深圳市华星光电技术有限公司G8.5代TFT-LCD（含氧化物半导体及AMOLED）生产线建设项目环评报告.doc

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1、深圳市华星光电技术有限公司G8.5代TFT-LCD（含氧化物半导体及AMOLED）生产线建设项目环境影响报告书（简本）深圳市华星光电技术有限公司G8.5代TFT-LCD（含氧化物半导体及AMOLED）生产线建设项目环境影响报告书（简 本）建设单位：深圳市华星光电技术有限公司编制单位：深圳市环境科学研究院二一三年十月-2-目 录第1章 建设项目概况11.1 建设项目的地点及相关背景11.2 工程概况31.3 产业政策、规划符合性及选址合理性分析6第2章 建设项目周围环境概况82.1 项目所在地的环境概况82.2 建设项目评价范围9第3章 环境影响预测及主要控制措施133.1 建设项目污染物排放情

2、况133.2 项目评价范围内环境保护目标193.3 环境影响预测及评价203.4 污染防治措施及达标排放情况243.5 环境风险预测评价273.6 项目环境保护措施的技术经济性分析293.7 建设项目对环境影响的经济损益分析293.8 环境管理和监测计划30第4章 公众参与344.1 公众参与的目的344.2 公众参与阶段344.3 公众参与的方式和内容444.4 公众参与调查结果统计与分析544.5 公众意见的采纳与不采纳回应614.6 公众参与结论63第5章 环境影响评价结论64第6章 联系方式65第1章 建设项目概况1.1 建设项目的地点及相关背景1.1.1 建设项目地点华星光电位于深圳

3、市光明高新技术产业园区的西片区，光明大道与科裕路交叉口的西北侧。厂区用地分为两个地块，其中A地块位于东明大道以南，东临科裕路；B地块位于A地块南侧，现状为空地，地块南侧为光明大道，东侧临近科裕路。拟建项目在B地块上建设，占地面积约256080.22m2。拟建项目用地四至情况如下：拟建项目所在的B地块北面是A地块，占地面积约341460.13m2，为华星光电已建项目所在地；地块东侧为科裕路，隔科裕路为旭硝子显示玻璃(深圳)有限公司和深圳华映显示科技有限公司；南侧为光明大道，隔光明大道为甲子塘村，东南侧为甲子塘规划居住区和正在建设中的越众招商地产；西侧为茅洲河及其支流滩地形成的湿地，拟作为本项目人

4、工湿地深度处理系统用地。本项目在深圳市地理位置图见图1.1-1，项目四至情况见图1.1-2。项目所在位置图1.1-1 项目地理位置图0200m100人工湿地路旭硝子公司湿工地人洲茅长兴工业区水颈鹅A地块(已建项目所在地)越众招商地产B地块(拟建项目用地)甲子塘规划居住区河光明大德源公司华映公司道裕科速高龙大甲子塘村图1.1-2 项目四至图及周边环境状况图1.1.2 建设背景新型信息显示技术是信息产业的支撑产业之一，具有十分广阔的发展前景。近年来，以薄膜晶体管液晶显示器件(以下简称“TFT-LCD”)为主的平板显示技术得到了迅速发展，尤其在电视产业方面正在快速取代传统的阴极射线管(CRT)显示技

5、术。TFT-LCD面板已成为电视产业的核心器件，投资适用于平板电视的TFT-LCD生产线，对促进电视产业转型具有重要的意义。我国政府非常重视平板显示器件产业的发展，2006年国务院公布国家中长期科学和技术发展规划纲要将高清晰度大屏幕平板显示器件作为“2006年至2020年信息产业中长期发展纲要”重点发展项目。原国家信息产业部也制订了投资政策和技术政策以支持和促进以TFT-LCD为主的平板显示产业发展。在全球经济危机背景下，为拉动内需，促进我国经济稳定增长，2009年4月国务院批准印发了电子信息产业调整和振兴规划，明确将发展TFT-LCD产业列入重点任务和重大工程。国家一系列政策出台表明了政府对

