排气工艺操作指导书.docx

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1、福建省XX电子企业有限公司FUJIAN JOINLUCK ELECTRONIC ENTERPRISE CO., LTD.文件编号WI-JLRD-117生效日期2022-09-30文件名称排气工艺操作指导书版次3.0页次1/12一,设 备：排气车与微机控制系统、2x-4真空泵、三级扩散泵、500W电炉、高频电火花检漏器二,原材料：氤气（99.999%）、接梗后灯管三,工具：周转盘、砂轮片、真空脂四,操作规程:流程图操作规程技术要求注意事项使用表单总收发料1 .检查所接收的管是否数量与瓦数有误。2 .按各班所需的要求平均分配给各班组，保证各班都有管 做。各班发料准备工作1 .检查所接收的灯管及色温

2、是否有误。2 .将管按需求摆放在流水线上。3 ,认真分清封口废品与排气废品，小心装入周转盘。4 .将剩余未排气管退回总发料处，保证当天所接收管数量 无误。1 .检查所有拷克上的真空脂，必要时应擦洗旧真空脂，涂 上新的真空脂,转动数圈使之均匀不漏气，再关闭除K1、 K4外所有的拷克。2 .开启机械泵粗抽系统真空，用高频火花检漏器检查， 排气系统真空度应在30秒内呈灰白色，否则应排除泄 漏。再将K2拷克打开（转向高真空位置）。3 .打开扩散泵冷却水，使冷却水在泵体夹套内畅流。4 .系统真空度抽至IO托时开启电炉使扩散泵工作。5,开启电脑设备，检查控制柜上主调电压是否符合要求。根据所排灯管型号设定相

3、应通电程序（见附录二）附 1： 一、二线主调电压：LB3： 160V3V； LB4:175V3VO1.2.3.三线主调电压:LB3： 180V3V； LB4:155V3Vo附2：排气车拷克排列示意图:左 K6 K5 K4 K3 K2 K1 右1 .关闭拷克K1,将吹气拷克K3转到低压风。2 .调节好排气火头，使它达到接泡要求。3 .用砂轮片割去排气车上的接管尾端，用对口火头将灯管 从左到右逐一接到排气车上。1 ,关闭K2、K3,然后将拷克K1转向低真空位进行粗抽， 用高频电火花检漏器对灯管进行检漏。2.检漏时如系统内无漏气应呈灰白色，如紫色或红色则表 示有灯管漏气，应用火头将漏气管烧割下来，并

4、更换。1.当灯管检查无漏气后，打开K2、K3、K5,关闭K1,进 行系统抽气。2 .将灯管导丝逐一串接起来。审核人校对人查看扩散泵油每分钟 是否跳动10次以上， 如未达标则更换电炉 丝或对加热部位进行 保温或更换被氧化变 黄的扩散泵油。要注意两台排气车之 间的切换；左边红色 指示灯亮说明左边机 台通申-反之右功。 对于第三线排气 车，应多按几次“清 济”按钎I,直到将 机台电磁阀里的杂 气抽干净。L要求所接泡不能太大或太 薄。2. T4S-32W. 36W、40W 接 18 根 管，T5灯管接11根管，其余 型号接23根管。1 ,导丝必须绑紧，且不能 导致灯丝短路,不能碰丝编制人1-17219

5、87001-181401006012-10.50.51106002-20.5401206012-3535606012-4506001001308DC966步骤分解时间(S)保持时间(S)分解电流(mA)保持电流(mA)充僦1-137500001-2100404001-3200606001-4300757501-5350808001-6350858501-7400959501-835010010001-930010510501-1040011011001-1140011511501-1240012012001-1325012512501-1410012512501-15511287001-164

6、11297001-17311307001-18211317001-19111327001-2011013312001-211451346512-10. 50. 51308002-20. 5451506512-310065651文件编号：WI-JLRD-117版次：3.0页次:10/12041504DC932步骤分解时间（S）保持时间（S）分解电流（mA）保持电流（mA）充氮1-142000001-280505001-3200707001-4200808001-5200909001-6200959501-720010010001-815010510501-95011011001-10250120

