2023年【推荐】人教版七年级历史上册第18课东晋南朝时期江南地区的开发课件.pdf

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1、一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作

2、为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使

3、之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引

4、入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉

5、积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在

6、梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管

7、道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀

8、积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降

9、低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另一实验原理化学气相沉积原理化学气相沉积是通过一定能量热等离子体光超声等激发含有构成薄膜元素的气态前驱物图所示一个简单的反应器具有一个管道管道壁温度维持在单个基片放置在管道中央的加热基上基温度为通常保持假设方向降低从而导致淀积速率沿着管道长度也存在梯度为改善沉积均匀性可引入惰性气体使之硅烷混合作为携带气体另