6、发展我国TFT-LCD产业的积极扶持态度，显示出TFT-LCD产业在电子信息产业中的战略地位。深圳市华星光电技术有限公司于2009年成立于深圳市光明新区高新技术产业园区，主要从事薄膜晶体管液晶显示器件(以下简称“TFT-LCD”)的开发、制造、销售以及售后服务。为实现“十二五”国家战略性新兴产业发展规划关于大力发展新型平板显示产业的战略目标，增强华星光电新型平板显示产业规模和实力，打造深圳市完整显示产业链，华星光电拟在位于深圳市光明高新技术产业园区的预留地块上投资建设G8.5代TFT-LCD(含氧化物半导体及AMOLED)生产线建设项目。1.2 工程概况1.2.1 建设内容拟建项目生产厂房、研

7、发大楼及综合动力站、化学品库、特气站、硅烷站、资源回收站、废水处理站、固废仓库等配套设施均为新建，与华星光电已建项目不存在依托关系。项目主要建设内容见表1.2-1。表1.2-1 拟建项目主要建设内容一览表类别项目名称建设内容主体工程生产产房1栋4层，高36m，位于厂区中部和北部，占地面积107920m2，总建筑面积647520m2， 分为核心生产区(布置有阵列、彩膜、成盒、模组和OLED有机蒸镀生产线)、北支持区(布置废水废液收集池及泵房、变配电室、机械室、真空机房、制程冷却水机房等)和南支持区(布置有剥离库存区、冷藏库房、冷冻库房备品备件间、纯水机房、更衣室等)。研发大楼1栋整体10层(部分

8、4层)，最大高度36m，占地面积约7500m2，主要功能为办公、展示、多功能厅、会议、餐厅、活动中心等。辅助工程原辅材料及成品仓库共设置8间，面积合计2000m2，布置在生产厂房内，设置有玻璃库存房及原辅材料、成品、半成品暂储存库等。化学品库1栋1层，位于厂区西部，占地面积3000m2，建筑面积约6000m2，主要化学品包括：酸碱类、有机溶剂类、剥离液、稀释剂、光刻胶、Al刻蚀液、Cu刻蚀液、ITO刻蚀液、显影液等。特气站1座1层，位于厂区西北角，占地面积750m2，建筑面积2000m2，内部存贮气体包括：NH3、1%PH3H2、NF3、SF6、Cl2等。硅烷站1栋1层，位于厂区西北角，毗邻特

9、气站，占地面积560m2，建筑面积560m2。大宗气体供应系统由专业气体公司建设，负责供应高纯氮气、高纯氧气、高纯氢气、高纯氩气、高纯氦气等。化学药品输送系统用于输送剥离液、显影液、光刻胶、稀释液、铝刻蚀液、铜刻蚀液、ITO刻蚀液、清洗剂、清洗液等生产用化学品。公用工程给水系统给水水源来自市政管网，自市政给水管网引至消防水池、生产水池和生活水箱，并在厂区内形成环网。厂内生产、生活、消防分别设独立的供水系统。排水系统排水系统采用雨污分流制。雨水收集后排入厂区雨水管道，经厂区雨水管网汇集后排入茅洲河；生活污水经处理达标后通过厂区排放口排入光明污水处理厂；生产废水经厂区废水处理站和人工湿地系统处理达

10、到地表水环境质量标准(DB44/26-2001)中的类标准后排入茅洲河。综合动力站1栋3层，地上2层，地下1层，占地面积11800m2，建筑面积35403m2，主要为生产提供冷、热源、压缩空气、超纯水等，布置有纯水回收系统、消防水泵房、消防控制室、冷冻机压缩空气系统，柴油发电机房、变配电站等，地下室主要布置泵房及水池。供电设施厂区用电由1座220kV变电站提供，配电电压为10kV、6kV，10kV、6kV系统采用双源双母线形式，以放射式电缆线路向各配变电室或变压器供电。安全设施厂房内设置有害气体和废热排除系统、新风补给系统、防静电设施、安全接地系统、防噪声设施、化学品防护措施(紧急喷淋及冲眼器

11、)、氢气管道泄露探测和报警、有毒(害)气体泄露探测和报警、防雷接地系统、应急照明和疏散指示、事故排风等。消防设施包括建筑物防火措施、室内消火栓灭火系统、室内自动喷水灭火消防系统、室外消火栓灭火系统、洁净室内防排烟系统、火灾报警系统、声光应急疏散指示、消防电话系统等。环保工程废水处理系统1座，整体2层(部分1层)，位于厂区西南角，占地面积约9200m2，内设酸碱废水处理系统、铝蚀刻废水处理系统、铜蚀刻废水处理系统、CVD废气洗涤废水处理系统、染料废水处理系统、有机废水处理系统。此外，在厂区西侧茅洲河岸边新建1套人工湿地深度处理系统，占地面积约45000m2。废气处理系统废气处理系统位于生产厂房房

