厦门银科启瑞半导体科技有限公司年产50万片Ⅲ-V族化合物半导体晶圆产业化项目环境影响报告.docx
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1、年产 50 万片 III-V 族化合物半导体晶圆产业化项目环境影响报告书(公示稿)编制单位:厦门大学城乡规划设计研究院有限公司建设单位:厦门银科启瑞半导体科技有限公司2023 年 1 月.I .目 录 0 概 述 11 总 则 61.1 评价目的与原则 61.2 编制依据 61.3 环境影响因素识别和评价因子筛选 81.4 环境功能区划和评价标准 91.5 评价工作等级与评价范围 141.6 环境内容、重点及环境保护目标 172 环境状况及环境质量现状调查与评价 212.1 地理位置 212.2 自然环境状况 222.3 区域相关规划 252.4 环境质量现状调查与评价 283 工程概况及工程
2、分析 433.1 工程概况 433.2 生产工艺及产污环节分析 543.3 水平衡分析 593.4 元素平衡分析 613.5 项目污染源分析 643.6 项目建设合理性分析 743.7 项目清洁生产分析 834 环境影响预测与评价 894.1 大气环境影响分析与评价 894.2 水环境影响分析与评价 934.3 声环境影响分析与评价 974.4 固体废物环境影响分析 1004.5 土壤、地下水环境影响分析 1024.6 生态环境影响分析 1065 环境风险评价 1075.1 环境风险评价目的 1075.2 风险调查及评价工作等级 108.II .目 录5.3 环境敏感目标概况 1085.4 环
3、境风险识别 1105.5 环境风险影响分析 1115.6 环境风险防范措施 1165.7 环境风险评价小结 1186 污染防治措施与对策 1196.1 大气污染防治措施及可行性分析 1196.2 废水污染防治措施及可行性分析 1226.3 噪声污染防治措施 1256.4 土壤、地下水污染防控措施 1266.5 固体废物污染防治措施 1297 环境管理与监测计划 1327.1 环境管理 1327.2 污染物排放清单及管理要求 1337.3 环境监测计划 1357.4 排污许可申报 1367.5 项目竣工环境保护验收 1367.6 总量控制和排污口规范化管理 1388 环境影响经济损益分析 141
4、8.1 环境经济效益分析 1418.2 企业经济效益分析 1428.3 社会效益影响分析 1428.4 小结 1429 评价结论 1439.1 项目概况 1439.2 环境质量现状 1439.3 污染物排放情况 1449.4 主要环境影响评价结论 1449.5 环境影响经济损益分析 1469.6 环境管理与监测计划 1469.7 公众意见采纳情况 1479.8 企业自主竣工环保验收要求 147.III .目 录9.9 综合结论.147建设项目环境保护审批登记表附件:附件一:营业执照和法人身份证附件二:租赁合同和不动产权证附件三:项目备案文件附件四:环评委托书附件五:厦门市生态环境局关于印发厦门
5、市同翔高新技术产业基地(同安片 区)提升规划环境影响报告书审查意见的通知(厦环评20219 号)附件六:环境质量监测报告附件七:排水证附件八:总量指标取得的承诺函概述.1 .报告表登记表报告书环评类别项目类别概 述一、项目建设背景厦门银科启瑞半导体科技有限公司成立于 2021 年 08 月 24 日(附件一:企业营业执照 和法人身份证复印件),拟建项目厂址位于厦门火炬高新区石墨燎新材料产业园五显路 866-8 号。拟租用该产业园 A 区中已建的 8 号厂房进行本项目建设,厂房占地面积 1498.48m2 、建筑面积约 7474.41m2(附件二:厂房租赁合及不动产权证)。本工程为年产 50 万
6、片-V族化合物半导体晶圆产业化项目,建成后年生产微电子光 电子产品 5 万片/a、太阳电池外延片 15 万片/a、红黄光 LED 外延片 30 万片/a,以及配套 一条芯片试验线,租用已建的 8 号厂房进行建设,该厂房为 5 层建筑。项目于 2022 年 7 月 13 日取得厦门市企业投资项目备案证明(附件三)。本项目主要从事确化缘外延片生产及芯片试验,对照国民经济行业分类(GB/T4754-2017),确化缘外延片归属于“C398 电子元件及电子专用材料制造”类别下的 “C3985 电子专用材料制造”,芯片试验归属于“M73 研究和试验发展”类别下的“M7320 工程技术研究和试验发展”。根
7、据建设项目环境影响评价分类管理名录(2021 年版),本 项目确化缘外延片生产属于名录中“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业” 中的“81 电子元件及电子专用材料制造”,其类型属于需编制环境影响报告书的类别(见表 1);另外,芯片试验属于名录中“四十五、研究和试验发展”中的“98 专业实验室、 研发(试验)基地”,其类型属于需编制环境影响报告表的类别(见表 1);综上,本项目属于 需编写环境影响报告书的类别。为此,建设单位于 2022 年 8 月委托厦门大学城乡规划设 计研究院有限公司编制该项目的环境影响报告书(见附件五)。环评单位接受委托后, 立即 组织环评工作人员踏勘现场, 收集相关
