DB34 4294-2022 半导体行业水污染物排放标准.docx

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1、ICS13.060.30CCSZ6034安徽省地方标准DB34/42942022半导体行业水污染物排放标准Dischargestandardofwaterpollutantsforsemiconductorindustry2022-10-14发布2023-01-01实施安徽省生态环境厅安徽省市场监督管理局发布DB34/42942022目次前言.II1范围.12规范性引用文件.13术语和定义.24水污染物排放控制要求.35水污染物监测要求.5监测一般要求.5监测要求.56达标判定.77实施与监督.8IDB34/42942022前言本文件按照GB/T1.12020标准化工作导则第1部分：标准化文件

2、的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由安徽省生态环境厅提出并归口。本文件起草单位：安徽省生态环境科学研究院、安徽建筑大学、合肥市环境保护科学研究所、合肥工业大学。本文件主要起草人：孙雷、王晓辉、黄健、蒋世友、刘亚风、岳正波、何祥亮、刘慧、张斌、程堃、张华、奚姗姗。本文件由安徽省人民政府2022年8月22日批准。IIHJ84水质无机阴离子(F、Cl、NO2、Br、NO3、PO4、SO3、SO4)的测定离子色谱法DB34/42942022半导体行业水污染物排放标准1范围本文件规定了半导体企业的水污染物排放标准限值、监测要求、达

3、标判定、实施与监督。本文件适用于半导体企业的水污染物排放管理、排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、建设项目竣工环境保护验收及其投产后的污染控制与管理。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T7466水质总铬的测定GB/T7467水质六价铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7470水质铅的测定双硫腙分光光度法GB/T7471水质镉的测定双硫腙分光光度法GB/T7475水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光

4、光度法GB/T7484水质氟化物的测定离子选择电极法GB/T7485水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法GB/T7494水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法GB/T11893水质总磷的测定钼酸铵分光光度法GB/T11901水质悬浮物的测定重量法GB/T11907水质银的测定火焰原子吸收分光光度法GB/T11910水质镍的测定丁二酮肟分光光度法GB/T11912水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法HJ/T60水质硫化物的测定碘量法-3-2-2-HJ91.1污水监测技术规范HJ/T195水质氨氮的测定气相分子吸收光谱法HJ/T199水质总氮的测定气相分子吸收光谱法HJ/T200水质硫

5、化物的测定气相分子吸收光谱法HJ/T399水质化学需氧量的测定快速消解分光光度法HJ484水质氰化物的测定容量法和分光光度法HJ485水质铜的测定二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法HJ486水质铜的测定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ487水质氟化物的测定茜素磺酸锆目视比色法HJ488水质氟化物的测定氟试剂分光光度法HJ489水质银的测定3,5-Br2-PADAP分光光度法HJ490水质银的测定镉试剂2B分光光度法HJ493水质样品的保存和管理技术规定1DB34/42942022HJ494水质采样技术指导HJ495水质采样方案设计技术指导HJ501水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散

6、红外吸收法HJ535水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法HJ536水质氨氮的测定水杨酸分光光度法HJ537水质氨氮的测定蒸馏-中和滴定法HJ636水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法HJ637水质石油类和动植物油类的测定红外分光光度法HJ659水质氰化物等的测定真空检测管-电子比色法HJ667水质总氮的测定连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ668水质总氮的测定流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ670水质磷酸盐和总磷的测定连续流动-钼酸铵分光光度法HJ671水质总磷的测定流动注射-钼酸铵分光光度法HJ694水质汞、砷、硒、铋和锑的测定原子荧光法HJ700水质65种元素的测定电感耦合等离子

7、体质谱法HJ776水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ828水质化学需氧量的测定重铬酸盐法HJ908水质六价铬的测定流动注射-二苯碳酰二肼光度法HJ970水质石油类的测定紫外分光光度法（试行）HJ1069水质急性毒性的测定斑马鱼卵法HJ1147水质pH值的测定电极法HJ1226水质硫化物的测定亚甲基蓝分光光度法污染源自动监控管理办法（2005年9月19日国家环境保护总局令第28号）环境监测管理办法（2007年7月25日国家环境保护总局令第39号）3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。半导体企业semiconductorindustry从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试

8、的企业。现有企业existingfacility本文件实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。新建企业newfacility本文件实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。直接排放directdischarge排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。间接排放indirectdischarge排污单位向污水集中处理设施排放水污染物的行为。2序号污染物项目排放限值特别排放限值污染物排放监控位置1总镉（按Cd计）0.050.01车间或生产设施废水排放口2总铬（按Cr计）0.50.536+六价铬（按Cr计）0.10.14总砷（按As计）0.20.

