传感器概述PPT课件.ppt
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1、*1第三章第三章 位移、角度检测传感器位移、角度检测传感器广东工业大学机电学院广东工业大学机电学院u在对电动机掌握中,掌握系统可分为开环系统和闭环在对电动机掌握中,掌握系统可分为开环系统和闭环系统两类。系统两类。u开环掌握系统比较简洁,能够满足一般的掌握要求;开环掌握系统比较简洁,能够满足一般的掌握要求;u闭环掌握系统则用于有精度要求的掌握。闭环掌握系统则用于有精度要求的掌握。u在电动机掌握系统中,这些精度要求包括:在电动机掌握系统中,这些精度要求包括:u电动机本身的精度要求如角度和转速;电动机本身的精度要求如角度和转速;u执行机构的精度要求,如线位移和角位移;执行机构的精度要求,如线位移和角
2、位移;u要实现对这些物理量的准确掌握就必需通过高精度要实现对这些物理量的准确掌握就必需通过高精度的检测传感器对这些物理量进展检测将检测的结果的检测传感器对这些物理量进展检测将检测的结果转换成数字量反响给计算机转换成数字量反响给计算机u本章介绍在电动机掌握中常用的位移、角度检测传感本章介绍在电动机掌握中常用的位移、角度检测传感器的工作作原理以及它们与器的工作作原理以及它们与CPU或计算机的接口。或计算机的接口。*2*3第三章第三章 位移、角度、转速检测传感器位移、角度、转速检测传感器u一、光栅位移检测传感器一、光栅位移检测传感器 u二、光电编码盘角度检测传感器二、光电编码盘角度检测传感器*4一、
3、一、光栅位移检测传感器光栅位移检测传感器 u一光栅传感器的特点和分类一光栅传感器的特点和分类 u二光栅位移传感器的组成二光栅位移传感器的组成 u三光栅位移传感器的工作原理三光栅位移传感器的工作原理 u光栅技术已经消失光栅技术已经消失100多年了多年了u光栅是一种在基体上刻制有等间距的均匀分布条纹的光栅是一种在基体上刻制有等间距的均匀分布条纹的光学元件光学元件u光栅技术在近二三十年得到了快速的进展光栅技术在近二三十年得到了快速的进展u光栅的刻制技术、电子技术的进展,光栅莫尔条纹细光栅的刻制技术、电子技术的进展,光栅莫尔条纹细分技术的不断改进、以及计算机处理技术的巨大进步分技术的不断改进、以及计算
4、机处理技术的巨大进步u光栅应用已普遍光栅应用已普遍u利用光栅进展位移测量、应用于电动机及执行机构的利用光栅进展位移测量、应用于电动机及执行机构的闭环掌握中闭环掌握中*5*6一光栅传感器的特点和分类一光栅传感器的特点和分类u光栅传感器有以下优点。光栅传感器有以下优点。u输出数字信号输出数字信号u 这使它易于与数字电路,特殊是与这使它易于与数字电路,特殊是与CPU接口。接口。u高精度高精度u 由于周密的光刻技术和电子细分技术,以及莫尔条由于周密的光刻技术和电子细分技术,以及莫尔条纹所具有的对局部误差的消退作用,光栅传感器可纹所具有的对局部误差的消退作用,光栅传感器可以得到很高的测量精度。以得到很高
5、的测量精度。u 在大量程方面,光栅传感器的测量精度仅次于激光在大量程方面,光栅传感器的测量精度仅次于激光测量,而本钱却比其低得多。目前,用于长度测量测量,而本钱却比其低得多。目前,用于长度测量的光栅,其测量误差可掌握在的光栅,其测量误差可掌握在0.2 0.4 mm以内,以内,精度为精度为0.53 m1500 mm区分率可做到区分率可做到0.1m,允许计数速度为,允许计数速度为200 mms。u 国外现在的产品可到达国外现在的产品可到达nm级精度。级精度。u 下表为常用的光栅传感器精度。下表为常用的光栅传感器精度。*7*8l同时具备大量程、高区分率的特点。一般的传感器很难同时具备大量程、高区分率
