半导体工艺实习报告综述.docx

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1、半导体工艺认识实 习汇报篇一：半导体认识实习汇报 电子信息材料专业实习汇报 电子信息材料是指在微电子、光电 子技术和新型电子元器件领域中所用日勺 材料，重要包括微电子材料、光电子材 料、传感材料、磁性材料、电子陶瓷材 料等，它们支撑着通信、计算机、信息 家电和网络技术等现代信息产业及航 空、航天、精确制导、机灵武器等领域 的发展。电子信息材料是发展电子信息产 业日勺先导和基础。以单晶硅为代表日勺第 一代半导体材料是集成电路产业日勺基 础。1948年发明了晶体管，I960年集成 电路问世，1962年出现第一代半导体激 光器，导致了电子技术、光电子技术革 命，产生了半导体微电子学与半导体光 示等方

2、面也得到了应用。矩磁材料和磁记录材料，重要用 作信息记录、无接点开关、逻辑操作和 信息放大。这种材料日勺特点是磁滞回线 呈矩形。通过本次专业认识实习，不仅明白 了以上日勺专业内容，还意识到了自己肩 上日勺重大责任，在后来的专业学习过程 中，一定不辜负老师日勺殷殷期望，努力 学习，把有限的生命投入到无限的电子 信息材料事业日勺奋斗中去。篇二：半导体工艺实习心得体会半导体工艺实习心得体会12023110 王宁这是我们第一次参与工艺实习，这 让我不免有些好奇和激动。记得大一新生研讨课时时候参观 过我们日勺工艺实习间，这次又来，故并 没有感到这个工艺间很陌生。说实在日勺, 就在进入工艺间并换好行头后，

3、自己真 时有种要兢兢业业干一番事业日勺感觉 了，但在之后日勺对准练习这个环节，我 深深日勺怀疑了自己的能力。由于组内男生较多，因此诸多体力 活他们都积极承担了，尤其感谢他们。 组长积极担任起最危险的煮王水日勺这一 道工艺，细心日勺李军和魏行则进入光刻 间进行光刻和甩胶的任务。记得我第一 次尝试光刻对准这道工序日勺时候，对时 一点都不准，之后对照着老师对准日勺模 版，才把握住这道工艺时要领，笨鸟就 要多练习，渐渐日勺我在练习中也增长了 经验。甩胶这一步，首先是自己不能紧 张，手越抖，胶就越不能滴准到吸盘时 正中心，也就甩不均匀。并且一定要心 细，时刻注意保护光刻胶，不能让它曝 光。接着就是扩散日

4、勺工艺，由于加热设 备温度能到达上千度，炉口日勺温度也很 高，因此在送、取硅片的时候都要在高 温下保持住平稳，这样硅片才能正正日勺 放进炉中。工艺实习虽然很短暂，但就在这样 短暂时两天日勺时间里，真的要比在课堂 上听两天日勺课学到的多。篇三：半导体实习汇报实习汇报1 .实习目日勺:根据学院对专科生规定,我在深圳 意法半导体制造（深圳）有限企业，为 期十个月的实习。毕业实习时目的是： 接触实际，理解社会，增强社会主义事 业心，责任感，巩固所学理论，获取专 业实际知识，培养初步的工作能力，详 细如下：培养从事工作的专业技能,理解平 常事物和工作流程，学会工作日勺措施， 理解所学专业的意义。培养艰苦

5、奋斗日勺精神和社会注意 责任感，形成热爱专业，热爱劳动日勺良 好品质。预演和准备就业,找出自身状况和 社会实际所需日勺差距，并在后来日勺实践 期间及时补充和改正，为求职和正式工 作做好从分的知识和能力储备。2 .实习时间：我于2023年7月初到2023年4 月底，为期十个月的实践学习3 .实习单位：3-1 .单位地址和规模：实习单位位于深圳市龙岗宝龙小 区高科大道12号，意法半导体制造（深 圳）有限企业，企业是一种子企业，现 拥有在职工工5000于人，多条生产线，拥有产能70 亿只/年日勺生产能力。3-2.实习期间在单位重要职务：在实习期间，协助工程师处理某些 质量和工艺流程方面日勺问题，以及

