微弱风速、门

19、不能正常关闭或开启、电源操作面板无显示。 3.3 .2 进出风淋室流程机理: - 进入:当外门(红外电控锁)被打开时,内门(红外电控锁)自动闭锁。假如用户进入风淋室,经过红外探头,风机将自动工作肯定时间,此时内外门均闭锁,风机停止工作以后蜂鸣响,内门开锁,用户出风淋室。开门、关门整个过程结束。 - 退出:当内门被打开时外门自动闭锁,用户关门后,则内外门均开锁,用户可以从随意门出风淋室。开门、关门,整个过程结束。 3.4 作业人员在干净室内工作时,动作要轻。严格执行操作规程,不允许跑跳、打闹及喊叫,不作不必要的动作,不作易发尘和大幅度的动作。 3.5 作业人员在干净室内工作时,尽量避开人员聚集现

20、象。若个别工位无特别协作需求,其他工位员工禁止聚集、围观与自己工位工作不相干的其他工位正常工作事务。 3.6 为不干扰气流,在作业区上游侧不应放物品,生产操作一般应在干净工作台或气流的上游进行。 3.7 不允许将与生产无关和简单产尘的物品带入干净室,严禁在干净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。 3.8 患有以下几种疾病的员工是不宜进入干净室的:呼吸系统疾病(如严峻的感冒咳嗽等,患者除了会传播病菌、病毒外,还会因咳嗽而产生大量的污浊颗粒混入干净的空气中)、皮肤疾病(如明显脱皮、掉皮屑的皮炎等);针对上述情形若实行了牢靠的额外人净措施时是可以进入干净室的。 4 干净室人员退出时应留意的事项 4.1

21、 为了防止再次进入和来回作业对干净室造成交叉污染按规定的依次退出干净室。 4.2 干净室人员在作业中途和作业完毕在退出到更衣区之前不得脱掉干净工作服,进入更衣室先脱干净室用鞋,放在规定的场所。 4.3 必要时脱鞋前洗手,脱鞋后再摘掉帽子,放在规定处。 4.4 脱干净工作服时不要触及地板、桌子和其他物品,对于干净服一般由下至上脱(由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去除帽子和口罩),用衣架挂在规定的处所。 4.5 脱去干净工作服以后,若需再进干净室时,仍需按进入干净室的依次进行人净。 4.6 退出10k及其以下级别干净室时不须要经过空气吹淋。干脆走旁通门退出10k干净室是允许的。 4.7 不能穿干净工

22、作服上厕所及进入动力设备间、仓库等非干净区域。 无尘车间干净室清洁清扫灭菌管理制度 无尘车间干净室清洁、清扫和灭菌管理制度 1干净车间及干净车间走廊清洁操作程序见下表: 1-(a)干净车间清洁操作程序 工具 吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、 防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布 耗材 防静电去尘剂、防静电清洁剂。 清洁部位 1、 车间墙; 2、 门窗、文件柜、地面 详细操作方法 1、用伸缩杆协作去尘布,自上而下,进行墙体清洁,对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦 ,用去尘布揩拭干净。 2、用伸缩杆不便利的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面(如柜子的上方)。 3、

23、墙面清洁完毕后,用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘,吸尘器应置车间的走廊上,软管进车间,吸尘扒头应从左到右,先远后近的区域进行吸尘,吸尘的区域不能有间隔,以免漏吸(换鞋套)。 4、吸尘完毕后,用尘推根据吸尘的操作方法进行,局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂,用湿去尘布清洁,然后用干防静电去尘布揩干。 5、门窗内侧、柜子等附件的清洁用去尘布协作防静电清洁剂先上后下进行清理。 6、整理工具,定期将吸尘器尘袋更换(地点:车间外)。 7、车间内须回收的废料放置在防静电车上,从车间西门运至成品库门口(通知外围保洁员接应),并分类集中至成品库内。 8、车间垃圾详细清理程序见后附文件。 备注:

24、以上所用工具及耗材均应符合威世公司要求规定。 1-(b)干净车间走廊操作程序 工具 防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头 耗材 防静电蜡、防静电清洁剂、防静电去尘剂 清洁部位 1、墙面;2、门窗;3、消防设施;4、地面 详细操作方法 1、a)用伸缩杆协作去尘布,自上而下,由左向右,进行墙体清洁,对污染较重的局部用纯防静电清洁剂,用去尘布揩拭干净。 b)用伸缩杆不便利的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面;对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。 2、用去潮尘布协作防静电清洁剂先上后下,由左至右进行清理。 3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净,整理

