RENA清洗设备中文版说明书机械制造制造加工工艺_机械制造-制造加工工艺.pdf

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1、RENA 清洗设备中文版说明书 仅操作部分 6、操作 6.1 开机 6.1.1 步骤 1：开机前准备 第一步：打开药液供给侧的手动阀 第二步：关闭所有后侧门 第三步：关闭所有服务和维修窗口的盖板 第四步：解锁所有急停按钮 6.1.2 步骤 2：给机器上电 第一步：将机器的主开关打到 ON 的状态 此时机器有电 第二步：移走 UPS 电源的盖板 第三步：将 UPS 的主开关打到 ON 的状态 第四步：将主机的主开关打到 ON 的状态 此时操作系统启动 6.1.3 步骤 3：给 CHILLER 上电 第一步：将 CHILLER 的主开关打到 ON 的状态 此时 CHILLER 启动 6.1.4 步

2、骤 4：登录 Windows 第一步：选择 Operator 用户 第二步：输入 Operator 密码，点击确定 6.1.5 步骤 5：启动应用软件 6.1.5.1 启动 SPS 软件 第一步：双击 WINLC RTX SPS 软件启动 SPS软件开始自动运行，直到 ON和RUN显示为绿色 第二步：将 WINLC RTX 最小化 6.1.5.2 启动 Server 第一步：双击 Server 第二步：点击 Open Project 第三步：选择 Project Path 第四步：点击+第五步：点击 Configuration 第六步：点击 OK 第七步：点击 RUN 第八步：点击 Start

3、 Tag Provider 第九步：最小化服务器程序 6.1.5.3 启动用户界面 第一步：双击 Client 6.1.6 步骤 6：用户登入 第一步：登入 Process 6.1.7 步骤 7：控制系统上电 第一步：按动 ON 按钮 6.2 工艺初始化准备 第一步：登入 Service 第二步：了解所有报警信息 第三步：将机器打到 Manual 状态 第四步：对所有的功能单元下载 Recipe 第五步：冷却系统补液 第六步：清洗槽补液 第七步：所有 dosage tanks 补液 第八步：所有 Pump tanks 补液 此时机器用于工艺已准备好 6.3 自动生产 第一步：登入 Operat

4、or 用户 第二步：确认所有的功能单元都处在 Ready 状态 第三步：点击 Start production 6.3.3 停止自动生产 6.3.3.1 停止预定的自动生产 第一步：点击 Scheduled stop 弹出一个窗口 第二步：点击 YES 仍在机器内的硅片跑出后停止 6.3.3.2 停止未预定的自动生产 第一步：点击 Unscheduled stop 弹出一个窗口 第二步：点击 YES 仍在机器内的硅片将过刻 6.3.3.3 停止自动生产 关闭 步骤 1：停止预定的自动生产 第一步：点击 Scheduled stop 第二步：点击 YES 仍在机器内的硅片跑出后停止 步骤 2：点

5、击 Unscheduled time 6.3.4 手动补液 6.3.4.1 工艺槽补液 第一步：点击 Process bath 第二步：点击欲加液的 dosage tank.第三步：点击 dosage 第四步：输入欲加液的体积 第五步：点击 Start manual dosage 补液开始 停止补液 第一步：点击 Stop manual dosage 补液停止 6.3.4.2 碱槽补液 门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软

6、件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和显示为绿色第二步将最小化启动第一步双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单元都处在第三步点击停止Manual 状态 与以上相似 6.3.4.3 酸槽补液 与以上相似 6.3.5 滚轮操作 6.3.5.1 停止滚轮 第一步：点击 Drives break 滚轮停止转动 6.3.5.2 启动滚轮 第一步

7、：点击 Drives continue 滚轮开始转动 6.3.6 机器保护门的操作 6.3.6.1 解锁保护门 第一步：点击 Unlock pane 保护门解锁 6.3.6.2 锁保护门 第一步：点击 Lock pane 保护门锁上 6.3.7 硅片计数器清零 第一步：点击 Reset wafer counter 硅片计数器清零 6.4 手动操作 6.4.1 将机器打到 Manual 状态 第一步：点击 Manual 第二步：等到所有功能单元都切换到 6.4.2 冷却系统补液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Cooling System 第三步：点击 Manual fun

8、ctions 第四步：点击 Fill with City Water 冷却系统开始补液 中断冷却系统补液 第五步：点击 Stop 正补液的冷却系统停止补液 6.4.3 清洗槽补液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击欲加液的清洗槽 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Fill with DI 清洗槽开始补液 6.4.4 dosage tank 补液 6.4.4.1 工艺槽 dosage tank 补液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Process bath 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击欲加化学药品

9、的 Dosage Tank Fill dosage tank 开始补液 第五步：对所有的 dosage tank 重复第四步的操作 中断补液 第六步：点击 Stop 补液被中断 6.4.4.2 碱槽的 dosage tanks 补液 与以上相似 6.4.4.3 酸槽的 dosage tanks 补液 与以上相似 6.4.5 Pump tanks 补液 6.4.5.1 工艺槽 Pump tanks 补液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Process bath 第三步：点击 Manual functions 第四步：对所有的 dosage tanks 补液 第五步：点击 F

