(7)--FPD_Chapter-4-4平板显示技术平板显示技术.ppt

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1、Flat Panel DisplaysFlat Panel Displays平板显示技术平板显示技术平板显示技术平板显示技术TFT LCD工艺原理工艺原理TFT LCDTFT LCD工艺原理工艺原理工艺原理工艺原理 一、一、TFT LCD工艺概述工艺概述 二、二、TFT 基板制造工艺基板制造工艺 三、三、CF基板制造工艺基板制造工艺 四、四、TFT LCD面板制造工艺面板制造工艺 五、五、TFT LCD模组制造工艺模组制造工艺2024/1/272/53 一、一、一、一、TFT LCDTFT LCD工艺概述工艺概述工艺概述工艺概述TFT-LCD:三明治的三明治的构构造造生产条件：生产条件：TFT

2、-LCD 工工厂厂 TFT-LCD 工厂从过去的工厂从过去的1代厂演进到现今的代厂演进到现今的10代厂，代厂，各世代厂房的差别就在于玻璃基板的尺寸。玻璃基板各世代厂房的差别就在于玻璃基板的尺寸。玻璃基板越大，便能切割出大尺寸的面板。举例来说，一片越大，便能切割出大尺寸的面板。举例来说，一片7.5代玻璃基板尺寸达代玻璃基板尺寸达195公分公分 225公分，它可以被公分，它可以被切割成切割成8片片42吋面板，或是吋面板，或是6片片46吋面板吋面板。TFT-LCD必须在精密的无尘室内，经过必须在精密的无尘室内，经过300道以上的制道以上的制程生产出来。无尘室的洁净度，最高等级可程生产出来。无尘室的洁

3、净度，最高等级可达达10，即是在无尘室环境内，每立方尺只有即是在无尘室环境内，每立方尺只有10颗粉尘。颗粉尘。2024/1/273/53 一、一、一、一、TFT LCDTFT LCD工艺概述工艺概述工艺概述工艺概述TFT LCD工艺流程工艺流程2024/1/274/53 一、一、一、一、TFT LCDTFT LCD工艺概述工艺概述工艺概述工艺概述TFT-LCD 前段制程前段制程-ArrayArray 制程与半导体制程相似，但不同的是将薄膜晶体管制作于玻璃上，而非硅晶圆上制程与半导体制程相似，但不同的是将薄膜晶体管制作于玻璃上，而非硅晶圆上。1、一片表面光滑、一片表面光滑,没有任何杂质的玻璃没有

4、任何杂质的玻璃,是制造是制造TFT玻璃基板最主要的原料玻璃基板最主要的原料.在制作之前在制作之前,需用特殊的冼净液需用特殊的冼净液,将将玻璃洗净玻璃洗净,然后脱水甩干。然后脱水甩干。2、要使玻璃基板镀上金属薄膜、要使玻璃基板镀上金属薄膜,需先将金属材料放在真空室内需先将金属材料放在真空室内,让金属上面的特殊气体产生电浆后让金属上面的特殊气体产生电浆后,金属上的金属上的原子就会被撞向玻璃原子就会被撞向玻璃,然后形成一层层的金属薄膜。然后形成一层层的金属薄膜。3、镀完金属膜后，我们还要镀上一层不导电层与半导电层，在真空室内，先将玻璃板加温，然后由高电压、镀完金属膜后，我们还要镀上一层不导电层与半导

5、电层，在真空室内，先将玻璃板加温，然后由高电压的喷洒器喷洒特殊气体，让电子与气体产生等离子，经过化学反应后，玻璃上就形成了不导电层与半导体层。的喷洒器喷洒特殊气体，让电子与气体产生等离子，经过化学反应后，玻璃上就形成了不导电层与半导体层。4、薄膜形成后，我们要在玻璃上制作、薄膜形成后，我们要在玻璃上制作TFT的图案。首先，要进入黄光室喷上感光极强的光阻液，然后套上光的图案。首先，要进入黄光室喷上感光极强的光阻液，然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光，最后送到显影区喷洒显影液，这样可以去除照光后的光阻，还可以让光阻层定型。罩照射蓝紫光进行曝光，最后送到显影区喷洒显影液，这样可以去除照光后的光阻，还可以