25、好消防设备并检查有无损坏,完好后把门关闭; 4、用防静电尘推由一侧,依次推尘清洁。 打蜡程序 用起蜡水先行起蜡,用吸水机吸净残蜡,用清洁拖布脱水后拖净地面,等地面彻底风干,再打防静电地板蜡(详细方法和步骤详见2条)。 备注:以上所用工具及耗材均应符合公司要求规定。正在清洁的区域应设置标记牌,且清洁工作不得与威世员工的正常工作冲突。 2地面打蜡的方法和程序 2.1 须要打算的机器和工具、清洁剂: t 洗地机;吸尘吸水机;抛光机;大面积作业需配备自动洗地机 t 拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推 t 除蜡剂、中性多功能清洁剂 t 除蜡垫(黑色)、清洁垫(红色、白色)、抛光垫(白色) 2.2 假如地面已经

26、打过蜡,且蜡面已失去光泽或者已经磨损出现斑驳和脱落,在打蜡前就须要对干净室地面先进行除蜡。 除蜡的方法及流程如下: 用拖把将除蜡剂匀称涂在蜡的表面,作用5分钟后看到乳白色泡沫越来越多,就可以用装有除蜡垫的洗地机清洗地面 用洗地机清洗地面直至看不到蜡层,假如蜡层较厚,一次可能除不干净,须要再用除蜡剂除其次次,用吸水机将水吸干 用拖把和清水将地面拖试干净,肯定要多拖拭几遍,确保地面不再含有除蜡剂的残液,以免影响重新打蜡的效果 2.3 假如地面没有打过蜡,可干脆用兑有多功能清洁剂的溶液(按1:40的比例添加),用装有洗地垫的洗地机清洗地面,然后将地面拖拭干净,待地面完全干燥后起先打蜡。 2.4 打蜡

27、的程序 打算: 将适量的封地蜡倒入拖把扭干器中,将蜡拖用水潮湿并扭干。 根据由边向内由里而外的原则,让蜡拖按形运行,留意蜡拖每次沾蜡不行太多也不行太少,匀称涂抹,不要漏抹。 30分钟后确认平安干燥后再按同样的做法打面蜡2遍。干燥的标准:不沾手,不粘脚。 完全干燥后可进入抛光的程序:应选择转速1500转以上的抛光机和20#白色抛光垫进行抛光,抛光时要渐渐运行,抛光后此时的亮度没有达到最亮,24小时后再做一次抛光其亮度可达到90。 3干净车间垃圾清理程序 3.1 保洁人员在外运干净区内的垃圾前,通知保安人员,在保安人员的监督下实施将干净区内的垃圾外运的操作。 3.2 车间内的保洁员从车间内把装有废

28、料的垃圾桶放置专用防静电车,从车间西门运至原材料库门口。 3.3 将废料倾倒至原材料库门口的临时垃圾站的垃圾桶内。 3.4 通知外围保洁员接应。(注:每天早上8点清倒一次,下午4点清倒一次) 3.5 外围保洁员将车间内的垃圾桶拉出原材料库内侧门,将垃圾清倒入已打算好的周转垃圾桶内。 3.6 车间内的垃圾桶重新进入车间内,必需清洁干净后(包括垃圾桶底部车轮),再放回指定位置。 3.7 外围保洁员把周转垃圾桶运至车间外的垃圾站进行清理。 3.8 干净车间垃圾清理留意事项 & 需倾倒垃圾时,原材料库内门与外门不能同时打开。 & 外围人员不能进入车间,车间人员不能走出室外。 & 车子不能里外穿行,只能倒运车箱。 4干净室清洁、清扫和灭菌管理制度参考文件: 负责清洁服务的部门,应依据公司实际状况制定清洁服务安排,明确详细的清洁内容、周期、频次以及对应质量标准。本文件未作细微环节描述处,可执行文件fsd-sop-19 清洁服务内容及质量标准及fsd-sop-21 清洁工作化学用品管理规定要求。 5.7 干净室干净室平安管理 干净室平安管理,已经包括在fsd-sop-8-2 消防火警处理规程内,须要严格执行。