7、12001-1120012512501-1215013013001-1310013513501-1420014014001-1540014514501-1635015015001-1735015515501-1835016016001-1940016516501-2025116512001-214116611001-223116711001-232116811001-241116911001-25119011001-261117211001-2711017215001-28240909012-10.50. 51559002-20. 5451709012-31009001文件编号:WI-JLRD

8、-117版次：3.0页次:11/12000911DC9002-J步骤分解时间（S）保持时间（S）分解电流（mA）保持电流（mA）充氨1-139000001-2200404001-3200606001-4300757501-5350808001-6400858501-7500959501-850010010001-960010510501-1040011011001-1140011511501-1240012012001-1325012512501-1410012512501-15511287001-16411297001-17311307001-18211317001-19111327001-

9、2011013312001-211451346512-10.50.51308002-20. 5451506512-310065651020711LC0557步骤分解时间（S）保持时间（S）分解电流（mA）保持电流（mA）充氤1-140000001-2150353501-3250454501-4300505001-5300555501-6500606001-7500656501-8600707001-9400757501-10500808001-11250868601-12100878701-1320888801-1421897501-1511907001-1611916501-17110926

10、501-18125555511-19202555512-10. 50. 5855002-20.5401025012-33030505012-41505001002603LC933步骤分解时间（S）保持时间（S）分解电流（mA）保持电流（mA）充氨1-142000001-28010510501-325012012001-435014514501-530016516501-635017517501-740018518501-820019519501-935020020001-1020020520501-1120021021001-1225021521501-1320022022001-142002

11、2522501-1530023023001-1645023523501-1720024024001-1825025025001-195125217001-204125317001-213125417001-222125517001-231125617001-2412024624001-2524515515512-10. 50. 527015002-20.54029015012-3103515001电脑排气车运行记录表时间生产 线主调电压（V）排气车运行情况记录人LB3LB4123123123123123123123123123123123123123123日期日期日期日期文件编号：WI-JLR

12、D-117版次：3.0页次：2/12流程图操作规程技术要求 注意事项使用 表单1 .将检漏器放到烘箱火头上，打开煤气阀门，点燃火头， 将烘箱火头调到适当温度对灯管进行烘烤，不可突然将 火开得太大将管烤弯或烤黑。2 .按绿色“通电”按钮通电,经常检查温度是否正常（400 450C）,在管不烤弯变形的情况下尽量将温度升高.烘烤时间6分钟。一、二线排气按通电按钮 前必须保证灯管已烘烤3 分钟。三线排气必须要烘箱盖 好后才能按通电按钮。1 .电脑主机值守人员认真观察各组所接的灯管型号， 选择对应的通电程序对灯管通电分解。2 .通电过程中电脑主机值守人员要仔细观察控制柜上 的主调电压是否在工艺要求内，电

13、脑通电程序运行是否 正常，每小时记录一次。如有不正常应及时停止程序运 行，通知排气工以手工通电的方式补通电。3 .排气车操作人员要仔细观察排气情况，按电脑发出的 指令操作。L要经常检漏，若有漏气 灯管应及时将其烧离系 统绝不可带漏通电分解。2 .通电程序设定见附录 、- O3 .通电过程才旨示灯1或2 闪烁，说明通电断开，检 查绑丝，完毕后按通电.1 .当指示灯1快速闪烁一表示该清洗,检查系统及氤 气是否有漏气，关闭K3 （抽气拷克）及K5。检验通电 是否干净.2 .将K6旋转30度的角度，打开K5充入5厘米油柱氮 气然后关闭（操作时将K5旋转180度）并保持。充氮保持时间按指示灯 指示操作。