10、ill chemistry Pump tank 将按照 recipe 的设定补液 中断补液 第六步：点击 Stop 补液被中断 6.4.5.2 碱槽 Pump tanks 补液 与以上相似 6.4.5.2 酸槽 Pump tanks 补液 与以上相似 6.4.6 Bath 槽补液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：冷却系统补门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和

11、显示为绿色第二步将最小化启动第一步双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单元都处在第三步点击停止液 第三步：所有清洗槽补液 第四步：所有 dosage tanks 补液 第五步：所有 pump tanks 补液 第六步：点击 InOxSide 第七步：点击 Start production Bath 槽开始补液 6.4.7 冷却系统排液 第一步：将

12、机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Cooling system 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Drain 冷却系统开始排液 中断排液 第五步：点击 Stop 排液被中断 6.4.8 清洗槽排液 与以上相似 6.4.9 将 Baths 的药液排到 pump tank 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Drain bath to pump tank Bath 开始排液到 Pump tank 中断排液 第五步：点击 Stop 排液被中断 6.4.10 对 bat

13、hs and pump tank 排液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Drain Bath 和 Pump tank 将被排空 6.4.11 对 dosage tanks 排液 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Drain Bath 和 Pump tank 将被排空 第五步：点击欲操作的 dosage tank 的 Drain dosage tank dosage tank 的药液被排至 U pum

14、p tank.pump tank.的药业被排空 中断排液 第六步：点击 Stop 排液被中断 6.4.12 换液 Changing the bath 第一步：将机器打至 Manual 状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Bath change 6.4.13 启动自动清洗 清洗周期和清洗时间由 recipe 的参数预设 第一步：将机器打至 Manual 状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Clean 开始清洗 中断清洗 第五步：点击 Stop 清洗被中断 6.4.14 启动

15、手动清洗 6.4.14.1 工艺槽的手动清洗 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Process bath 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Start manual rinse Bath 槽的排液阀门打开 用水枪冲洗 bath 槽 中断清洗 第五步：点击 Stop Bath 槽的排液阀门关闭 手动清洗被中断 6.4.14.2 酸槽的手动清洗 与以上相似 6.4.15 停止手动清洗 6.4.15.1 工艺槽的手动清洗 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Process bath 第三步：点击 Manual functions 第四

16、步：点击 stop manual rinse Bath 槽的排液阀门关闭 6.4.15.2 酸槽的手动清洗 与以上相似 6.4.16 初始化 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击 Init 功能单元开始初始化 中断初始化 第四步：点击 Stop 初始化被中断 门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和显示为绿色第二步将最小化启动第一步

17、双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单元都处在第三步点击停止6.4.17 dosage tanks 的余量置零 第一步：将机器打到 Manual 状态 第二步：点击 Process bath 第三步：点击 Manual functions 第四步：点击 Bath change The bath is changed.The rest volume

18、 dosage tank is reseted 6.4.18 检测 第一步：登入 Process 用户 第二步：打开检测单元的盖子 第三步：将检测容器与检测软管连接 第四步：关闭检测单元的盖子 第五步：点击 sampling 按钮 5 秒 第六步：打开检测单元的盖子门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和显示为绿色第二步将最小化启动第一步双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步

19、点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单元都处在第三步点击停止 第七步：取出检测容器 第八步：锁上检测容器 第九步：关闭检测单元的盖子 第十步：登入 Operator 用户 6.5 设置 6.5.1 改变温度 6.5.1.1 在生产过程中改变温度 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击 Bath temperature 第三步：改变温度值 第四步：点击 OK 6.5.1.2 在 R

20、ecipe 里改温度 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击 Process bath 第三步：点击 Recipe 第四步：双击 pump tank temperature or 第五步：更改数值 第六步：点击 OK 6.5.2 更改带速 6.5.2.1 在生产过程中改变速度 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击 Speed setpoint 第三步：改变速度值 第四步：点击 OK 6.5.2.2 在 Recipe 里改速度 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击 Transport 第三步：点击 Recipe 第四步：双击欲改变的数值 第五步：更改数值 第六步：点击 OK

21、 6.5.3 设置第 一次补液的比例 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击 Recipe 第四步：双击 Concentration for first fill.第五步：更改数值 第六步：点击 OK 6.5.4 设置自动补液 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击 Recipe 第四步：双击 Dosage Volume 的数值 第五步：更改数值 的数值 bath temperature 的数值 门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源

22、的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和显示为绿色第二步将最小化启动第一步双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单元都处在第三步点击停止第 一 步 第 二 步 第 三 步 第四步 第六步：点击 OK 6.5.5 设置自动清洗 6.5.5.1 设置清洗周期的编

