3RENA刻蚀工序操作作业指导书.docx

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1、文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 1页 共 21 页 1of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version文件版本日 期修订页次描述质量部技术部工艺部设备部制造部文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 2页 共 21 页 2of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version名目1. 目的32. 范围33. 职责34. 内容35. 记录36. 附件4Effectiveon编写人审核

2、人批准人AuthorChecked byApproved by1. 目的文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期第 3页 共 21 页 3of20版本Version标准多晶硅电池片生产中刻蚀工序的各项操作。2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA机刻蚀工序的操作作业指导。3. 职责3.1 全部操作人员都必需严格依据本文件进展操作。3.2 在操作过程中遇到问题应准时向工艺和设备人员反响，工艺和设备人员准时供给帮助。3.3 电池技术部负责按文件要求对产线进展检查、监视。4. 内容4.1 刻蚀工序留意事项规定，见 5-8 页。4.2 RENA 刻蚀上料操作作

3、业指导书多晶，见 9 页。4.3 RENA 刻蚀流程操作作业指导书(多晶)，见 10-11 页。4.4 RENA 刻蚀下料操作作业指导书多晶，见 12-13 页。4.5 减薄量测试作业指导书, 见 14 页。4.6 刻蚀返工片选择指导书，见 15-16 页。4.7 产线特别掌握作业指导书，见 17 页。5. 记录5.1 刻蚀减重记录表电子版5.2 刻蚀换液记录表5.3 刻蚀工艺日常点检表5.4 电池生产流程单文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 4页 共 21 页 4of20编写人Author6. 附件审核人Checked by批准人

4、Approved by版本Version6.1 刻蚀常见特别处理方法设备，见 18-19 页。6.2 化学品安全使用和应急处理，见 20-21 页。文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 5页 共 21 页 5of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version刻蚀工序留意事项规定1. 刻蚀工序区域环境要求1.1 干净度：掌握线 8000 级，停产线 10000 级1.2 温度：2221.3 湿度：70%1.4 对参观通道保持 3pa 正压1.5 排风：50050Pa(RENA 机排风) 2

5、着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐包括公司配备的干净服、干净帽、工作鞋、口罩并保证着装干净如脏污须清洗或更换。2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必需更换手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。 3刻蚀工序生产前设备状态检查(设备)文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 6页 共 21 页 6of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version3.1 检查压缩空气阀 1供风刀用压力为 5Bar最左边压力表，压

6、缩空气阀 2供整机气动元件用，以下图中最右边压力为 0. 6MPa3.2 检查纯水压力是否正常大于2.5Bar，并且纯水温度为 20 度3.3 检查机器顶部的冷却水供碱槽掌握温度用进水压力和回水压力差值是否为 0.3MPa中间两个压力表，温度低于 20 度。3.4 检查恒压罐内硝酸HNO 、3氢氟酸 1HF和氢氟酸 2HF、氢氧化钾KOH恒压罐内液位是否正常，中液位指示灯亮显示橘黄色文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 7页 共 21 页 7of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Versi

7、on4. 开机预备4.1 翻开电控柜电源，然后翻开主机及 PLC 电源。4.2 翻开灯，开关位于灰色的电气箱“0”“1”。4.3 翻开机器上的显示器，并翻开冷却系统4.4 开头登录程式。点击屏幕右上角的“login”。4.5 填入帐号和密码，按“Login，进入操作界面，并选择手动模式mode Manual。 4.6 把产量清 0，待各工艺槽预备好后屏幕上各槽位显示 Ready，为绿色，将滚轮关掉。4.7 将手动模式切换为自动模式，并点击屏幕右下方的“start”，即完成开机。4.8 假设出于放假或者设备修理需要关闭电源时，关闭电控柜电源。5操作留意事项5.1 每个班次生产完毕后交接班前擦拭上

8、下料滚轮，并将下面的碎片清理干净。在换液时清理各工艺槽处滚轮上粘着的碎片。5.2 每个班次生产完毕后交接班前保证清洗机各个面、显示屏干净、无污物，用白布擦拭无污迹，上下料区无明显渣滓和积水，操作平台走廊表 面、清洗机底部、后面底部无明显污物。5.3 每个班次生产前保证上料桌和下料桌干净、无污物，用无尘布擦拭无明显污迹。冷却系统、检验台等与干净硅片接触的设备外表干净，用无尘布擦拭无污迹。5.4 停产时间超过 24 小时包括 24 小时，应将枯燥机以后的滚轮用酒精无尘布擦干净，特别是有橡皮胶圈的地方，以免生产时消灭滚轮印。5.5 停机时间超过 1 小时包括 1 小时，应冲洗 RENA 机碱槽的风刀