12、顶，包括酸碱废气处理系统、工艺尾气处理系统、有机废气处理系统和剥离液废气处理系统。噪声污染防治措施选用低噪声设备，采取减振、消声等降噪措施，厂房和设备房采取吸声和隔声等降噪措施。废液回收系统在西北角资源回收站内设2套规模为50t/d的铜剥离液回收装置、1套规模为30t/d的铝剥离液回收装置和1套规模为20t/d的稀释剂回收装置，并在生产厂房一层设有废蚀刻液、废ITO再生剥离液、废光刻胶+废稀释剂、废剥离液储罐等。固体废物仓库1座1层，位于厂区西北角，占地面积约600m2，用于一般工业固体废物和固态危废的临时堆放。办公生活设施办公区域办公面积约15000m2，位于研发大楼的二层三层。食堂拟建15

13、00m2食堂1间，位于研发大楼一层。1.2.2 生产规模及产品方案拟建项目为G8.5代TFT-LCD(含氧化半导体及AMOLED)生产线，所生产的产品为液晶电视显示模组(中间产品，销售给下游企业加工成为液晶显示器)，项目达产时生产规模如下：玻璃基板尺寸：2200mm2500mm阵列玻璃基板最大加工能力：10万片/月，其中非晶硅TFT玻璃基板7万片，氧化半导体TFT玻璃基板3万片(0.5万片用于制作OLED显示屏)。彩膜玻璃基板最大加工能力：10万片/月液晶电视显示模组：1400万块/年(以32产品计)，主要产品为23.6、32、42、55、60和98液晶显示模组，55OLED显示模组，超大型公

14、共显示模组，实际产品类型和规格将根据市场需求确定。产品规划方案详见表1.2-2。表1.2-2 项目产品规划方案一览表产品201520162017201820192020年玻璃基板投入量(万片)6412012012012012042&23.6(19201080)22%38%31%29%22%19%55(LCD,38402160)77%32%32%32%36%39%55(OLED, 19201080)0%2%5%5%5%5%60( 38402160) &32( 38402160)1%25%28%30%33%33%98( 38402160)0%3%4%4%4%4%良品率85%90%91%92%92%

15、92%1.2.3 生产工艺TFT-LCD制造生产工艺在玻璃基板表面有清洗、化学气相沉积(CVD)、溅射金属膜、涂光刻胶、曝光、显影、湿法刻蚀、干法刻蚀、剥离等工序，包括形成栅极、有源层硅岛、源漏电极、接触过孔、像素电极等过程这些工序反复交叉，经热处理成为基板中间产品后，并以有机溶剂或水洗净，充填液晶，盒分割，贴偏光片，最后进行组装测试。包括检查和测试在内实际达到100多道的工艺步数组成TFT-LCD生产的全过程，同时生产过程中使用多种化学有机溶剂、特殊气体和配套动力，将产生废水、废气以及固体废物(废液)等污染物。1.2.4 建设周期和投资拟建项目计划2013年开工建设，建设工期17个月；预计2

16、015年第二季度生产线投入试生产。本项目总投资244.09亿元(含外汇约25.61亿美元)，其中建设投资224.09亿元，流动资金20亿元；项目环保投资65099万元，占总投资的2.67%。1.3 产业政策、规划符合性及选址合理性分析1.3.1 产业政策、规划符合性分析(1) 产业政策符合性拟建项目为G8.5代TFT-LCD(含氧化物半导体及AMOLED)生产线建设项目，产品方向符合国家和地方的产业导向。因此，本项目的建设符合国家、广东省以及深圳市的产业政策。(2) 规划符合性拟建项目符合广东省环境保护与生态建设“十二五”规划、深圳市城市总体规划(20102020年)、光明高新技术产业园区规划

17、，与光明高新技术产业园区的产业发展功能定位一致，各项指标均符合光明高新技术产业园区区域开发环境影响报告书建议的入园要求。1.3.2 选址合理性分析拟建项目东侧隔科裕路对面分布有深圳华映显示科技有限公司、旭硝子显示玻璃(深圳)有限公司等生产性企业，其中旭硝子显示玻璃(深圳)有限公司是专为华星光电配套建设的企业。北侧为华星光电已建项目所在地，项目西侧与木墩河之间为空地，隔木墩河对岸为宝塘工业区、万丰工业园、粤宝工业园。项目南侧隔光明大道分布有田寮第一工业区、拓日新能源公司、证通电子、攀登发泡塑胶厂，另在东南侧为甲子塘规划居住区。从用地现状及规划看，拟建项目所在区域属深圳市光明高新技术产业园区，项目

