微小气体质量流量计的面板操作说明.docx

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1、键盘操作量程（mL/m）00300.0瞬时流量（mL/m）123.456图21 .流量计通电开机并完成初始化后，显示主屏幕如图1,其中上排显示累积流量，中排显示瞬时流量，下 排显示报警和量程百分比。2 .在主屏幕状态下按或“I”键翻页，上半屏幕滚动显示各项参数（如图2）,下半屏幕固定 显示瞬时流量值。3 .要修改参数必须先输入密码，然后才可修改参数。如果仅查看参数则不须输入密码，可滚动查看各项 参数。出厂密码为111111,用户修改密码时可以采用非000000的其它密码。4 .翻页翻到某一项参数后，按“一”键进入该参数的修改状态，最高位数值开始闪烁，此时按“T”或气” 键可使该位数值增加或减少

2、。修改好后按“一”键将光标移到下一位进行修改。若参数设定值超出规定 范围（见下表），则会有闪烁报警提示。5 .参数数值修改完毕后，连按二次I键，以确认修改。此时再按或气”键，可查看再其它参数。6 .若当按下“一”键后，数据开始闪烁，但又不想修改该参数，只需再按一次_1键，即可退出该参数 设置状态，再按或气”键可继续查看其它参数。7 .在查看各项参数时按下一I键，可退出参数查看状态，返回主界面。若再次需要修改参数，需重新 输入密码。参数设置一览表编号参数名称范围默认值备注01输入密码XXXXXX11111102里:程（mL/m,-）0-06553500100003小流量切除（%FS）0一一20.

3、 000.004传感器系数00. 0001 - 09. 999901.000005下限报警值（FS）0900006上限报警值（FS）015000007工作模式选项1000000 （注 1）13200008工作模式选项2000000 （注 2）00000009通信地址124700000110重设密码XXXXXX11111111工作模式选项3000000 （注 3）00000012密度设定值00.0000-09.999901.000013温度设定值（）0000.00-0060. 000020.0014压力设定值（MPa）0.10132515信号测量值（mV）X X X X. X X跟踪显示不可设置

4、16温度测量值（）X X X X. X X跟踪显示不口 J设置17瞬时量设定值（mL/m,）0-065535000000调节阀流量18出错信息XXXXXX （注 4）000000不口设置19调节比例系数（P）X X X X. X X0001.00用于调节阀20调节积分系数（I）X X X X. X X0001.00用于调节阀21调节微分系数（D）X X X X. X X0000. 00用于调节阀22信号设定值（mV）0000. 00-2000. 000000. 00暂无此功能23结束符1结束符1结束符1 不可设置注：表中范围为X X X X X X 的数据系统不校错;其它参数若设置超出表中范围

5、，则屏幕闪烁报错。注1:工作模式选项1654321XXXXXX第1位（备用：0）第2位（备用：0）第3位（备用：0）第 4 位 流量单位:0-mL/m； 1-L/m； 2SCCM； 3SLPM； 4-mg/m； 5-g/m （默认:0）第5位 与上位机通信速率：0无通信；1 1200； 22400； 34800； 49600第6位 蜂鸣器报警：0允许发声；1禁止发声（注：按键始终有声）工作模式选项1的第4位为计量单位选择，当计量单位由mL改为L,或由L改为mL （以及 mg与g的相互改变）时，因系统自动进行单位换算时会导致数据误差或溢出，故仪表每次改变 计量单位后必须重新设定量程、瞬时量设定值

6、、累积量这三个参数。注2：工作模式选项2654321XXXXXX第1位（备用：0）第2位（备用：0）第3位（备用：0）第4位（备用：0）第5位（备用：0）第6位 工作模式：。一计量工作模式；1-标定（不计入累计量）；2-按设定瞬量调试; 3-按设定信号值调试（默认：0）注3：工作模式选项3654321XXXXXX第1位 介质类型（低位）：第2位介质类型（高位）：00- Air,01-N2,02-02,03-He,04-H2,05-Ar,06-CH4,07-C2H6,08-C3H8, 09-C4H10,10-C2H4,11-C3H6,12-CO, 13-CO2,14-H2S, 15-SO2,16

7、-NH3 （默认:00）第3位 体积流量补偿：0一无补偿；1 按温,压设定值补偿（默认：0）第4位 密度模式：0设定；120时的国家标准值（默认：0）第5位 温度模式：0设定；1传感器检测（目前无）（默认：0）第6位 零点修正：0设定；1零流量时重新采样（默认：0）注4：出错信息654321XXXXXX第1位（备用：0）第2位（备用：0）第3位 上下限报警：0-正常；1-下限报警；2-上限报警第4位 数据设置：0正常；1某数据设置错第5位（备用：0）第6位（备用：0）瞬时流量调节控制说明带调节阀的热式气体质量流量控制器，能调节气体流量使之稳定在用户设定的瞬时流量值上。流量传感器 调节阀I.瞬时

8、量设定：若设为0,则无调节功能，阀门全开，只有计量功能。若瞬时量设置过大，超出管路 所能达到的流量，阀门全开，调节将进入饱和状态，此时用户应及时减小设定值。1.本控制器采用经典PID调节理论，P、I、D三个参数的作用分别介绍如下，以方便用户设定。P：比例增益，加大P可以加快系统的响应，P过大会使系统有较大的超调并产生振荡，降低 系统的稳定性。I：积分时间，比例调节存在静差，加大I可以消除静差，减少超调量，提高系统稳定性，但 会减缓静差的消除速度。D：微分时间，加大D可以加快系统响应，减少超调量，提高系统稳定性，但系统对扰动的 抑制能力减弱。用户可根据工况条件设定PID参数试验，直至控制器达到理想工作状态。D 一般设为0。