6、让光阻层定型。5、光阻定型后，我们可用蚀刻进行湿式蚀刻，将没有用的薄膜露出，也可用等离子化学反应进行干式蚀刻，、光阻定型后，我们可用蚀刻进行湿式蚀刻，将没有用的薄膜露出，也可用等离子化学反应进行干式蚀刻，蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除，最后就产生蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除，最后就产生TFT所需要的电路图案了。所需要的电路图案了。6、要形成可用的薄膜、要形成可用的薄膜TFT，需要重复清洗，镀膜，上光阻，曝光，显影，蚀刻，去光阻等过程，一般来说，需要重复清洗，镀膜，上光阻，曝光，显影，蚀刻，去光阻等过程，一般来说，要制造要制造TFT-LCD，就要重复，就要重复5到到7次。次。2024/1/27

7、5/53 一、一、一、一、TFT LCDTFT LCD工艺概述工艺概述工艺概述工艺概述TFT-LCD 中段制程中段制程-Cell模块组装制程模块组装制程,是将是将Cell贴合并切割后的面板玻璃贴合并切割后的面板玻璃,与其它组件如背光板、电路、外框等多种零组件组装与其它组件如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。的生产作业。2024/1/276/53 一、一、一、一、TFT LCDTFT LCD工艺概述工艺概述工艺概述工艺概述TFT-LCD 后段制程后段制程-模块组装模块组装 模块组装制程模块组装制程,是将是将Cell贴合并切割后的面板玻璃贴合并切割后的面板玻璃,与其它组件如背光板、电路

8、、外框等多种与其它组件如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。零组件组装的生产作业。2024/1/277/53 一、一、一、一、TFT LCDTFT LCD工艺概述工艺概述工艺概述工艺概述2024/1/278/53TFT LCDTFT LCD工艺原理工艺原理工艺原理工艺原理 一、一、TFT LCD工艺概述工艺概述 二、二、TFT 基板制造工艺基板制造工艺 三、三、CF基板制造工艺基板制造工艺 四、四、TFT LCD面板制造工艺面板制造工艺 五、五、TFT LCD模组制造工艺模组制造工艺2024/1/279/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制

9、造工艺2024/1/2710/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2711/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2712/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2713/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2714/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2715/53 二、二、二、二

10、、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2716/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2717/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2718/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2719/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2720/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造

11、工艺基板制造工艺2024/1/2721/53 二、二、二、二、TFT TFT 基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2722/53TFT LCDTFT LCD工艺原理工艺原理工艺原理工艺原理 一、一、TFT LCD工艺概述工艺概述 二、二、TFT 基板制造工艺基板制造工艺 三、三、CF基板制造工艺基板制造工艺 四、四、TFT LCD面板制造工艺面板制造工艺 五、五、TFT LCD模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2723/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2724/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基

12、板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2725/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2726/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2727/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2728/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2729/53 三、三、三、三、CFCF基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2730/53 三、三、三、三、CFCF基

13、板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺基板制造工艺2024/1/2731/53TFT LCDTFT LCD工艺原理工艺原理工艺原理工艺原理 一、一、TFT LCD工艺概述工艺概述 二、二、TFT 基板制造工艺基板制造工艺 三、三、CF基板制造工艺基板制造工艺 四、四、TFT LCD面板制造工艺面板制造工艺 五、五、TFT LCD模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2732/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2733/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺202

14、4/1/2734/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2735/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2736/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2737/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2738/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造

15、工艺2024/1/2739/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2740/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2741/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2742/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2743/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工

16、艺面板制造工艺2024/1/2744/53 四、四、四、四、TFT LCDTFT LCD面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺面板制造工艺2024/1/2745/53TFT LCDTFT LCD工艺原理工艺原理工艺原理工艺原理 一、一、TFT LCD工艺概述工艺概述 二、二、TFT 基板制造工艺基板制造工艺 三、三、CF基板制造工艺基板制造工艺 四、四、TFT LCD面板制造工艺面板制造工艺 五、五、TFT LCD模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2746/53 五、五、五、五、TFT LCDTFT LCD模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2747/53 五、五、

17、五、五、TFT LCDTFT LCD模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2748/53 五、五、五、五、TFT LCDTFT LCD模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2749/53 五、五、五、五、TFT LCDTFT LCD模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2750/53 五、五、五、五、TFT LCDTFT LCD模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺 20-inch2024/1/2751/53 五、五、五、五、TFT LCDTFT LCD模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺模组制造工艺2024/1/2752/53TFT LCDTFT LCD工艺原理工艺原理工艺原理工艺原理 本节课结束本节课结束 下一节课内容下一节课内容：TFT LCD驱动技术驱动技术2024/1/2753/53