6、的特点。一般的传感器很难在大量程和高区分率两个方面同时兼顾。在大量程和高区分率两个方面同时兼顾。l有较强的抗干扰力量。数字信号输出一般都比模拟信号有较强的抗干扰力量。数字信号输出一般都比模拟信号输出具有更高的抗干扰力量。输出具有更高的抗干扰力量。l信号处理电路简洁、牢靠。信号处理电路简洁、牢靠。l光栅的输出信号,用数字电路进展整形、细分、辨向处理光栅的输出信号,用数字电路进展整形、细分、辨向处理l一般都将信号处理电路和光栅部件组装在一起,体积小,应一般都将信号处理电路和光栅部件组装在一起,体积小,应用便利。用便利。l传感器的输出接口电路都有驱动器,因此有带负载力量和长传感器的输出接口电路都有驱
7、动器,因此有带负载力量和长距离传输力量。距离传输力量。l惯量小。光栅传感器体积小,重量轻,对组成系统的惯惯量小。光栅传感器体积小,重量轻,对组成系统的惯量和动态特性影响小量和动态特性影响小 *9u光栅传感器的缺点。光栅传感器的缺点。u对环境条件敏感。对环境条件敏感。u由于光栅传感器的光栅片一般是用玻璃制作的,而且由于光栅传感器的光栅片一般是用玻璃制作的,而且移动光栅片与固定光栅片之间的间隙很小,因此对环移动光栅片与固定光栅片之间的间隙很小,因此对环境如湿度、温度、振动冲击等较为敏感。环境的变境如湿度、温度、振动冲击等较为敏感。环境的变化会影响光栅传感器的性能和牢靠性。化会影响光栅传感器的性能和
8、牢靠性。u一般的光栅传感器都是增量式的一般的光栅传感器都是增量式的u信号的输出是串行的。信号的输出是串行的。u假设要求确定式的、并行的光栅传感器,则信号的读假设要求确定式的、并行的光栅传感器,则信号的读取电路简单,速度无法提高。取电路简单,速度无法提高。*10u光栅传感器的分类光栅传感器的分类u光栅传感器可分为透射式光栅和光栅传感器可分为透射式光栅和反射式光栅两种。以下图是透射反射式光栅两种。以下图是透射式光栅传感器的结掏,其特点是式光栅传感器的结掏,其特点是光敏元件和光源分别位于光栅副光敏元件和光源分别位于光栅副的两侧,光栅是由透光材料的两侧,光栅是由透光材料(如如玻璃玻璃)制成的。制成的。
9、*11u光栅传感器的分类光栅传感器的分类u以下图是反射式光栅传感器的构造,光敏元件和光源以下图是反射式光栅传感器的构造,光敏元件和光源位于光栅副的一侧,光栅是由不透光材料位于光栅副的一侧,光栅是由不透光材料(如金属如金属)制制成的。成的。*12二光栅位移传感器的组成二光栅位移传感器的组成 光栅传感器系统是由光栅、光栅光学系统、光电接收光栅传感器系统是由光栅、光栅光学系统、光电接收电路系统纰成。电路系统纰成。1光栅光栅 光栅的外表刻有规章排列和外形的刻线,这些光栅的外表刻有规章排列和外形的刻线,这些刻线可以是透光的刻线可以是透光的(透射式透射式)或不透光的或不透光的(反射式反射式)。常用。常用的
10、光栅传感器的刻线多属于黑自型的这种刻线的白的光栅传感器的刻线多属于黑自型的这种刻线的白色宽度为色宽度为a,黑色宽度为,黑色宽度为b通常状况下通常状况下a=b。图中的。图中的w=a+b,称为光栅栅距或称为光栅常数。,称为光栅栅距或称为光栅常数。*13u2、光栅光学系统、光栅光学系统 u 光栅光学系统的作用是形成莫尔条纹。可分成光光栅光学系统的作用是形成莫尔条纹。可分成光源系统和光栅付源系统和光栅付2局部局部。*14u(1)光源系统光源系统u光源系统包括光源和凸透镜。光源系统包括光源和凸透镜。u光源光源u从光源发出的光经过凸透镜后变成平行光线,照射从光源发出的光经过凸透镜后变成平行光线,照射到光栅