9、，以免停机时间过长导致风刀堵塞。文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 8页 共 21 页 8of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version5.6 生产过程中风刀压力要充分，保障吹干硅片硅片外表及后边缘无明显水珠，如觉察硅片不能吹干，应准时告知设备或工艺人员处理。5.7 刻蚀槽槽和碱洗槽的温度消灭凹凸温报警时马上停顿生产，待温度恢复正常后再上片。5.8 消灭叠片或碎片现象，将叠片或碎片的轨道停顿放片，马上通知工艺人员和设备人员进展检查，产线员工应帮助检查，检查完毕并排解特别前方能放片。

10、叠片必需予以返工处理, 不得自行擦干流入下一个工序。5.9 一旦觉察工艺槽中有叠片不能出来，马上要求停顿上料，将刻蚀槽的溶液排下，等设备中的硅片全部出来后，停顿滚轮，处理叠片。5.10 接触到氢氧化钾时马上使用清水冲洗接触位置，直到冲洗干净为止以免烧伤，严峻时马上就医。当接触到氢氟酸和盐酸时，马上用大量水冲洗，严峻时就医。5.11 手动放片时，从片盒中取出原硅片，每次取片不超过 50pcs，片子底部放一块中空板。5.12 刻蚀到 PECVD 的留存时间：刻蚀后的片子必需准时送到 PECVD 车间, 不得滞留在刻蚀暂存台。硅片不允许暴露在空气中超过 2h，时间过长硅片会污染氧化.文件名称：刻蚀工

11、序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 9页 共 21 页 9of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本VersionRENA刻蚀上料操作作业指导书多晶操作步骤：(1)着装：正确穿戴好无尘服、工作鞋,戴好口罩，手套和帽子。留意事项：头发不要外露。防护用品：无所需工具：无尘服、口罩、帽(1) 着装(2)取片子操作步骤：3检查：检查硅片集中面是否有黑点、大面积脏污，有不良挑出返工留意事项：制止裸手接触硅片操作步骤：(2)取片：戴好手套从片盒中取出硅片，要求一次不多于 50 片，下面垫中空板。留意事项：制止裸手接触硅

12、片防护用品：无所需工具：中空板操作步骤：(3) 放片：放片时手指要拿硅片中心位置， 把集中面朝上较暗的一 面，无法确认时通知工艺 沿着最前滚轮出放片，放片要求做到无声操作。留意事项：集中面对上(3) 检查防护用品：无所需工具：无操作步骤：(4)保持放片间 距：放片要保证片间距大于1cm，否则简洁造成叠片现 象。 尽量保证均匀的放片间距。(4) 放片防护用品：无所需工具：无留意事项：保证片间距大于1cm防护用品：无(5)保持放片间距所需工具：无文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 10页 共 21 页 10of20编写人Author审核

13、人Checked by批准人Approved by版本VersionRENA 刻蚀流程操作作业指导书多晶操作步骤1设备状态确认:RENA 操作界面全部运行指示灯全部为绿色。清零输入数和输出数。按下开头生产。留意事项：无操作步骤2生产前测量减薄量：要求 14 道和58 道各测一片。减重掌握在 0.05g-0.1g，刻蚀线宽度小于 1.5mm。留意事项：无防护用品：无（1） 设备状态确认所需工具：无操作步骤3滚轮速度限制：生产过程中滚轮速度不得超过 1.5m/min（2） 生产前测量减薄量防护用品：无所需工具：无操作步骤4过程减重监测：生产作业员需要每 2 小时测量减薄量，每次测量 2 片，1-4

14、 道和 5-8 道各测一片，记录在表留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无3滚轮速度限制所需工具：无4过程减重监测所需工具：无操作步骤5确认报警信息：当生产过程中消灭报警，按 F2 消警，如是严峻警告需要通知工艺和设备人员。操作步骤6冲洗碱槽风刀：上下班交接班和吃饭时间停机后要求生产员工用水枪对碱槽后风刀进展冲洗。留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无5确认报警信息所需工具：无6冲洗碱槽风刀所需工具：无文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 11页 共 21 页 11of20编写人Author审核人Checked b

15、y批准人Approved by版本Version文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 12页 共 21 页 12of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version操作步骤7生产员工必需在交接班时间和吃饭停机时间擦拭刻蚀槽上盖板上的酸液。每班擦拭 2 次，夏季每 2 小时擦拭一次。留意事项：跟据车间湿度调整擦拭频率防护用品：无7擦拭盖板所需工具：无操作步骤9停机操作： 停产一小时后或者不行估量的长时间停产将药液由槽向罐排放。操作步骤8下料观看硅片：下料处检查硅片吹干和过刻状况。留意事项：觉