23、号 No new wafers are conveyed into the machine.The mode of the machine is changed to Standby.Processing of any wafers that are still in the machine is carried out to the end.The baths are drained into the pump tank.The mode of the machine is changed to Manual.6.6.2 步骤 2：结束工艺准备就绪 登入 Process 用户 所有的 Pum

24、p tanks 排液 所有的 Dosage tanks 排液 清洗所有的 Dosage tanks 第五步：清洗所有的 Pump tanks 第六步：将机器状态改为 Off 6.6.3 步骤 3：关闭控制电源 第一步：在控制面板上点击 Off 按钮 机器将不再能从界面上控制 6.6.4 步骤 4：关机准备 第一步：关闭所有的药液提供侧的手动阀 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击 Recipe 第四步：双击 Numbers of Cleaning Cycles 第五步：更改数值 第六步：点击 OK 6.5.5.2 设置清洗时间 第一步：点击 Inoxsid

25、e 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击 Recipe 第四步：双击 Cleaning time.第五步：更改数值 第六步：点击 OK 6.5.6 设置流动时间 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击 Recipe 第四步：双击 Setpoint flow 第五步：更改数值 第六步：点击 OK 6.5.7 设置 dryer 第一步：点击 Inoxside 第二步：点击 dryer 第三步：点击 Recipe 第四步：双击要改变的参数 第五步：更改数值 第六步：点击 OK 6.6 关机 6.6.1 步骤 1：机器排液 第一步：点击 Scheduled s

26、top.的数值 门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和显示为绿色第二步将最小化启动第一步双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单

27、元都处在第三步点击停止6.6.5 步骤 5：关闭总电源 第一步：将主开关打到 Off 状态 6.7 急停按下后的开机 6.7.1 步骤 1：开机准备 第一步：处理急停原因 第二步：解锁所有的急停按钮 6.7.2 步骤 2：打开控制电源 第一步：点击 ON 按钮 6.7.3 步骤 3：启动准备就绪 第一步：登入 Service 用户 第二步：将机器打到 manual 状态 第三步：了解所有的报警信息 6.7.4 步骤 4：开始自动生产 第一步：登入 Operator 用户 第二步：确保所有的功能单元都处于 Ready 状态 第三步：点击 InOxside 第四步：点击 Start product

28、ion 该按钮键变绿 状态显示变为 Init Baths 槽开始补液 状态显示变为 Auto 机器开始生产 The Semi E10 状态改为 Start production 6.8 断电后的开机 6.8.1 断电断于 10 分钟的开机 6.8.1.1 步骤 1：开机前准备 第一步：重启电源 6.8.1.2 步骤 2：打开控制电源 第一步：按动 ON 按钮 控制电源上电 该按钮键显示为绿色 6.8.1.3 步骤 3：启动准备就绪 第一步：登入 Service 用户 第二步：将机器打到 manual 状态 第三步：了解所有的报警信息 6.8.14 步骤 4：开始自动生产 第一步：登入 Oper

29、ator 用户 第二步：确保所有的功能单元都处于 Ready 状态 第三步：点击 InOxside 第四步：点击 Start production 该按钮键变绿 状态显示变为 Init Baths 槽开始补液 状态显示变为 Auto 机器开始生产 The Semi E10 状态改为 Start production 6.8.2 大于 10 分钟断电后的开机 6.8.2.1 步骤 1：开机前准备 第一步：重启电源 6.8.2.2 步骤 2：打开控制电源 第一步：按动 ON 按钮 控制电源上电 该按钮键显示为绿色 6.8.2.3 步骤 3：windows 登入 第一步：点击 operator 第二

30、步：输入密码 Operator 点击 OK 6.8.2.4 步骤 4：启动准备就绪 第一步：登入 Service 用户 第二步：将机器打到 manual 状态 第三步：了解所有的报警信息 第四步：对所有的功能单元下载 Recipe 第五步：冷却系统补液 第六步：所有清洗槽补液 第七步：所有的 dosage tanks 补液 第八步：所有的 pump tanks 补液 此时设备准备好 6.8.2.5 步骤 5：开始自动生产 第一步：登入 Operator 用户 第二步：确保所有的功能单元都处于 Ready 状态 第三步：点击 InOxside 第四步：点击 Start production 该按

31、钮键变绿 状态显示变为 Init Baths 槽开始补液 状态显示变为 Auto 机器开始生产 The Semi E10 状态改为 Start production 门第三步关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步解锁所有急停按钮步骤给机器上电第一步将机器的主开关打到的状态此时机器有电第二步移走电源的盖板第三步将的主开关打到的状态第四步将主机的主开关打到的状态此时操作系统动应用软件启动软件第一步双击软件启动软件开始自动运行直到和显示为绿色第二步将最小化启动第一步双击第二步点击第三步选择第四步点击第五步点击第六步点击第七步点击第八步点击第九步最小化服务器程序启动用户界面第报警信息第三步将机器打到状态第四步对所有的能单元下载第五步冷却系统补液第六步清洗槽补液第七步所有补液第八步所有补液此时机器用于工艺已准备好自动生产第一步登入用户第二步确认所有的能单元都处在第三步点击停止