[精选]PI工艺流程京东方.pptx

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1、PI工工艺学学习 PI工序主要是在TFT&CF基板上涂上一层取向膜,从而为液晶分子在取向膜上形成取向打下基础。PI工序的工艺流程如下：玻璃基板从loader处流入，先经过cleaner对玻璃基板进行清洗，清洗完后在coater处涂布PI液，在PRE CURE处挥发局部溶剂，在Inspection处检测涂布效果，在MAC/MIC处宏观抽检印刷涂布效果主要用肉眼观察检查看有没有白点，黑点，Pinhole，Mura等，微观抽检并测量印刷涂布效果主要用光学镜头测量Edge Margin板边距离来检查对位情况。检查后的良品进入MAINCURE处进行挥发溶剂使PI固化，固化后的玻璃基板流入Unloader

2、.工艺设备相关工艺设备相关LoaderLoader处有四个处有四个PortPort口，其中三个口，其中三个PortPort口为口为normalnormal口，一个口为口，一个口为DummyDummy口专口专门存放门存放DummyDummy用。用。一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderCleaner Cleaner 清洗机总述：清洗机总述：CleanerCleaner清洗机作用是在清洗机作用是在PIPI涂布之前对玻璃基板进行清洗，去除玻璃涂布之前对玻璃基板进行清洗，去除玻璃基板上的污渍，杂质，灰尘等脏东西。为涂布出良好的取向膜做好准备。基板上的污渍，杂质，灰尘等脏东西。为涂

3、布出良好的取向膜做好准备。如果涂布之前清洗机清洗效果不好或者残留有如果涂布之前清洗机清洗效果不好或者残留有ParticleParticle的话，在的话，在CoaterCoater处就处就会有不良品出现。会有不良品出现。CleanerCleaner局部主要分为局部主要分为Wet washWet wash湿洗部和湿洗部和Dry washDry wash干洗部。干洗部。一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderAPPAPPAPPAPP主要是通过把空气电离后产生带有氧化能力的气体以去除主要是通过把空气电离后产生带有氧化能力的气体以去除玻璃基板上的有机物将其转化成碳氢化合物的一种清洗方

4、式玻璃基板上的有机物将其转化成碳氢化合物的一种清洗方式 ，除去有机物的作用。，除去有机物的作用。一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderTank2存放溶剂的地方，该溶剂由水跟洗剂按照一定比例混合形成。同时tank里有加热器，把tank里的混合溶剂加热到40度才可使用。其中一个tank使用，另一个tank为备用。备用tank是准备好了的。随时可以投入使用。当使用的tank清洗了500张玻璃基板后，停止使用并开始重新清洗转为备用状态，而备用的tank转为使用状态。洗剂存放位置，通过电机把存放在该处的洗剂按照一定的比例抽取出来，供给到tank里面形成一定浓度的溶剂以便于用来清洗玻

5、璃基板。两桶洗剂其中一桶使用，另外一桶备用。洗剂型号为LH540.和ECB868tank2tank2tank1tank1一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderHyper-Mix混合混合纯水和高压空气在纯水和高压空气在Hyper MixHyper Mix的管道内形成气液混合体的管道内形成气液混合体2 2流体，流体，2 2流体被流体被高压喷射在基板外表上时，利用高压水的冲刷力和高压喷射在基板外表上时，利用高压水的冲刷力和2 2流体内气泡破裂时产生的流体内气泡破裂时产生的剥离力除去基板上的异物粒子。因为剥离力除去基板上的异物粒子。因为2 2流体内水与空气的混合更均匀，产生的流体

6、内水与空气的混合更均匀，产生的气泡更多也更小因此洗净效果也更好。它的洗净对象是小粒径的异物粒子气泡更多也更小因此洗净效果也更好。它的洗净对象是小粒径的异物粒子一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderHPSHPS high pressure shower high pressure shower把水已高压的形式对基板外表进行喷淋一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderIRIRIR枯燥是利用高温加热的方式将残留在基板外表的水分彻底除去。枯燥是利用高温加热的方式将残留在基板外表的水分彻底除去。IRIR枯燥枯燥只能用于除去少量水分，枯燥效果与加热温度和时间有关只

