《晶硅片制绒与清洗》课件.pptx
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1、晶硅片制绒与清洗ppt课件目录CATALOGUE晶硅片制绒与清洗概述制绒工艺原理清洗工艺原理制绒与清洗设备制绒与清洗技术发展与展望晶硅片制绒与清洗概述CATALOGUE01指通过化学或物理方法对硅片表面进行加工处理,形成绒面结构的过程。晶硅片制绒指对硅片表面进行清洁,去除尘埃、杂质、油污等的过程。晶硅片清洗晶硅片制绒与清洗的定义 晶硅片制绒与清洗的重要性提高硅片表面质量通过制绒和清洗,可以去除硅片表面的损伤和杂质,提高表面质量,有利于后续工艺的进行。保证产品性能硅片表面的质量和洁净度对太阳能电池的光电性能和稳定性具有重要影响,因此制绒和清洗是保证产品性能的关键环节。提高生产效率通过制绒和清洗,
2、可以去除硅片表面的缺陷和杂质,减少后续工艺中的返工和重制,从而提高生产效率。将硅片置于酸性溶液中,通过化学反应使硅片表面形成绒面结构。酸制绒将硅片置于碱性溶液中,通过化学反应使硅片表面形成绒面结构。碱制绒将硅片放入清洗机内,通过喷淋、超声波、刷洗等方式去除硅片表面的尘埃、杂质、油污等。清洗将清洗后的硅片进行干燥处理,以去除表面残留的水分和溶剂。干燥晶硅片制绒与清洗的工艺流程制绒工艺原理CATALOGUE02利用酸碱溶液与硅片表面的SiO2发生化学反应,形成凹凸不平的表面形貌。酸碱反应氧化还原反应腐蚀作用通过特定的氧化剂或还原剂与硅片表面的SiO2发生反应,改变其化学性质,达到制绒效果。利用强酸
3、或强碱溶液对硅片表面进行腐蚀,形成微观结构变化,实现制绒。030201化学制绒原理通过物理机械力作用在硅片表面,使其产生微观形变,形成绒面结构。机械力作用利用不同温度下硅片表面热膨胀系数的差异,形成表面微观形变,实现制绒。热膨胀效应通过激光照射在硅片表面,引发特定化学反应,形成绒面结构。激光诱导反应物理制绒原理控制反应速度和制绒效果的重要参数,需根据具体工艺要求进行选择。酸碱浓度影响化学反应速度和制绒效果的参数,需根据实际情况进行调整。温度与时间影响物理制绒效果的重要参数,需根据具体工艺要求进行选择。压力与气氛制绒工艺参数清洗工艺原理CATALOGUE03冲击原理通过高压水流或喷嘴对硅片表面进
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