8、资料,并依照相关技术规范编写该项目环境影响报告书,供建设单位报生态环境行政主管部门作为项目环境保护审批及环境管理的依据。表 1 建设项目环境影响评价分类管理目录一览表(摘录)三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业81 电子元件及电子专用材料 制造半导体材料制造;电 子化工材料制造印刷电路板制造;电子专用材料制造 (电子化工材料制造除外);使用有机溶 剂的;有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/四十五、研究和试验发展98 专业实验室、研发(试验) 基地P3、P4 生物安全实验 室;转基因实验室其他(不产生实验废气、废水、危险废 物的除外)/二、环境影响评价过程环评工作包括前期准备、调研和工作
9、方案, 分析论证和预测评价, 环评文件编制三个阶段,具体过程如下:第一阶段:评价单位厦门大学城乡规划设计研究院有限公司接受厦门银科启瑞半导体概述.2 .科技有限公司委托进行项目环境影响评价工作。评价单位组织有关技术人员收集资料、现 场踏勘、走访调查,对项目产业政策合理性、规划符合性和选址合理性等进行初步分析, 并结合建设项目的建设内容和环境现状调查, 制定监测方案, 识别环境影响因子, 确认评 价工作等级, 制定评价工作方案; 同时, 建设单位按照中华人民共和国环境影响评价法 和环境影响评价公众参与办法,环境保护部令第 35 号的相关规定在确定环评编制单位 7 个工作日内, 于 2022 年
10、9 月 29 日起在福建环保网上进行项目首次信息公示及公众参与意见调查表的公示。第二阶段: 评价单位对环境现状监测数据进行收集和补充监测, 并利用工程分析、产 排污系数计算和现状污染调查等方法, 定量或定性分析项目建成运营后, 对周围态环境(大 气环境、声环境、水环境等)存在的潜在的、不利或有利影响之范围和程度。第三阶段: 评价单位对项目环保措施的可行性进行论证, 给出污染物排放清单, 确定 环境影响评价结论, 进行环境影响报告书的编制工作。同时, 建设单位在福建环保网站上 进行了征求意见稿和公众参与意见调查表的公示(公示时间为 2022 年 12 月 13 日至 2022 年 12 月 26
11、 日),同时还在项目周边村庄敏感点张贴信息公告,并且在海西晨报上进行二 次登报公示(公示时间分别为 2022 年 12 月 19 日、21 日),公示期内在建设单位所在办公 点打印了纸质文稿供公众查阅。征求意见稿公示期间建设单位和评价单位未收到公众提出的相关建议或意见。在征求 意见稿全文公示后, 建设单位完成了年产 50 万片-V族化合物半导体晶圆产业化项目 环境影响报告书公众参与说明。评价单位结合公参情况,编制完成年产 50 万片-V 族化合物半导体晶圆产业化项目环境影响报告书(送审稿,提交建设单位报请生态环境主 管部门审查。本项目环境影响评价工作技术路线见图 1。三、项目主要环境问题环评关
12、注的主要环境问题包括: 项目运营期间废气处理方案的可行性及对环境空气 的影响; 项目运营期间废(污)水处理方案的可行性; 项目运营期间产生的各类固体废 物的环境影响及处置方式; 厂房内各类机械设备噪声对周围环境的影响等; 突发环境风险事件可能产生的环境污染问题。四、分析判定相关情况(1)产业政策符合性对照产业结构调整指导目录(2019 年版)及国家发展改革委关于修改的决定,本项目属于鼓励类“二十八、信息产业”的“22、半 导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元 器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高概述.3 .性能
13、覆铜板等)等电子产品用材料”项目。项目建设用地不属于限制用地项目名录(2012 年本)和禁止用地项目目录(2012 年本)中限制和禁止用地项目,不违反相关政策法规。项目生产工艺装备和产品不属于部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目 录(2010 年本)(工产业2010第 122 号)中的淘汰之列。也不涉及限期淘汰产生严重污 染环境的工业固体废物的落后生产工艺设备名录中淘汰的落后生产工艺。对照市场准入负面清单(2022 年版),本项目不属于该清单中禁止准入类项目。 综合所述,项目建设符合国家当前政策要求。图 1 项目环境影响评价工作路线图概述.4 .(2)与区域用地规划符合性项目位于厦门市