18、周边现状距离较近的敏感点为位于西南侧的甲子塘社区，距离项目南侧厂界约340m，距离生产厂房约460m；东南侧规划有甲子塘规划居住区，距离项目南侧厂界约80m，距离生产厂房约190m。从平面布置上看，项目将生产厂房布置在厂区中部和北部，将研发大楼布置在南侧，距龙大高速出口较近，方便了对外交通联系，同时，可有效缓冲生产厂房及配套设施可能对项目自身办公区，以及环境敏感受体甲子塘规划居住区的影响。项目综合动力站、化学品仓库、特气站、硅烷站、固体废弃物仓库和废水处理站等布置在厂区西侧和西北角，距离东南侧的甲子塘规划居住区较远，且西侧为茅洲河及其支流滩地形成的湿地，目前无其他环境敏感受体，不仅可减轻项目环

19、境影响问题，而且还有利于卫生防护距离的划定。从总体上看，拟建项目内部功能分区是明确的，办公、生产各成体系，在布局上充分考虑了厂区内相互影响与生产过程对外界环境的影响，项目的平面布局基本上是合理的。-65-深圳市华星光电技术有限公司G8.5代TFT-LCD（含氧化物半导体及AMOLED）生产线建设项目环境影响报告书（简本）第2章 建设项目周围环境概况2.1 项目所在地的环境概况2.1.1 大气环境质量现状项目所在地属环境空气质量二类功能区。根据环境空气监测结果可知，项目区域常规污染物二氧化硫、氮氧化物和PM10均能够达到环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准的要求；本项目特征污染物

20、氯气、氨气、HCl、H2SO4、氟化物和TVOC均有检出，但可满足所参照标准的要求。2.1.2 地表水环境质量现状(1) 地表水根据常规监测结果，2012年茅洲河全河段年均值超标的项目有溶解氧(最大超标倍数为1.45，下同)、高锰酸钾指数(1.42)、化学需氧量(2.77)、生化需氧量(4.85)、氨氮(13.83)、总磷(10.01)、氟化物(1.82)、阴离子表面活性剂(1.98)和粪大肠菌群(4800)，可见茅洲河整体水质受到重度污染，实际劣于类；与往年相比，茅洲河的镉、石油类污染浓度呈下降趋势，其它污染物浓度和水质综合污染指数无显著变化趋势，自2001年以来茅洲河总体水质基本保持稳定。

21、根据历史监测数据，2012年枯水期茅洲河将石断面超标的项目主要有溶解氧(最大超标倍数为7.3，下同)、高锰酸钾指数(1.39)、化学需氧量(2.85)、生化需氧量(3.05)、氨氮(15.0)、总磷(10.1)、氟化物(2.24)、挥发酚(1.3)和阴离子表面活性剂(3.02)，木墩河断面超标的项目主要有溶解氧(3.4)、高锰酸钾指数(1.62)、化学需氧量(3.26)、生化需氧量(6.33)、氨氮(8.4)、总磷(7.8)、石油类(1.08)和阴离子表面活性剂(3.87)，东坑水断面超标的项目主要有生化需氧量(1.33)、氨氮(5.15)和总磷(1.2)。地表水环境现状监测结果表明，茅洲河各

22、监测断面均有指标超过类标准，超标的项目主要有DO(最大超标倍数为9.4，下同)、氨氮(4.973)、CODCr(2.979)、CODMn(2.2)、BOD(7.689)、总磷(11.3)、石油类(4.94)和LAS(2.289)。综合分析茅洲河常规监测、历史监测及现状监测结果，茅洲河整体水质受到重度污染，实际劣于类，超标原因主要为茅洲河沿途接纳了周边居民的生活污水和部分工业废水，水质受到了一定的污染。(2) 底泥根据底泥监测结果，茅洲河三个监测断面底质的各项指标均能够达到土壤环境质量标准(GB15618-1995)中的三级标准。2.1.3 地下水环境质量现状根据地下水监测结果，项目区域地下水中