14、1 .打开K3 （通向扩散泵）将系统内的僦气抽走。按通 电按钮让程序运行，指示灯1亮且不闪烁，表示程序 继续运行。1.当指示灯1缓慢闪烁,表示准备辉光。关闭抽气拷克 K3,打开K5充入6厘米油柱氤气，然后关闭K5 （操作 时将K5旋转180度）。2,排气工确定系统内无漏气后，关闭温控、煤气，打开 烘箱盖子.3.按通电按钮辉光.辉光时要观看每车灯管是否辉光正 常：液汞灯管应为黄白色；汞齐灯管应为黄色。液汞灯管辉光非黄白色，应检 查系统及氨气：（1）如系统和 氮气都正常则用手工补充辉 光；（2）如系统漏气或氤气不 纯，应排除并重新通电，再手 工辉光。辉光时要确保系统内 有氨气。1.打开K3 （通向

15、扩散泵），将辉光后的氨气抽掉。1.抽完后用检漏器打系 统应基本无色。1.当指示灯2快速闪烁,表示该再次清洗。检查系统及 氤气是否有漏气，关闭抽气拷克K3,打开K5充入5厘 米油柱氤气，然后关闭K5 （操作时将K5旋转180度）， 并保持。1.将系统内清洗的氤气抽掉。按通电按钮让程序运行， 指示灯2亮且不闪烁，继续运行程序。1.抽完后用检漏器打系 统应基本无色。烘烤通电分解辉光抽真空充氤清洗抽真空抽真空充氮清洗充僦下管1 .当指示灯1、2都闪烁时，表示充氮下管。先检查每1.充氮量：根灯管是否有漏气。T2S-5W: 7. 07. 5cm2.关闭抽气拷克K3,打开K5 （旋转30度）充入规定 高度油

16、柱氤气，然后关闭K5。油标保持稳定20秒。T1余 T2 灯： 6. 5-7. 0cm3、T4 汞齐灯：4. 5-5. 0cm3 .将灯管从右到左逐一烧割下来。4 .整齐的摆放到流水线上。5,充氤后烧割时如有慢漏，则必须重新抽真空；如是大 漏，则必须通电烘烤5分钟后再充氨下管。TT343、T4 液汞灯：5. 5-6. 0cm5 灯：4. 5-5. 0cm.灯管所充僦气皆为 99. 999%高纯僦。.大漏后的通电电流一般 不要通到最大，只要通干 净即可。文件编号：WI-JLRD-117版次：3.1页次:3/12流程图操作规程技术要求 注意事项使用 表单抖水银1 .两只手各拿15支灯管，在流水线上将

17、水银梗中的水 银抖入灯管内。2 .在抖水银过程中不能用力过大，防止水银梗抖断。3 .将抖好水银的管整齐的排在流水线上。1 .在抖水银过程中不 能用力过大，防止水银 梗抖断。2 .抖水银时不能碰到 较硬的地方。检祈31 .检查流水线上是否存在红管和漏气管，将其挑出，如 是红管则应把水银抖入再放到流水线上烧梗。2 .将漏气管分成回收品和废品两类。L流水线上的管应先 放到捡漏器上检漏，然 后烧梗。L左手拿灯管，右手拿着梗，将灯管放到单火头上（火 焰上）来回转动地烧，待芯柱烧软后将管与芯柱分离。2.烧梗长度：液汞灯管W2.5mm,T4汞齐灯管放汞齐端W8nlln,T3汞齐灯管放汞端W8mlli,T2汞

18、齐灯管放汞端汞齐灯管不放汞齐端W3mni,1 .烧梗不能有毛刺。2 .烧汞齐灯管时火焰 不能对准汞齐。应对准 汞齐上端2 mmo3 .汞齐烧完后应使主 汞齐熔成T立。不能成 散开状。烧梗r1 .将已烧梗的管按各种规格分类好装入周转盘中。2 .对已装好的管进行检漏，并标好各班的记号。3 .将管送入老练，并做好交接手续。1.汞齐管必须100C 烘烤十分钟后方能拿 去老炼。收料rV排气拷克旋转位置：表中拷克从左往右依次顺序为K6、K5、K4、K3、K2、Klo操作K6K5K4 K3K2K1接管/ ji检漏/ 11 t t -绑丝/ ! i T - l充瀛清洗/ 11 - t - 1抽真专/ t辉光/