14、火炬高新区石墨燎新材料产业园五显路 866-8 号楼,属于同翔高新技 术产业基地(同安片区)范围。厦门市同翔高新技术产业基地(同安片区)提升规划、厦门 市生态环境管控单元和厦门市工业布局规划中,项目位置属于同翔高新技术产业基地(同 安片区)内的工业用地,同安区空间规划一张蓝图(2021 年)中项目所在地块亦列为工业 用地,同时符合厦门市产业空间布局指引(2021 年本),故项目选址符合区域土地利用 规划要求。(3)与同翔高新技术产业基地片区规划符合性分析同翔高新技术产业基地(同安片区)位于厦门市东北部,吐邻火炬(翔安)产业园,是厦 门火炬高新区东北部产业集聚区的重要组成部分。规划范围以同翔大道
15、为界, 分成东西两 片(同安五显洪塘片区和翔安东賽片区),规划总用地面积为 35.03km2。同翔高新技术产业 基地的发展目标及功能定位为:运用产城融合发展理念, 重点围绕平板显示、计算机与通 讯设备、机械装备、新材料、半导体和集成电路产业等高新技术产业形成千亿产业链群, 打造上下游产业链完备、配套服务设施完善的高新技术产业集聚区。本项目为年产 50 万 片 III-V 族化合物半导体晶圆产业化项目,属于半导体新材料产业,为该规划片区主导引进产业,符合规划片区要求。(4)与“三线一单”符合性分析本项目位于同翔高新技术产业基地(同安片区),不在同安区生态保护红线范围内, 亦 不在厦门生态控制线范
16、围内, 满足生态保护要求。项目所在区域环境质量现状能满足环境 功能区划要求, 产生的各类污染物经有效治理后均能达标排放, 对周围环境影响较小, 项 目建设不会突破当地环境质量底线。项目运营过程消耗一定的水资源和能源, 不会突破区 域的资源利用上线。项目建设符合厦门市生态环境准入清单(2021 年)要求。综上, 项 目选址和建设符合“三线一单”控制要求。详细分析内容见 3.6.4 节。五、环境影响评价主要结论(1)大气环境影响评价结论根据预测结果, 项目运营过程中, 各废气污染物经处理达标排放后对周边大气环境影 响较小, 也不会对周边大气环境敏感点造成污染影响。企业在落实各项环保措施、达标排 放
17、的前提下, 从大气环境影响角度分析, 项目建设是可行的。此外, 根据预测结果, 工程 实施后厂界污染物浓度均可满足大气污染物厂界浓度限值, 且厂界外大气污染物短期贡献浓度均不超过环境质量浓度限值,无需设置大气环境防护距离。(2)水环境影响评价结论项目产生的酸性废水、有机废水、含氨废水、含氣废水、减薄和切割废水、确院磷院废气洗涤塔废水、废气洗涤塔废水、MOCVD 炉过滤器清洗废水等由拟建生产废水处理设概述.5 .施处理达到污水综合排放标准(GB8978-1996)三级标准、污水排入城镇下水道水质标 准(GB/T31962-2015)中的 B 级标准及电子工业水污染物排放标准(GB39731-20
18、20) 表 1 中电子专用材料间接排放标准后, 排入市政污水管网; 纯水制备系统产生的浓盐水属 于清净下水, 拟部分进行回用, 多余部分与预处理后的其它生产废水一起排入市政污水管 网; 生活污水依托园区化粪池预处理后排入市政污水管网。各部分废水进入市政污水管网 后, 近期由布塘再生水处理站进行处理, 远期则由洪塘水质净化厂进行处理。企业只要加 强管理, 落实好项目生产废水处理站的正常运行, 对附近的地表水环境没有污染影响。从水环境影响的角度分析, 项目建设是可行的。(3)声环境影响评价结论根据预测结果, 项目投产后对厂界四周的噪声贡献值均能满足工业企业厂界环境噪 声排放标准(GB12348-2
19、008)表 1 中 3 类功能要求;附近声环境敏感点(下欧坑里)在叠加 环境背景值后, 其昼夜间声环境均能满足声环境质量标准(GB3096-2008)中 2 级标准。 可见, 项目运营后通过采取有效的噪声防治措施后, 预计其运营噪声不会对周边声环境造成显著影响。从声环境影响的角度分析,项目建设是可行的。(4)固体废物影响评价结论营运期的固体废物主要一般性工业固废、危险废物及员工生活垃圾等。其中, 危险废 物委托有相应资质的单位接收处置,运输过程严格执行危险废物转移管理办法(生态 环境公安部交通运输部部令第 23 号);一般工业固废委托尽可能回收利用, 不可回收利用 的交由有主体资格和技术能力的
20、单位处置; 员工生活垃圾委托当地环卫部门收集处理。本 项目产生的固体废物均能得到有效处置或回收利用。项目产生的各种固体废物处置方式基 本合理可行,流向清楚,正常情况下对周边环境影响较小。从固体废物影响的角度分析,项目建设是可行的。(5)土壤、地下水环境影响评价结论项目污水处理站、污水管道均采取严格的防渗、防溢流等措施, 正常工况下污水不会 对地下水产生污染。建设单位按照规范和要求对化学品仓库、危废暂存间等采取有效的防 风、防雨、防晒、防渗等措施后, 正常情况下不会产生泄漏风险。可见, 项目运营期非正常工况下对土壤和地下水环境的影响是可控的。六、评价总结论拟建项目厂址位于同翔高新技术产业基地(同
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