23、的氨氮和硝酸盐氮背景值较高，居民饮水井中除pH、总大肠菌群、氨氮和硝酸盐氮外，其它指标均能满足地下水质量标准(GB/T14848-93)中的类标准要求，监测结果表明区域地下水环境可能受到了区域生活污染源的影响。2.1.4 噪声环境质量现状根据噪声监测结果，A、B地块东侧和西侧厂界现状噪声均可以达到声环境质量标准(GB3096-2008)中3类标准的要求，南侧和北侧厂界现状噪声可满足4a类标准要求，东南侧甲子塘规划居住区现状噪声也可达到3类标准要求。2.1.5 土壤环境质量现状由土壤监测结果可以看出，项目区域土壤环境能够满足土壤环境质量标准(GB15618-1995)中的二级标准要求。2.2 建

24、设项目评价范围2.2.1 大气环境评价范围根据估算模式，拟建项目废气排放各污染因子地面浓度占标10%落地点(D10%)的距离2km，根据环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2008)并结合区域环境特征，确定评价范围以项目所在地为中心，半径2.5km圆形区域。2.2.2 地表水环境评价范围根据环境评价技术导则 地面水环境(HJ/T2.3-93)，本项目地表水环境评价范围：鹅颈水：排污口上游500m至鹅颈水汇入茅洲河的汇入口处。茅洲河：鹅颈水汇入口上游500m至下游5km处。2.2.3 地下水环境评价范围根据项目特点和评价工作等级，确定地下水环境评价范围主要为厂区和人工湿地用地周边5km2

25、的区域。2.2.4 声环境评价范围根据项目噪声源与周边环境特点，确定声环境影响评价范围为：项目厂区和人工湿地用地边界外200m范围区域。2.2.5 风险评价范围根据项目风险源特点、评价等级及项目所在环境特征，确定环境风险评价范围为：以主要风险源(特气站和硅烷站)为中心，半径3km的圆形区域。人工湿地地湿工人废水排放口B地块(拟建项目用地)图例环境敏感点敏感点大致范围项目用地红线声环境评价范围大气环境评价范围环境风险评价范围地下水评价范围水环境评价范围鹅A地块(已建项目所在地)3km2.5km越众招商地产塘家村将石村光明社区东周社区玉律村700m3500水颈河洲茅大凼水库鹅颈水库后底坑水库水库碧

26、眼水库甲子塘规划居住区田寮村红坳村长圳村甲子塘村塘尾村东坑村光明小学光明中学东周小学金色阳光幼儿园红苹果幼儿园木墩新村木墩村图2.2-1 环境敏感点分布和评价范围图第3章 环境影响预测及主要控制措施3.1 建设项目污染物排放情况3.1.1 污染物类型项目主要污染类型包括大气污染、水污染、噪声污染和固体废物污染。3.1.1.1 大气污染物排放情况拟建项目产生的废气主要分为工艺废气、锅炉废气、柴油发电机废气和食堂厨房油烟，其中工艺废气的分类和处理方式参照华星光电已建项目和国内同类型企业并结合项目工艺特点制定。拟建项目工艺尾气主要来自阵列工程、彩膜工程、成盒工程和OLED工程，包括酸碱废气、有机废气

27、、工艺尾气和剥离液废气。 酸性废气酸性废气主要来源于工艺流程中的湿法蚀刻工序和以及磷酸、硝酸等无机酸的使用过程，主要污染物为氯化氢、磷酸雾、硝酸雾、氟化氢和NOx(硝酸分解)等。本项目酸性废气排放量约180000m3/h，项目拟设置4套NaOH碱液喷淋吸收系统(3用1备)对其进行处理，去除率达到90%(NOx去除率为65%)，达标废气经楼顶41.4m排气筒高空排放。 碱性废气光刻工序采用碱性显影液，TFT显影液主要成分是四甲基氢氧化铵(TMAH)，属于有机碱；CF显影液含有KOH，产生的废气中含少量碱性污染物。碱性废气的主要成分是氨气，排放量约111000m3/h，项目拟设置4套H2SO4酸液