16、察特别通知工艺员防护用品：无8下料观看硅片所需工具：无操作步骤10填写流程单：要求填写时间来料数出料数减薄量。留意事项：无留意事项：无9停机操作防护用品：无所需工具：无10填写流程单防护用品：无所需工具：无文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 13页 共 21 页 13of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本VersionRENA刻蚀下料操作作业指导书多晶操作步骤：(1)下料观看硅片：观看硅片外表有无液体残留，假设有，将未吹干的硅片取出，通知工艺员。假设有过刻片，挑出做返工处理并通知工艺员。

17、留意事项：取片时留意安全防护用品：无(1)下料观看硅片所需工具：无操作步骤：3下料拿片动作：收片时用双手夹住硅片两边，为了防止对硅片正面造成污染，制止单手收片。留意事项：制止单手收片。防护用品：无3下料拿片动作所需工具：无操作步骤：5装满的片盒放于周转车：将下料装好的片篮放于周转车， 片篮中制绒方向朝向同一个方向，每 1200 片为一个批次。留意事项：无操作步骤：2下料花篮的摆放方向按右图所 示：要求花篮开口小的一面朝下料操作人员，且下面必需垫上海绵垫。留意事项：无防护用品：无2下料花篮的摆放所需工具：海绵垫操作步骤：4下料插片动作：插片时要求操作人员正对花篮，遇到插不正的状况时，不允许手对硅

18、片有向下的压力，手只能对硅片有水平方向的 力，校准硅片位置，让硅片靠重力插入花篮。留意事项：不允许手对硅片有向下的压力防护用品：无4下料插片动作所需工具：海绵垫操作步骤6填写流程单：要求填写时间来料数出料数减薄量。留意事项：流程单的类型防护用品：无防护用品：无（5） 装满的片盒放于周转车所需工具：周转车6填写下料流程单所需工具：圆珠笔文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 14页 共 21 页 14of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version操作步骤：(8)传递硅片：将周转车推到PE

19、 车间，放于指定区域。要求刻蚀后硅片暴露于空气中不能超过 2 小时。(8)传递硅片留意事项：刻蚀后硅片暴露于空气中不能超过 2 小时防护用品：无所需工具：周转车文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 15页 共 21 页 15of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version减薄量测试作业指导书操作步骤：(1)取片：从不同泡沫盒中分别取 2 片原片，在片子底部放一块中空板。留意事项：在片子底部放一块中空板操作步骤：(2) 开机：翻开天平电源开关，并按“开机”键(左边第一个键)。留意事项：无

20、防护用品：无防护用品：无(1)取片所需工具：天平(2)开机所需工具：天平操作步骤：(3) 去皮：测量前按“去皮”键中间其次个键，调试天平，显示为零时方可测量。操作步骤：(4)开门：推开右侧窗口。留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无(3)去皮所需工具：天平(4)开门所需工具：无操作步骤：(5) 放片：将硅片轻放轻拿，硅片不要触碰天平四壁，关闭右侧窗口，准时记录称量数据。操作步骤：(6) 称量：依次进展称量。留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无(5)放片所需工具：天平(6) 称量所需工具：天平操作步骤：(7) 记录数据：将制绒前后数据记录在刻蚀减薄量测量记录表上，减薄量范围

21、控0.042-0.058g多晶， 超出范围通知工艺员。操作步骤：(8)还片：将称量好的硅片归还给下料员。留意分清集中面。留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无(7) 记录数据所需工具：天平(8)还片所需工具：无文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 16页 共 21 页 16of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version上料选择返工类型类型1黑点：集中偏磷酸滴落和制绒后脏污再集中造成的黑点都需要返工处理。类型1大面积脏污：集中面大面积发黑或脏污需要挑出返工处理留意事项：无留意

22、事项：无1黑点防护用品：无所需工具：无1大面积脏污防护用品：无所需工具：无下料选择返工片类型类型1刻蚀边过宽：刻蚀线大于 1.5mm。类型2刻蚀边发黑：刻蚀边线有酸残留呈黑色。留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无刻蚀返工片选择作业指导书1、 刻蚀段返工片选择（1） 刻蚀上料员需要对集中下料漏挑或未挑的外观不良片进展选择。（2） 刻蚀下料员需要对刻蚀后不良片进展选择。2、刻蚀返工片选择标准文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 17页 共 21 页 17of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved

23、 by版本Version1刻蚀边过宽所需工具：无类型3滴液：盖板滴液造成正面呈圆形区域过刻或者边缘较小半圆形区域过刻。2刻蚀边发黑所需工具：无类型4气泡：循环管道冒泡，气泡爆炸造成边缘较大区域的半圆形区域过刻。留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无5正面滚轮印所需工具：无6反面黑色滚轮印所需工具：无留意事项：无留意事项：无防护用品：无防护用品：无3滴液所需工具：无4气泡所需工具：无类型5正面滚轮印：上滚轮有脏污或酸液造成的正面滚轮印。类型6反面黑色滚轮印： 刻蚀不完全造成的反面黑色滚轮印。文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第