9、15总铅（按Pb计）0.20.1车间或生产设施废水排放口6总镍（按Ni计）0.50.17总银（按Ag计）0.30.1DB34/42942022特别排放限值specialdischargelimitvalues根据生态环境保护工作的要求，在国土开发密度已经较高、环境承载能力开始减弱，或环境容量较小、生态环境脆弱，容易发生严重环境污染问题而需要采取特别保护措施的地区，为严格控制企业的污染物排放行为而制定的水污染物排放限值。污水集中处理设施concentratedwastewatertreatmentfacilities为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施，包括各种规模和类型的城镇

10、污水集中处理设施、工业集聚区（经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区）污水集中处理设施，以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施。排水量effluentvolume企业或生产设施排放到企业法定边界外的废水量，包括与生产有直接或间接关系的各种外排废水（含厂区生活污水、冷却废水、锅炉和电站废水等）。单位产品基准排水量benchmarkeffluentvolumeperunitproduct用于核定水污染物排放浓度而规定的生产单位产品的污水排放量上限值。稀释倍数dilutionlevel原水样占稀释后水样总体积分数的倒数，一般用D来表示。例如，水样未稀释，则稀释倍数D

11、=1；取250ml水样稀释至1000ml（即体积分数为25），则稀释倍数D=4。最低无效应稀释倍数lowestineffectivedilution测试中不产生测试效应的最低稀释倍数，本文件指不少于90的斑马鱼卵存活时水样的最低稀释倍数，用LID表示。4水污染物排放控制要求水污染物排放限值见表1和表2。表1第一类水污染物排放限值单位：mg/L3序号污染物项目直接排放限值特别排放限值间接排放限值污染物排放监控位置1氟化物（按F计）10820企业废水总排放口2总铜（按Cu计）0.40.41.03总锌1.01.01.54硫化物（按S计）1.01.01.05-总氰化物（按CN计）0.20.20.26p

12、H（无量纲）6.09.06.09.06.09.07悬浮物（SS）60304008化学需氧量（COD）60505009氨氮1084510总氮15107011总磷1.00.58.012石油类3.01.01513阴离子表面活性剂（LAS）1.00.52014总有机碳（TOC）2015150序号适用企业产品规格单位单位产品基准排水量污染物排放监控位置1集成电路6英寸芯片生产3m/片3.2排水量计量位置与污染物排放监控位置一致28英寸芯片生产3m/片6.0312英寸芯片生产掩膜层数35层及以下3m/片11掩膜层数35层以上204封装测试封装产品传统封装产品3m/千块产品2.0圆片级封装产品3m/片115

13、分立器件分立器件3m/万块产品3.5注：本表中规定的单位产品基准排水量值应按满产情况进行测算。DB34/42942022表2第二类水污染物排放限值单位：mg/L（pH值除外）企业向污水集中处理设施排放废水时，其第二类水污染物排放应达到表2中间接排放限值；向具备处理此类废水能力的集中式工业废水处理厂排放废水的企业，其第二类水污染物排放可与集中式工业废水处理厂商定间接排放限值，并签订协议报当地生态环境主管部门备案。执行特别排放限值的区域执行表1和表2中相应限值要求。注：执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间，由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定。半导体生产企业不同产品规格的单位产品基准排水

14、量执行表3规定。表3单位产品基准排水量半导体行业新建和现有企业废水处理设施自2025年1月1日起，按表4监测废水的综合毒性，每年监测不少于一次，并将监测结果报送当地生态环境主管部门。该项目为指导性指标，运营单位根据监测结果采取相应的控制措施。4序号控制项目名称排放水平参考值监测位置1斑马鱼卵急性毒性a6企业废水总排放口a以最低无效应稀释倍数来表征，在261的条件下培养48h，不少于90的斑马鱼卵存活时水样的最低稀释倍数。DB34/42942022表4综合毒性控制项目水污染物排放限值适用于单位产品实际排水量不高于单位产品基准排水量的情况。若单位产品实际排水量超过单位产品基准排水量，应按公式（1）

15、将实测水污染物浓度换算为水污染物基准水量排放浓度，并以水污染物基准水量排放浓度作为判定排放是否达标的依据。产品产量和排水量统计周期为一个工作日。在企业的生产设施同时生产两种以上产品，可适用不同排放控制要求或不同行业污染物排放标准时，且生产设施产生的污水混合处理排放的情况下，应执行排放标准中规定的最严格的浓度限值，并按公式（1）换算水污染物基准水量排放浓度：基𝐶实(1)𝐶基总Q总排水总量，单位为立方米（m）；式中：C基水污染物基准排水量排放浓度，单位为毫克每升（mg/L）；3Yi某种产品产量，产品单位见表3；Qi基某种产品的单位产品基准排水量，产品单位见表3；C实

16、实测水污染物排放浓度，单位为毫克每升（mg/L）。若Q总与YiQi基的比值小于1，则以水污染物实测浓度作为判定排放是否达标的依据。5水污染物监测要求监测一般要求5.1.1企业应按照环境监测管理办法的规定，建立企业监测制度，制定监测方案，对水污染物排放状况开展自行监测，保存原始监测记录，公布监测结果。5.1.2企业安装污染物排放自动监控设备的要求，按有关法律和污染源自动监控管理办法的规定执行。5.1.3企业应按环境监测管理规定和技术规范的要求，设计、建设、维护排污口标志。5.1.4对企业排放的废水采样，应根据监测污染物的种类，在规定的污染物排放监控位置进行。5.1.5建设项目环境保护设施竣工验收