28、喷淋吸收系统(3用1备)对其进行处理，去除率达到90%，达标废气经楼顶41.4m排气筒高空排放。酸碱废气喷淋洗涤塔的溶液循环使用并定期排放，全部纳入本项目新建废水处理站进行处理。 有机废气生产过程中光刻胶/光阻剂的涂胶、显影、剥离的工序多次重复，使用到多种有机化学品如丙二醇醚酯(PGMEA)、乙醇胺(MEA)、二乙二醇单甲醚(DGME)等；玻璃基板的清洗过程也会产生少量有机废气。本项目有机废气排放量约200000m3/h，以TVOC计量。项目拟设置6沸石浓缩转轮焚烧处理系统(4用2备)处理有机废气。沸石浓缩转轮焚烧处理系统利用吸附及加热氧化将有机物分解，处理系统由浓缩转轮、焚烧设备和排风系统组

29、成。有机废气的处理效率可达90%，处理后的有机废气通过楼顶41.4m排气筒高空排放，能够满足相关排放标准要求。 工艺尾气工艺尾气排放量约87000m3/h，主要来自阵列工程的化学气相沉积(CVD)工序，主要污染物为氯气、氨气、氟化物、氮氧化物、硅烷和磷烷等。工艺尾气采用设备本身自带的POU(Point Of Use)净化装置进行无害化处理，即在设备端的使用点上进行处理，其原理是用真空泵将有害废气抽至燃烧装置，以天然气为燃料，将有害废气中的有害成分氧化分解，同时伴有颗粒物(灰分)生成，燃烧产物主要是非金属氧化物。燃烧后产生的尾气再通过碱液喷淋吸收塔进一步处理，拟设置3套湿式喷淋塔(2用1备)。工

30、艺尾气采用“POU设备燃烧氧化+湿式洗涤”净化后，经厂房楼顶41.4m排气筒高空排放，废气中有害物质的浓度甚微，远低于相应排放标准。 剥离液废气对于阵列工程剥离工序所产生的剥离液废气，一般同行厂家将其归类于有机废气一并处理，其主要成分为乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等有机污染物。本项目采用单独的管道系统收集剥离液废气，其排放量约50000m3/h。项目拟设置2套剥离液废气处理装置(1用1备)对剥离液废气进行处理，采用的工艺为“二级冷凝+湿式喷淋”，达标废气通过厂房楼顶41.4m排气筒高空排放。 锅炉废气本项目纯水再生及剥离液、铝刻蚀液回收系统拟使用2台2t

31、/h的燃气蒸汽锅炉(1用1备)，燃料采用天然气，消耗天然气量约为150m3/h。根据第一次全国污染源普查污染源产污系数手册中“4430工业锅炉产排污系数表”，燃气工业锅炉SO2产污系数为0.4kg/万m3-原料，NOx产污系数为18.71kg/万m3-原料；根据环境统计手册中的相关资料，烟尘产污系数为2.86kg/万m3-原料,，则计算得拟建项目锅炉废气污染物排放量为：SO20.006kg/h、NOx0.281kg/h和烟尘0.043kg/h。 柴油发电机尾气本项目柴油发电机染料使用轻质柴油，发电机尾气中的污染物以SO2、NOx和烟尘为主。根据相关资料，燃烧1m3柴油排放的污染物为：SO20.

32、4kg、NOx8.57kg和烟尘1.8kg，按单位耗油量为300g/kWh，柴油发电机组的耗油量为6000kg/h，则可计算得柴油发电机污染物排放情况为：SO22.79kg/h、NOx59.79kg/h和烟尘12.56kg/h。柴油发电机仅在停电时使用，平时需要定期启动检查机况，每次运转时间很短，且深圳市供电比较正常，因为发电机使用频率及时间非常有限，对周边环境影响较小，故对其不作重点评价，仅提出排气处理要求。 食堂厨房油烟项目员工食堂拟安装8个燃气炉灶，每个灶头产生油烟废气以2000m3/h估算，则项目运营期油烟废气的排放量为16000m3/h。厨房所用燃料为石油液化气，计划每天三餐，每天燃

33、气5h，饭堂油烟抽排放系统设计入口浓度为9mg/m3，据此，核算出油烟排放量为0.144kg/h。 其他拟建项目采用沸石浓缩转轮焚烧处理系统处理有机废气，此处理过程需添加天然气助燃，其消耗量约60m3/h，工艺尾气处理过程也需消耗一定量天然气，为75m3/h，则天然气消耗量合计135m3/h。由于天然气为清洁能源，燃烧过程主要产物为SO2、NOx烟尘，此处仅给出其污染源强作为污染物总量控制指标的计算依据，不对其进行预测分析。根据第一次全国污染源普查污染源产污系数手册中“4430工业锅炉产排污系数表”，燃气工业锅炉SO2产污系数为0.4kg/万m3-原料，NOx产污系数为18.71kg/万m3-