19、 1一 i i抽真多3/ 1i t - t抽真专3z i 一 一 一 i充氮下管/ i i i - i|文件编号：WI-JLRD-117 版次：3.0 页次:4/12附录一 通电程序设定（适用手工通电）1 .灯管型号：T4S5/7W、10W 15W 18W （K30）灯管；T4S-18W （K30）汞齐灯管鸨丝型号：DC932通电过程：通电（1） 0分钟二通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟通电（4） 4分钟输出140mA输出160mA输出180mA 输出200mA通电（5） 3分钟 通电（6） 2分钟输出210mA输出215mA2 .灯管型号：T4S20W. 23W、26W （K30）灯管

20、；T4S23W （K30）汞齐灯管鸨丝型号：LC933通电过程：.通电（1） 0分钟上通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟 通电（4） 3分钟输出240mA输出260mA输出280mA 输出300mA通电（5） 5分钟 通电（6） 2分钟输出310mA输出320mA3 .灯管型号：T3s13W、15W灯管 T3S9W. 11W. 13W汞齐灯管鸨丝型号：DC966通电过程：.通电（1） 0分钟通电（2） 0分钟 通电（3） 0分钟_通电（4） 3分钟输出0mA输出0mA输出0mA输出140mA通电（5） 5分钟 通电（6） 2分钟输出160mA输出180mA4 .灯管型号：T3S18W. 2

21、0W、23W、26W 灯管鸽丝型号：LC0135通电过程：通电（1） 3分钟 立通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟通电（4） 2分钟输出240mA输出260mA输出280mA输出290mA通电（5） 0分钊J 通电（6） 0分钟输出0 mA输出0 mA5 .灯管型号：T4S32W 36W、40W （K30）灯管鸨丝型号：LC933通电过程：通电（1） 0分钟一通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟通电（4） 3分钟输出240mA输出260mA输出280mA 输出300mA通电（5） 5分钟 通电（6） 2分钟输出310mA输出320mA6 .灯管型号：T3/3UO10W T3S-5W 73

22、、9W 11W. T3mS7W 灯管鸨丝型号：LC9002J通电过程：通电（4） 4分钟输出110mA通电（1） 0分钟 通电（2） 3分钟 源电（3） 3分钟 .输出90mA输出100mAa通电（5） 0分钟 通电（6） 3分钟 输出130mA7 .灯管型号：T5s55W灯管 鸨丝型号：ZC9601 通电过程：通电（4） 3分钟输出420mA通电（1） 0分钟 .通电（2） 0分钟通电通）3分钟.输出380mA通电（5） 3分钟 通电（6） 2分钟输出460mA输出500mA8 .灯管型号：T2S9W. 11W、13W灯管鸨丝型号：LC0556通电过程：通电（1） 0分钟 通电（2） 0分钟

23、 通电（3） 3分钟胃 通电（4） 4分钟复位输出120mA输出140mA通电（5） 0分钟 通电（6） 2分钟输出160mA9 .灯管型号：T2S一管、7W、8W、鸽丝型号：LC0557通电过程：（注：通电3、4、5使用低真空通电，通电6高真空开扩散泵通电）通电（1） 0分钟 .通电（2） 0分钟通电（3） 2分钟*通电（4） 2分钟 输出100mA输出110mA通电（5） 2分钟 通电（6） 2分钟输出120mA输出130mA10.灯管型号：T4/2U一管、9W、HW、13W、15W、18W 灯管T4/3U010W. 13W 15W、18W 灯管T4/3UP10W 15W、18W 灯管鸨丝

24、型号：DC932通电过程：.通电（1） 0分钟 .通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟_通电（4） 4分钟输出140mA输出160mA输出180mA 输出200mA通电（5） 3分钟 通电（6） 2分钟输出210mA输出215mA1L 灯管型号：T4/3U020W 23W、26W 灯管T4/3UP20W、23W 灯管鸨丝型号：LC933通电过程：.通电（1） 0分钟通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟_通电（4） 3分钟输出0mA输出0mA输出260mA输出280mA通电（5） 5分钟 通电（6） 2分钟输出300mA输出305mA12.灯管型号：T4/3U010W 13W、15W、18W