17、监测应在主体工程调试工况稳定、环境保护设施运行正常情况下进行，并记录监测时的实际工况。监测要求5.2.1水污染物的监测采样应按HJ91.1、HJ493、HJ494、HJ495的规定执行。5.2.2企业排放水污染物浓度的测定采用表5所列的方法标准。5.2.3本文件实施后，表5所列污染物如有新发布的环境监测分析方法标准，其方法适用范围和条件相同的，也适用于本文件对应污染物的测定。5序号污染物项目标准名称标准编号1总镉水质镉的测定双硫腙分光光度法GB/T7471水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法GB/T7475水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦

18、合等离子体质谱法HJ7002总铬水质总铬的测定GB/T7466水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ7003六价铬水质六价铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7467水质六价铬的测定流动注射-二苯碳酰二肼分光光度法HJ9084总砷水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法GB/T7485水质汞、砷、硒、铋和锑的测定原子荧光法HJ694水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ7005总铅水质铅的测定双硫腙分光光度法GB/T7470水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光

19、光度法GB/T7475水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ7006总镍水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法GB/T11912水质镍的测定丁二酮肟分光光度法GB/T11910水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ7007总银水质银的测定火焰原子吸收分光光度法GB/T11907-水质银的测定3,5-Br2PADAP分光光度法HJ489水质银的测定镉试剂2B分光光度法HJ490水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法

20、HJ7008pH值水质pH值的测定电极法HJ11479悬浮物（SS）水质悬浮物的测定重量法GB/T1190110化学需氧量（COD）水质化学需氧量的测定重铬酸盐法HJ828水质化学需氧量的测定快速消解分光光度法HJ/T39911总有机碳（TOC）水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散红外吸收法HJ50112总氰化物水质氰化物的测定容量法和分光光度法HJ484水质氰化物等的测定真空检测管-电子比色法HJ65913石油类水质石油类和动植物油类的测定红外光度法HJ637水质石油类的测定紫外分光光度法（试行）HJ970DB34/42942022表5水污染物浓度测定方法标准6序号污染物项目标准名称标准编号1

21、4氨氮水质氨氮的测定气相分子吸收光谱法HJ/T195水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法HJ535水质氨氮的测定水杨酸分光光度法HJ536水质氨氮的测定蒸馏-中和滴定法HJ537水质氨氮的测定连续流动-水杨酸分光光度法HJ665水质氨氮的测定流动注射-水杨酸分光光度法HJ66615总氮水质总氮的测定气相分子吸收光谱法HJ/T199水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法HJ636水质总氮的测定连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ667水质总氮的测定流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ66816总磷水质总磷的测定钼酸铵分光光度法GB/T11893水质磷酸盐和总磷的测定连续流动-钼酸铵分光光度法H

22、J670水质总磷的测定流动注射-钼酸铵分光光度法HJ67117硫化物水质硫化物的测定亚甲基蓝分光光度法HJ1226水质硫化物的测定碘量法HJ/T60水质硫化物的测定气相分子吸收光谱法HJ/T20018氟化物水质氟化物的测定离子选择电极法GB/T7484水质氟化物的测定茜素磺酸锆目视比色法HJ487水质氟化物的测定氟试剂分光光度法HJ488-2-3-2-2-水质无机阴离子（F、Cl、NO、Br、NO3、PO4、SO3、SO4）的测定离子色谱法HJ8419阴离子表面活性剂（LAS）水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法GB/T749420总铜水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法GB/T7

23、475水质铜的测定二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法HJ485水质铜的测定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ486水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ70021总锌水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法GB/T7475水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法HJ776水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ70022斑马鱼卵急性毒性水质急性毒性的测定斑马鱼卵法HJ1069DB34/42942022表5（续）6达标判定采用手工监测时，按相关监测技术规范要求获取的监测结果超过本文件排放浓度限值时，判定为排放

24、超标。各级生态环境主管部门在对企业进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测的结果，作为判定排污行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据。7DB34/42942022企业按照法律法规及标准规范要求与生态环境部门联网的自动监测有效数据，水污染物以日均值作为达标考核的依据。国家和省对达标判定另有要求的，从其规定。7实施与监督新建企业自2023年1月1日起，现有企业自2025年1月1日起执行本文件。本文件由生态环境主管部门负责监督实施。本文件实施后，国家新颁发或修订的相关标准中排放限值要求严于本文件的，执行相应标准限值要求。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本文件时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。企业是实施排放标准的责任主体，应采取必要措施，达到本文件规定的污染物排放控制要求，保证污染防治设施正常运行。8