34、原料；根据环境统计手册中的相关资料，烟尘产污系数为2.86kg/万m3-原料,，则计算得拟建项目有机废气处理过程天然气产生的污染物排放量为：SO20.0054kg/h、NOx0.253kg/h和烟尘0.0386kg/h。3.1.1.2 水污染物排放情况本项目产生的污废水主要包括生产废水和生活污水两大类。 根据建设单位提供的资料，生产废水排放量约19706m3/d，按其性质共分为6类：酸碱废水、铜蚀刻废水、铝蚀刻废水、CVD废气洗涤废水、染料废水和有机废水。酸碱废水：排放量为7255m3/d，包括工艺清洗废水、纯水站再生反洗废水和循环冷却排水等。酸碱废水偏酸性，pH=35，只含有少量有机物和悬浮

35、物。铝蚀刻废水：排放量为1935m3/d，主要来自铝蚀刻清洗废水。铝蚀刻废水的特征是含有较高浓度的磷酸盐，总磷(以P计)浓度约900mg/L，因此工艺设计上采用二级絮凝沉淀法预先对其进行除磷处理。CVD废气洗涤废水：排放总量为1046m3/d。干法刻蚀和化学气相沉积产生的工艺尾气经POU装置处理后再进入湿式喷淋塔处理，此过程产生一定量的洗涤废水。考虑此股废水中含有较高浓度的氟化物，氟化物浓度约100mg/L，工艺设计上将其单独分离出来，预先对其进行除氟处理。铜蚀刻废水：排放量为1850m3/d，主要来自铜蚀刻清洗废水。由于铜刻蚀液中含有氢氟酸，刻蚀过程铜离子和氟离子同时进入废水中，制程上无法将

36、其分离，因此，工艺设计上考虑对铜蚀刻废水进行分级处理，即先除铜，再将其排入CVD废气洗涤废水处理系统中进行除氟处理。铜蚀刻废水中铜离子浓度约100mg/L，氟化物约150mg/L。染料废水：排放量为1200m3/d，主要来自彩膜工程的显影及Rework清洗废水，包含显影液及PGME等清洗废水。染料废水中COD浓度约2000mg/L，先经混凝沉淀处理后再采用臭氧氧化处理。有机废水：排放量为6420m3/d，含有较高浓度COD和氨氮，主要包括工艺有机废水、纯水站浓缩水和废气洗涤塔排水。 生活污水：项目不设员工宿舍，厂区生活污水主要源于职工卫生间污水、餐厅废水、生产场所卫生间等。项目新增员工3254

37、人，生活污水总量约146m3/d。3.1.1.3 噪声污染物排放情况本项目新增生产工艺设备均置于洁净厂房内，且噪声级较小，主要噪声源来自生产及动力设备的机械噪声，包括冷冻机、冷却塔、空压机、风机、纯水制备装置、真空泵等，上述噪声源集中布置在动力站房和生产厂房内。3.1.1.4 固体废物污染物排放情况本项目产生的废弃物主要分为一般工业固体废物、危险废物和生活垃圾三大类。一般工业固体废物主要包括：废木材、废玻璃、废塑料类、废金属(废铁、废铝、废不锈钢)、废包装材料、废纸、废电线、废PVC和废水处理站无机污泥等。危险废物主要包括废稀释剂、废光刻胶、废剥离液、刻蚀废液、Cu剥离液、Cu刻蚀液、RGB再

38、生剥离液、NMP、废机油、废酒精、废丙酮以及PCB废料、废试剂容器、CVD粉尘、废吸附材料、废电池、废灯管、废水处理站有机污泥和含铜污泥等。生活垃圾主要来自厂区办公垃圾和职工食堂，包括废纸屑、废弃的空瓶、空罐、食堂下脚料、厨余和果皮等。3.1.1.5 污染物排放汇总污染物排放情况汇总如所示。 表3.1-1 项目污染物排放情况汇总表 单位：t/a 种类污染物名称产生量削减量排放量废水废水量17291275102591457032130SS655.86599.8955.97CODCr4588.364413.47174.89BOD51654.251626.2727.98NH3-N293.59285.