7、能用于除去少量水分，枯燥效果与加热温度和时间有关一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderEUVEUVEUV清洗是指在一个封闭的清洗是指在一个封闭的chamberchamber内用内用UV lampUV lamp照射，生成照射，生成O3O3及及O O，利用其强大，利用其强大的氧化能力以去除玻璃基板上的有机物将其转化成的氧化能力以去除玻璃基板上的有机物将其转化成CO,CO2,H2OCO,CO2,H2O的一种清洗方式的一种清洗方式.具有杀菌，去除油脂，除去有机物的作用。具有杀菌，去除油脂，除去有机物的作用。目的是提高目的是提高PIPI印刷的适印性印刷的适印性。适合在适合在清洗后，

8、印刷前使用。清洗后，印刷前使用。一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-LoaderCPOCPOCPOCPOcooling process offercooling process offer主要是对从上游流出来玻璃基板主要是对从上游流出来玻璃基板进行冷却使其到达常温状态。其吹出的是进行冷却使其到达常温状态。其吹出的是cool dry aircool dry air。一、工艺设备相关一、工艺设备相关-Loader-Loader版酮TABLETABLEGLASSGLASSBlade一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater CoaterCoater 涂布机作用:是通过转印的方式在已经

9、清洗好的玻璃基板上涂布出一层良好的取向膜 Anilox Roll:均胶辊,用于将PI液涂到APR板上,上有小坑15深,成网状排布 Mesh400 Line/inch,倾斜角度 60,目的是使PI液涂布均匀.版胴:用于安装APR Plate.Table:印刷时托放Glass，要求平坦度在 20以内.Blade:目的是使Anilox Roll 上的PI液均匀,分Roll Type和Blade Type.中文译作 刮胶辊或刮刀.TableBlade版酮一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater Coater陶瓷陶瓷60度-Anilox Roll一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater Co

10、ater版酮TABLETABLEGLASSGLASSBlade印刷原理：DISPENSER把PI液滴在刮刀上，然后流到刮刀与ANILOX ROLL的夹缝里。ANILOX ROLL旋转把PI液带走，与此同时刮刀把ANILOX ROLL上多余的PI液刮掉，保持ANILOX ROLL上的PI液均匀。印刷前ANILOX ROLL与版酮上的APR版相捏合，通过捏合力APR版把ANILOX ROLL上的PI液挤压出来并带走，开始印刷时版酮移动，把APR版上的PI液转印到GLASS基板上。印刷原理：一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater Coater图1，APR版上的对位mark，转印到dummy上

11、。先进行camera set图2，摄像机镜头自动捕捉normal glass上的对位mark图3，摄像机镜头自动捕捉normal glass上的对位mark与APR版上的对位mark出现偏移的情况图4，摄像机镜头自动捕捉normal glass上的对位mark与APR版上的对位mark重合的情况画像对位系统画像对位系统一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater Coater工作台Alignment system工作原理:先在Dummy 基板上印刷出图形见图1移动机台,使对位标记位于摄像机镜头中心,固定机台位置并保存数据。生产时，摄像机镜头自动捕捉normal glass上的对位mark见图

12、2，使normal glass上mark与APR版上的对位mark重合。那样就能保证涂布PI液时的准确性。当两个mark出现偏移时，alignment pin自动前后左右调整，使玻璃基板上的对位标记与APR版上的对位mark重合，此时能够确定玻璃基板在table上的准确位置。见图3，4，5，6这样能够确保每次印刷在同一位置。Pin不动，开始真空吸附并固定玻璃基板于table上。松开pin可以开始涂布PI液。图5，6，alignment pin自动前后左右调整，使玻璃基板上的对位标记与APR版上的对位mark重合一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater CoaterDoctor roll压