11、上到光栅上。u对光源的要求是:能够供给稳定的光能量光效率要对光源的要求是:能够供给稳定的光能量光效率要高发热量要小寿命长,供电电路简洁。高发热量要小寿命长,供电电路简洁。u符合上述要求的常用光源是砷化镓符合上述要求的常用光源是砷化镓(GaAs)发光二极管,发光二极管,它的光波长为它的光波长为0.880.94 m,与光敏接收元件的最,与光敏接收元件的最敏感光谱特别接近因此效率高,另外砷化镓发光敏感光谱特别接近因此效率高,另外砷化镓发光二极管还有体积小发热少,寿命长,光源与凸透镜二极管还有体积小发热少,寿命长,光源与凸透镜制作成一体的诸多优点但由于这种光源发出的是不制作成一体的诸多优点但由于这种光
12、源发出的是不行见光。因此对安装调试要求较高。行见光。因此对安装调试要求较高。*15u(2)光栅副光栅副u光栅副包括标尺光栅和指示光栅光栅副包括标尺光栅和指示光栅u标尺光栅也称移动光栅,而指示光栅又称固定光栅。标尺光栅也称移动光栅,而指示光栅又称固定光栅。u标尺光栅是测量的基准它打算测量的精度。标尺光栅是测量的基准它打算测量的精度。u指示光栅一般不做成满量程,而只取一小块足够掩指示光栅一般不做成满量程,而只取一小块足够掩盖光电元件即可。盖光电元件即可。u光栅的材料多用玻璃和不锈钢。玻璃用于透射式光栅,光栅的材料多用玻璃和不锈钢。玻璃用于透射式光栅,不锈钢用于反射式光栅。不锈钢用于反射式光栅。u两
13、光栅间的间歇比较小两光栅间的间歇比较小 计算公式:计算公式:u 式中式中 有效光波波长。有效光波波长。*16u3光电接收系统光电接收系统u光电接收系统是由光敏元件组成它将莫尔条纹的光光电接收系统是由光敏元件组成它将莫尔条纹的光学信号转换成电信号。学信号转换成电信号。u光敏元件有:光敏二极管、光敏三极管、光电池;光敏元件有:光敏二极管、光敏三极管、光电池;u光敏三极管灵敏度高、负载力量强、较为常用。光敏光敏三极管灵敏度高、负载力量强、较为常用。光敏三极管输出电流在三极管输出电流在5mA以上。峰值光敏波长以上。峰值光敏波长K为为0.860.9m,响应时间为,响应时间为2s,响应频率在,响应频率在1
14、00KHz以下。以下。*17u将标尺光栅和指示光栅重叠在一起,并使它们的刻线之间形成一个很小的将标尺光栅和指示光栅重叠在一起,并使它们的刻线之间形成一个很小的交角交角,在光栅垂直方向上消失的明暗相间的条纹就称为莫尔,在光栅垂直方向上消失的明暗相间的条纹就称为莫尔(Moire,法语,法语指水面波浪的意思指水面波浪的意思)条纹。两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹间距,用条纹。两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹间距,用B来来表示。依据图表示。依据图(b)莫尔条纹间距莫尔条纹间距B与栅距与栅距W和夹角和夹角有如下关系:两光栅刻有如下关系:两光栅刻线交角越小莫尔条纹间距线交角越小莫尔条纹间距B越大。越大。三光栅
15、位移传感器工作原理三光栅位移传感器工作原理*18u莫尔条纹与光栅刻线间的夹角莫尔条纹与光栅刻线间的夹角的平分线近似垂直的平分线近似垂直u当标尺光栅和指示光栅的交角当标尺光栅和指示光栅的交角保持不变而相对移动保持不变而相对移动时,莫尔条纹将沿着刻线方向移动。光栅移动了时,莫尔条纹将沿着刻线方向移动。光栅移动了W/2栅距时,莫尔条纹由暗条纹变为亮条纹栅距时,莫尔条纹由暗条纹变为亮条纹(或由亮条纹或由亮条纹变为暗条纹变为暗条纹);光栅再移动;光栅再移动w/2栅距时莫尔条纹则由栅距时莫尔条纹则由亮条纹变回暗条纹亮条纹变回暗条纹(或由暗条纹变回亮条纹或由暗条纹变回亮条纹)。因此。因此光栅移动一个栅距光栅