24、 18页 共 21 页 18of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version产线特别掌握作业指导书1. 刻蚀槽液面的留意事项正常状况下液面均处于淡黄色，假设一旦在生产过程中颜色转变，马上通知工艺人员。过程中每隔1 小时观看刻蚀槽和酸洗槽的液面，刻蚀槽液面不能浸泡到硅片正面，酸槽液面必需将硅片完全浸泡，各喷淋槽喷淋口无堵塞。2. 产线上没有充分的片源时或后工序留存片较多时，工艺要求:2.1 可估量的停产，停产1 小时后，或不行估量的长时间停产，停产时间超过2 小时后，要将刻蚀槽的药液排到tank，削减药液的挥发。2.2 停机15 分钟以上要用水枪

25、冲洗碱槽喷淋及风刀，以防碱形成的结晶盐堵塞喷淋口及风刀。2.3 停机1h 以上，在生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印。3. 消灭硅片堵塞时：3.1 消灭喷淋管口堵塞时，应尽快告知设备人员处理。3.2 溢流口有碎片堵塞时，会导致循环泵停转，此时需停顿上片并通知设备清理溢流口四周的碎片。文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 19页 共 21 页 19of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version附件一：刻蚀常见特别处理方法设备英文报警Controll Off E

26、rror Control Air Control中文报警掌握完毕 空气掌握失灵解决方法检查急停开关通知设备Motor protection马达出错通知设备检查液位传感器液位到达过Overfilled过满满传感器时要排掉一局部工艺处理 leakage safty pan安全槽泄漏通知设备11Exhaust monitoring of 负载排气装置监loaded eahaust测通知设备304External supply not外部溶液供给尚ready未预备就绪1. 通知设备2. 通知外围查看供给是否充分。顶部底部DI1.查看 DI 水压力是否过小240Flow min DI watertop(

27、below)水流量过小2通知设备Rinse13.通知外围进展处理文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 20页 共 21 页 20of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version温度传感器无温通知设备度显示1.修改温度上限值838Maximum temperature碱槽超过最大温2.查看冷却水进回水压力是否exceeded度正常。工艺处理冷却机温度过高Prealarm temperature不能正常降通知设备too high温timeout filling填充时间已过通知设备timeo

28、ut draining排放超时通知设备cooling tank level not冷却机水位不够通知设备ok文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号Serial No. 生效日期Effective on第 21页 共 21 页 21of20编写人Author审核人Checked by批准人Approved by版本Version附件二：化学品安全使用和应急处理硝酸HNO3氢氟酸HF强酸性和强氧化性；无色无臭透 中强酸，易溶于水，无色液体或气体特性明液体，由于纯度不同，颜色自无到黄棕色危害防护措施对皮肤、黏膜等造成刺激和腐蚀作用，蒸汽或雾气会造成失明、肺水肿和呼吸困难。高浓度会喉痉挛或声门水肿而

29、窒息死亡佩戴防毒口罩、防毒眼睛，耐酸碱防护手套，穿耐酸碱工作服对皮肤有猛烈的腐蚀。灼伤初期皮肤潮红，创面苍白坏死。眼部高浓度本品会引起眼角膜穿孔。吸入会发生支气管炎和肺炎。佩戴防毒口罩、防毒眼睛，耐酸碱防护手套，穿耐酸碱工作服泄漏应急疏散污染区人员至安全地点，应 疏散污染区人员至上风处，并隔离至气急处理人员戴好自给式呼吸器， 体散尽。应急人员戴好自给式呼吸器，穿处理穿耐酸碱防护服皮肤接触 脱去被污染的衣服，用流淌清水急救彻底冲洗皮肤。耐酸碱防护服。脱去被污染的衣服，用流淌清水彻底冲洗皮肤；用 2%碳酸氢钠冲洗眼睛接触 提起眼睑，用大量流淌清水或生急救理盐水冲洗至少 15 分钟，就医。 提起眼睑，用大量流淌清水或 2%碳酸氢钠冲洗，就医。快速脱离现场至空气清爽处，呼 快速脱离现场至空气清爽处，保持呼吸吸入急救 吸困难时给输氧。如呼吸停顿立 通畅。赐予 24%碳酸氢钠溶液雾吸入。即进展人工呼吸。就医。如呼吸停顿马上进展人工呼吸。就医食入急救 饮足量温开水，催吐，就医。患者糊涂是饮牛奶或蛋清。马上就医。