13、入量Table speedD/R和A/R 回转比PI液滴下量印刷要素PIPI膜厚度控制膜厚度控制一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Coater Coater一、工艺设备相关一、工艺设备相关 Pre curePre curePre-cure主要是对前面coater涂布的取向膜进行预固化.去除取向膜的一局部溶剂。使取向膜与玻璃基板有一定的粘合力。另外配向膜在未枯燥时易吸附异物，为了防止粘附异物，需要进行预枯燥处理。Pre-cureInspectionInspection工作原理：工作原理：当glass流过时camera对基板进行扫描。camera对流过的glass进行连续拍照，计算机记录拍下的数据

14、，然后把数据进行分析，以一个点为基准和相邻的点进行比照，当有异常时计算机自动记录下坐标位置，并以红点的形式显示在屏幕上，当点击异常PANEL上的坐标时，显微镜自动找到异常位置，可以在显示器上观看是什么不良。一、工艺设备相关一、工艺设备相关InspectionScan Camerasource of parallel light一、工艺设备相关一、工艺设备相关InspectionReview Camera一、工艺设备相关一、工艺设备相关InspectionInspectionInspectionInspectionInspection：检出配向膜印刷缺陷及印刷膜外观、膜厚均一性 主要不良：配向膜

15、漏印、膜厚不均、印刷位置、异物、划伤、基板 裂纹等一、工艺设备相关一、工艺设备相关Inspection一、工艺设备相关一、工艺设备相关Main CureMain CureUNLOADERUNLOADER设备原理设备原理Main-cureMain-cure作用：作用：通过高温加热的方式把通过高温加热的方式把glassglass基板上的基板上的PIPI膜完全转化成膜完全转化成PIPI膜膜IR(Infrared Ray)Heater IR(Infrared Ray)Heater 方式方式由由Air Air PrePre-Heater-Heater向向ChamberChamber内部逐步通入内部逐步通

16、入 N2N2 Gas Gas预热预热方式方式多段加热炉内一直保持负压状态它的目的及优点是能制造出层流的Gas Flow提高seal的性能能强制排除shutter打开时进入的外气能强制排除制程上产生的升华物一、工艺设备相关一、工艺设备相关Main CureMain Cure一、工艺设备相关一、工艺设备相关Unloader Unloader coolingPre FilterPre FilterExhaustExhaustCDACDA Cooling chamber Cooling chamber共有共有2222个冷却腔个冷却腔 冷却温冷却温度：度：4040摄氏度摄氏度Air CoolingAir

17、 Cooling 方式方式(空冷式空冷式:CDA Purge:CDA Purge和水和水冷冷)1、TFT和CF进行Sortering处理，保证TFT和CF配对的良率2.2.工艺设备相关工艺设备相关PI CF SorterPI CF SorterPI REWORK用化学洗剂来去除GLASS外表的PI膜2.2.工艺设备相关工艺设备相关PI ReworkPI Rework1、用来测量GLASS的PI膜厚2.2.工艺设备相关工艺设备相关PI ThicknessPI Thickness二、二、PIPI主要不良主要不良-主要发生原因 Glass 外表一小块区域没有涂布PI液，或仅涂有较薄一层PI液。主要由

18、灰尘引起。灰尘落在ANILOX ROLL、DOCTOR ROLL或APR板上，使PI液不能正常转印到Glass上，形成Pinhole。另一个原因是Glass未被清洗干净或Glass自身特性，PI液不能正常涂布。-处理方法 Glass 未能清洗干净，作业区内人员过多、作业时翻开设备门等都可将灰尘带入设备。设备的齿轮、轴承上的过多的润滑油也是灰尘的主要来源。1.Pinhole一、工艺设备相关一、工艺设备相关-发生主要原因 APR板、或ANILOX ROLL有损伤凹坑，可存入过多的PI液，使PI膜在局部过厚。2 2、PI PI斑斑-Cell Final Test Cell Test时有PI斑有地方颜