16、移动一个栅距W时莫尔条纹也移动一个间距时莫尔条纹也移动一个间距B,同时在指示光栅上的光敏元件接收到一次光脉冲,同时在指示光栅上的光敏元件接收到一次光脉冲的照射,并相应输出一个电脉冲。通过计数电脉冲的的照射,并相应输出一个电脉冲。通过计数电脉冲的数目,就可以测量标尺光栅移动的位移数目,就可以测量标尺光栅移动的位移x,即,即u x=iW i-(光光)电脉冲的个数。电脉冲的个数。*19u利用莫尔条纹实现位移的测量有如下特点利用莫尔条纹实现位移的测量有如下特点:u(1)莫尔条纹间距对光栅栅距有放大作用莫尔条纹间距对光栅栅距有放大作用u 假设假设W=0.02 mm,=0.1(0.00174532 rad
17、)时时,u 则则B=11.4592 mm。即,光栅移动。即,光栅移动0.02 mm时莫尔条纹移时莫尔条纹移动动11.4592mm,莫尔条纹起了放大,莫尔条纹起了放大1倍的作用。这样,光倍的作用。这样,光敏元件就可以直接布置在莫尔条纹宽度范周内。敏元件就可以直接布置在莫尔条纹宽度范周内。*20u利用莫尔条纹实现位移的测量有如下特点利用莫尔条纹实现位移的测量有如下特点:u(2)莫尔条纹对光栅栅距局部误差有消差作用莫尔条纹对光栅栅距局部误差有消差作用 u在光栅测量过程中在光栅测量过程中,标尺光栅上的数十条、数百条刻线参与测标尺光栅上的数十条、数百条刻线参与测量,个别刻线的栅距误差会得到均化作用,对整
18、个奠尔条纹的量,个别刻线的栅距误差会得到均化作用,对整个奠尔条纹的位置和外形影响较小位置和外形影响较小u因此莫尔条纹就具有了对光栅栅距局部误差的消差作用。莫因此莫尔条纹就具有了对光栅栅距局部误差的消差作用。莫尔条纹位置的标准差尔条纹位置的标准差X和单条刻线位置的标准差和单条刻线位置的标准差的关系可由的关系可由下式表示下式表示u 式中式中 n-参与形成莫尔条纹的刻线数。参与形成莫尔条纹的刻线数。*21l(3)莫尔条纹从亮条纹到暗条纹以及从暗条纹到亮条纹的变化不是阶跃性莫尔条纹从亮条纹到暗条纹以及从暗条纹到亮条纹的变化不是阶跃性的,而是渐渐过渡的。的,而是渐渐过渡的。l以下图为移动的标尺光栅相对不
19、动的指示光栅移动一个栅距时,光敏元以下图为移动的标尺光栅相对不动的指示光栅移动一个栅距时,光敏元件接收的光照强度也经受一个周期的变化,即由暗弱半亮亮半亮件接收的光照强度也经受一个周期的变化,即由暗弱半亮亮半亮弱暗弱暗(或由亮半亮弱暗弱半亮亮或由亮半亮弱暗弱半亮亮)变化一次;变化一次;*22光强度的周期变化使光敏元件的输出也同步周期变化,光强度的周期变化使光敏元件的输出也同步周期变化,其输出波形近似于正弦波形可用下式表示其输出波形近似于正弦波形可用下式表示式中式中U0-输出信号的直流重量输出信号的直流重量 Um-沟通信号的幅值。沟通信号的幅值。光强度变化一次所需的时间光强度变化一次所需的时间(周
20、期周期)与光栅位移一个栅距所与光栅位移一个栅距所需的时间是一样的。需的时间是一样的。*23u位移的方向位移的方向 u必需有必需有2个以上的信号依据它们的相位不同来推断位移方向。个以上的信号依据它们的相位不同来推断位移方向。在指示光栅上安装在指示光栅上安装2个光敏元件个光敏元件Ta、Tb,安装位置如下图,安装位置如下图,2个光敏元件相距个光敏元件相距B4这样,它们的输出这样,它们的输出Ua、Ub相位相差相位相差90度。度。u标尺光栅向左或向右移动时,莫尔条纹则相应地向上或向下移标尺光栅向左或向右移动时,莫尔条纹则相应地向上或向下移动,假设能够区分莫尔条纹是上移还是下移,那么就能知道标动,假设能够
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