25、 汞齐灯管鸨丝型号：DC932通电过程：.通电（1） 0分钟 .通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟_通电（4） 4分钟输出140mA输出160mA输出180mA 输出190mA通电（5） 3分钟 通电（6） 2分钟输出200mA输出210mA13.灯管型号：T4/3U020W 23W、26W汞齐灯管鸨丝型号：LC933通电过程：.通电（1） 3分钟通电（2） 3分钟 通电（3） 3分钟 通电（4） 3分钟输出240mA输出260mA输出280mA 输出290mA通电（5） 5分钟 通电（6） 0分钟输出300mA输出0mA14 .灯管型号：T3/3U013W 15W 18W 灯管T3/2U

26、6W、9W、11W 灯管鸨丝型号：DC966通电过程：.通电（1） 0分钟通电（2） 0分钟 通电（3） 3分钟_通电（4） 3分钟输出0mA输出0mA输出120mA输出140mA通电（5） 5分钟 通电（6） 2分钟输出160mA输出170mA15 .灯管型号：T4/2U3/5W灯管鸨丝型号：LC0557通电过程：（注：通电3、4、5使用低真空通电，通电6高真空开扩散泵通电）通电（1） 0分钟 加通电（2） 0分钟 通电（3） 2分钟通电（4） 2分钟输出100mA 输出110mA通电（5） 2分钟 通电（6） 2分钟输出120mA输出130mA附录二微机通电程序、排气操作工控制面板指示灯闪

27、烁速度：1.最缓慢一一辉光；2.正常（每秒闪2次）一一断电；3.快一一清洗 二、程序序号鸨丝对应灯管型号程序只操作两台 排气车程序30工位程 序1LC0557T2s-5W、 7W 8WT42U-3/5W0207112LC0556T2S-9W. 11W 13W0213090211093029133DC9002-JT3S-5W 7W、 9W、 11WT3mS-7WT3/3U0-10W0009110309124DC966T3s13W、 15W,0013080315093015085DC966T3/3U0T3W、15W、18WT3/2U6W 9W、11W0318096DC966T3S-9W 11W 1

28、3W. 15W 汞齐0309087LC0135T3S-18W. 20W、 23W、 26W0023030320043023048DC932T4S5/7W 10W、15W、18WT4/2U7W 9W、11W、13W、15W 18WT4/3U010W 13W. 15W、18WT4/3UP10W 15W 18W0415049DC932T4ST0W、13W、15W 18W 汞齐灯管04150310LC933T4S20W 23W、26WT4/3U020W 23W、26W 灯管T4/3UP20W 23W 灯管00260311LC933T4S23W (K30)汞齐灯管T4/3U020W、23W、26W 汞齐

29、灯管04230412LC933T4S32W. 36W、40W043218文件编号:WI-JLRD-117版次：3.0页次:8/12通电程序设置程序：（说明：分解时间为分解电流运行的时间， 执行下一步程序。充氤：设置0表示不充氨，002303保持时间为保持电流运行的时间。如果时间为3则 设置1表示要充氤。）LC0135步骤分解时间（S）保持时间（S）分解电流（mA）保持电流（mA）充氤1-137500001-2250858501-330012012001-445013013001545014014001-660014514501-760015515501-850016016001-9400165

30、16501-1030017017001-1115017517501-122018018001-131.5118111501-141118211501-151118311501-1611518415001-1714518510012-10.50.521512002-20.54023010512-3501051051021309LC0556步骤分解时间（S）保持时间（S）分解电流（mA）保持电流（mA）充氮1-139000001-250303001-3150454501-4200555501-5400656501-6400707001-7500757501-8500808001-9450868601-10500929201-11450969601-12300989801-131501007001-1451957001-1541967001-163197700