19、色发白。Size在 1mm以内的PI斑在TEST不能被看到，是合格品.MAC MIC和INSPECTION都能检测到，主要是由于GLASS反面或是机台上有异物，使得机台吸附时出现破损。需要认真检查机台并擦拭。检测完后投入DUMMY检测。3 3、星型破损、星型破损一、工艺设备相关一、工艺设备相关-主要发生原因 COATER喷针位置调试的不好，滴液过程中软管晃动碰到刮刀，或刮刀上有异物或使用时间过长，导致涂覆PI不均匀.4.SUZI MURA4.SUZI MURA-处理方法 需要将喷针取下调试前端软管，或擦拭刮刀一、工艺设备相关一、工艺设备相关不良在每枚基板的同一位置上。APR板有问题。不良在每枚

20、基板的不同位置，但在一条直线上。Anilox Roll有问题。不良在每枚基板的不同位置，但在一条s形曲线上。刮刀有问题。7.APR7.APR版不良判定方法版不良判定方法9、静夜四无邻，荒居旧业贫。11月-2311月-23Sunday,November 26,202310、雨中黄叶树，灯下白头人。06:13:4106:13:4106:1311/26/2023 6:13:41 AM11、以我独沈久，愧君相见频。11月-2306:13:4106:13Nov-2326-Nov-2312、故人江海别，几度隔山川。06:13:4106:13:4106:13Sunday,November 26,202313

21、、乍见翻疑梦，相悲各问年。11月-2311月-2306:13:4206:13:42November 26,202314、他乡生白发，旧国见青山。26 十一月 20236:13:42 上午06:13:4211月-2315、比不了得就不比，得不到的就不要。十一月 236:13 上午11月-2306:13November 26,202316、行动出成果，工作出财富。2023/11/26 6:13:4206:13:4226 November 202317、做前，能够环视四周；做时，你只能或者最好沿着以脚为起点的射线向前。6:13:42 上午6:13 上午06:13:4211月-239、没有失败，只有暂

22、时停止成功！。11月-2311月-23Sunday,November 26,202310、很多事情努力了未必有结果，但是不努力却什么改变也没有。06:13:4206:13:4206:1311/26/2023 6:13:42 AM11、成功就是日复一日那一点点小小努力的积累。11月-2306:13:4206:13Nov-2326-Nov-2312、世间成事，不求其绝对圆满，留一份缺乏，可得无限完美。06:13:4206:13:4206:13Sunday,November 26,202313、不知香积寺，数里入云峰。11月-2311月-2306:13:4206:13:42November 26,2

23、02314、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。26 十一月 20236:13:42 上午06:13:4211月-2315、楚塞三湘接，荆门九派通。十一月 236:13 上午11月-2306:13November 26,202316、少年十五二十时，步行夺得胡马骑。2023/11/26 6:13:4206:13:4226 November 202317、空山新雨后，天气晚来秋。6:13:42 上午6:13 上午06:13:4211月-239、杨柳散和风，青山澹吾虑。11月-2311月-23Sunday,November 26,202310、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。06

24、:13:4206:13:4206:1311/26/2023 6:13:42 AM11、越是没有本领的就越加自命非凡。11月-2306:13:4206:13Nov-2326-Nov-2312、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。06:13:4206:13:4206:13Sunday,November 26,202313、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。11月-2311月-2306:13:4206:13:42November 26,202314、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。26 十一月 20236:13:42 上午06:13:4211月-2315、最具挑战性的挑战莫过

25、于提升自我。十一月 236:13 上午11月-2306:13November 26,202316、业余生活要有意义，不要越轨。2023/11/26 6:13:4206:13:4226 November 202317、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。6:13:42 上午6:13 上午06:13:4211月-23MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet,consectetur adipiscing elit.Fusce id urna blandit,eleifend nulla ac,fringilla purus.Nulla iaculis tempor felis ut cursus.感感 谢谢 您您 的的 下下 载载 观观 看看专家告诉