多晶硅片国家级标准.docx

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1、GB/T 200中华人民共和国国家标准GB/T 200ICS 29.045H 80太阳能级多晶硅块争论稿中华人民共和国国家技术监视检验检疫总局公布200-公布200-实施IGB/T 200太阳能级多晶硅块1 范围本标准规定了太阳能级多晶硅块的产品分类、技术要求、试验方法、检测规章以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于利用定向熔铸技术所生产切割而形成的，用于切割制备多晶硅片的多晶硅块。2 标准性引用文件以下文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。但凡注日期的引用文件，其随后全部的修改单不包括订正的内容或均不适用于本标准，然而鼓舞依据本标准达成协议的各方争论是否可使用这些文件的最版本。

2、但凡不注日期的引用文件，其最版本适用于本标准。GB 191包装储运图示标志GB/T 1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T 1552硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法GB/T 1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T 1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸取测量方法GB/T 1558测定硅单晶体中代位碳含量的红外吸取方法GB/T 4061硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB/T 6616半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法GB/T 14264半导体材料术语SEMI MF1389-0704号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法3 术语定义、符号及缩略语GB

3、/T 14264确立的术语和定义适用于本标准。微晶：产品外表小范围内密集型的晶格排布。4 分类4.1 外形尺寸分类产品按外形尺寸长宽分为125mm125mm和156mm156mm或由供需双方商定规格。5 要求5.1 外观要求太阳能级多晶硅块外观要求无可视裂纹、崩边、崩块、缺口；5.2 性能太阳能级多晶硅块性能要求具体见表1，在表1中未列出的规格要求由供需双方商定；2表1工程要求电阻率， cm1.03.0导电类型P 型少数载流子寿命裸测最小值，氧浓度，atoms/cm3s211018碳浓度，atoms/cm351017Fe、Cr、Ni、Cu、Zn基体金属杂质，ppmw硼浓度磷浓度TMI(Tota

4、l metal impurities)总金属杂质含量：10.300.405.3 构造及外表质量5.3.1 太阳能级多晶硅块中不允许消灭氧化夹层；5.3.2 太阳能级多晶硅块IR 检测结果不行消灭阴影、杂质、裂纹、微晶；5.3.3 太阳能级多晶硅块外表粗糙度Ra0.2 m；5.3.4 太阳能级多晶硅块几何尺寸偏差不超过0.5mm。6 试验方法6.1 太阳能级多晶硅块的外观检验用目测检查；6.2 太阳能级多晶硅块电阻率检验按GB/T 1552 或 GB/T 6616 进展；6.3 太阳能级多晶硅块导电类型检验按GB/T 1550 进展；6.4 太阳能级多晶硅块少数载流子寿命检验按GB/T 1553

5、 进展；6.5 太阳能级多晶硅块的氧含量检验按GB/T 1557 进展；6.6 太阳能级多晶硅块的碳含量检验按GB/T 1558 进展；6.7 太阳能级多晶硅块基体金属杂质依据SEMI MF1389-0704 测试；6.8 太阳能级多晶硅块断面夹层检验按GB/T 4061 测试；6.9 太阳能级多晶硅块IR 检测方法：将太阳能级多晶硅块至于850 m 红外光源下，通过摄像机观看成像效果。6.10 太阳能级多晶硅块外表粗糙度用外表粗糙度测试仪测得，测试点在所试外表随机获得。测试要求测量硅块的相邻两侧面，两端面不用测量。6.11 太阳能级多晶硅块几何尺寸承受通用量具测得，但最小精度应不小于0.02

6、mm7 检验规章7.1 检验分类检验分：出厂检验和型式试验。7.2 出厂检验7.2.1 每批产品应经供方技术质量监视部门进展检验，保证产品质量符合本标准的规定，并附有产品质量合格的技术文件，方可出厂；7.2.2 出厂检验工程包括 4.1、5.1、5.2 中的电阻率、导电类型及少数载流子寿命和5.3.2、5.3.3、5.3.4 项。7.3 判定规章7.3.1 每批产品的检验工程均承受全数检验，或由供需双方协商解决。7.3.2 合格质量水平(AQL)规定为Ac=0，Re=1，或由供需双方协商解决。7.4 型式试验7.4.1 有以下状况之一，应进展型式试验： A产品或老产品转厂生产的试制鉴定； B正

7、式生产后，如构造、材料、工艺有较大转变可能影响产品性能时； C正常生产时，每隔一年进展一次； D产品长期停产后，又恢复生产时； E出厂检验结果与上次型式试验有较大差异时； F国家质量监视机构提出进展型式检验的要求时。7.4.2 型式试验工程包括本标准所列全部要求的内容；7.4.3 型式试验样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取，试样为3PCS；7.4.4 在型式试验中，如有 1 项不符合本标准要求时，则应从该批产品中，抽取加倍数量进展不合格工程试验，如仍不符合该项的要求时，则该项型式试验判为不合格，该批产品做不合格论。8 标志、包装、运输和贮存8.1 包装、标志8.1.1 产品封装于相应规格木箱

8、内，四周用不小于20mm 的珍宝棉填充严密，以防止损坏产品；8.1.2 全部出厂产品包装箱应实行防裂开、防损伤、防脏污措施。箱外应标有“留神轻放”、“防酸”、“防碱”和“防潮”警示标志且应符合GB 191 的要求；8.1.3 产品包装箱在惹眼处应标注如下内容：a) 客户名称；b) 数量；c) 产品规格；d） 产品重量；e) 产品执行标准号；f) 出厂编号；g) 制造厂商；h) 厂址、 。8.1.4 产品发运时，应附有成品出库单，应包含以下内容：a) 客户名称；b) 产品规格；c) 数量；d) 件数；e） 总重量f) 出厂编号；g) 出厂日期；h) 发货单位、发货人；i) 制造厂商。8.1.5 每批产品应附有产品检验报告, 应包含以下内容：a) 客户名称；b) 产品规格；c) 产品编号；d) 检验日期；e) 各项检验结果及检验部门印章。8.2 运输、贮存8.2.1 产品在运输过程中应轻装轻卸，严禁抛掷，并实行防震、防潮措施；8.2.2 产品应贮存在干净、枯燥环境中。