39、897.70总磷618.23617.320.91F-135.65132.573.08Cu2+65.6865.050.63废气HCl27.8425.082.76H2SO439.3535.433.92H3PO427.3824.642.74HNO332.2128.993.22NH382.6174.338.28Cl29.088.630.45NOx181.83116.9864.85PH30.03980.037810.00199SiH42.822.6790.141氟化物36.9135.061.85TVOC371.23334.1137.12SO20.08740.01750.0699颗粒物105.83100.

40、265.57固体废物一般工业固体废物11882011882危险废物17375017375生活垃圾40604063.1.2 污染物排放方式及排放途径污染物的排放方式及排放途径汇总情况见表3.1-2。表3.1-2 污染物排放方式及途径内容类型排放源污染物名称防治措施治理效果大气污染物湿法蚀刻、清洗氯化氢、磷酸、硝酸、硫酸雾等管道收集后经碱液喷淋处理后楼顶排放治理效果90%以上，废气经治理后达标排放光刻显影过程氨气管道收集后经酸液喷淋处理后楼顶排放治理效果90%以上，废气经治理后达标排放涂胶、显影和各工序有机清洗有机废气（TVOC）管道收集后经沸石浓缩转轮焚烧处理系统处理后楼顶排放治理效果90%以上

41、，废气经治理后达标排放化学气相沉积、干法刻蚀氯气、氨气、氟化物、氮氧化物、硅烷和磷化氢管道收集后经燃烧法、碱喷淋处理系统处理后楼顶排放废气经治理后达标排放阵列工程剥离工序乙醇胺、二甲基亚砜等有机物管道收集后经剥离液废气处理装置处理后楼顶排放治理效果90%以上，废气经治理后达标排放天然气锅炉SO2、NOx和烟尘管道收集后排放达标排放备用柴油发电机废气SO2、NOx和烟尘专用烟道屋顶排放达标排放食堂厨房油烟油烟管道收集后排放废气经治理后达标排放水污染物生产废水酸碱废水、铜蚀刻废水、CVD废气洗涤废水、铝蚀刻废水、染料废水和有机废水等经自建新建1座废水处理站和1套人工湿地深度处理系统处理达到地表水环

42、境质量标准类标准生活污水COD、氨氮等经化粪池处理后排入光明污水处理厂广东省水污染物排放限值(DB44/26-2001)第二时段三级标准和光明污水处理厂接管标准中的较严限值固体废物（液）生产车间危险废物如有机溶剂、含铜废物、含铜污泥、废酸碱、废油等委托深圳市危险废物处理站有限公司统一处置污染得到控制一般工业废物（废玻璃、废塑料、废金属等）交由环卫部门统一处理生活垃圾果壳、纸屑、食品、塑料、玻璃等交由环卫部门统一处理噪声生产车间生产设备、风机、冷却塔、水泵等产生噪声采用隔声、降噪处理方法达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的3类标准3.2 项目评价范围内环境保护目标根据

43、现场查勘和资料调研，本项目环境影响评价范围内无自然保护区、风景名胜区和文物保护单位，也不涉及饮用水水源保护区，且未发现国家或地方重点保护野生动植物。环境保护目标见表3.2-1，敏感点分布图见图2.2-1。表3.2-1 环境敏感点及环境保护目标一览表环境要素环境保护目标性质与项目位置关系人口(人)区域环境目标方位与厂界距离(m)与生产厂房距离(m)与废气排放源距离(m)与风险源距离(m)声、大气、环境风险甲子塘规划居住区居住区SE80190470560声环境质量标准(GB3096-2008)3类环境空气质量标准(GB3095-2012)二类大气环境、环境风险甲子塘村居民区S34046065064

44、09000长圳村居民区S194019702200216028000塘家村居民区SE96010901320173026000田寮村居民区WS118014801500133027000塘尾村居民区WN106014401470127035000将石村居民区WN161022002220208048000东坑村居住区N112011902100131032000越众招商地产商住区SE3104607401100木墩村居住区N202021702180227023000木墩新村居住区N21602190220023806500环境风险玉律村居民区WS258028602980281037000项目环境风险控制在可接受范围内红坳村居住区WN244025502820284017000东周社区居住区EN267028402860300033000光明社区居住区WN251025302550296012000东周小学学校EN24202430255028802000红苹果幼儿园学校EN2240242025402900220金色阳光幼儿园