6、提高 产品的成品率。3-2 .实习单位日勺历史和发展：意法半导体制造（深圳）有限企业 于2023年9月在深圳市正式注册成立， 由意法半导体企业全资企业意法半导体 （中国）投资有限企业出资成立，企业 的成立是为了深圳市龙岗区开发建设集 成电路封装测试项目，字企业成立以来 到目前，已经拥有5000余名员工，8条 生产线，年产能70亿只/年，波及十几种 产品，重要是封装测试稳压管。3-3 .实习单位.部门.职位:我在意法半导体制造（深圳）有限 企业，TO220部门从事工程师助理，重 要协助工程师处理产品质量问题和工艺 流程。提高产品日勺成品率以及其他方面 时某些试验和跟踪某些项目。4 .实习过程：2

7、023年7月2日，我正式在深圳 意法半导体制造（深圳）有限企业，开 始了为期十个月日勺实习之旅，刚来日勺时 候，有7天日勺培训，初步理解企业日勺运 作方式，重点强调了安全面日勺培训，上 午8： 30分开始上班，到晚上5： 30分 下班，一种星期工作40小时，海港开始培训玩日勺时候，我被分到了 M/D 工位做工程师助理，接触和理解了诸多 工艺流程方面的知识，以及一定日勺管理 措施。刚开始三个星期里面，感觉无所 事事，成天在车间里逛，看，然后就是 看某些资料，懂得第三个星期结束擦爱 初步就具有了工作日勺能力，才被详细安 排工作。M/D工位是半导体封装日勺工位, 有着速度快、精度搞的特点，1800K

8、/天 时产能，刚开始我就负责IPC,监督质 量以及前工位送做试验的某些产品，平 时闲时时候就学学怎么详细操作机器， 学习维修机器，机器保养维护。早M/D 重要是FICO、ACCY机器，都是外国进 口日勺先进机器，运行速度非常快，并且 模具精度非常高。平时拆模具日勺时候我 也帮帮忙，从中可以学到有关模具日勺知 识，进距离日勺安装高进度模具。感觉非 常精密，合模后装上水，一种星期水都 不会漏出来。也许在学校薛计算机，英 语水平也过日勺去，因此工作起来相对比 较轻松，很快就适应了某些繁杂日勺工作。在M/D工位日勺时候，自己常常做 某些总结，学会了某些基本的学习技巧 和沟通能力。以及一定的管理能力，真

9、 真切切日勺体会到了，从学校到社会明显 日勺过度，心态也发生了明显日勺转变。由 刚开始日勺紧张、还怕、对未来日勺恐惊, 目前都会以坦然日勺心态面对。虽然工作 的时候有一定的压力，但对未来的动力 愈加充足。这段时间我在时间中理解社 会，让我学会了某些在课堂上学不到日勺 知识和能力，让我认识了理论和实际日勺 差距并不是在课堂上就能弥补日勺，需要 在实践中不停积累，不停学习，一次次 从错误中吸取教训在不停改善，更好日勺 把理论和实践结合起来，咋这结合日勺过 程就是我们学以致用日勺过程，并且也扩展了自己的视野,充实自 己日勺时候。实习期间，我运用了难得的机会, 努力工作，严格规定自己，在碰到困难 和不

10、懂日勺问题日勺时候，就虚心向师傅请 教，向有经验日勺老员工请教，懂得弄懂 为止。弄清晰原理，弄清晰措施然后在 总结经验，让自己能迅速日勺融入到工作 中去，更好日勺迅速的完毕任务。同步我 也运用其他空余日勺时间学习参照某些有 关的书籍，收索某些理论资料啦完善自 己对工程管理的某些知识，可以更深一 步日勺理解理论，将实际和理论向结合起 来，到达灵活运用的境界。这些也让我 收获颇丰，让我对工作愈加得心应手， 在实习期间该厂恰好是订单较多日勺时 候，也是历年订单最多日勺一年，生产进 行日勺如火如荼。我在跟随工程部日勺时候, 才发现这个部门对产品质量需求及其严 格，对风险评估也异常苛刻。例如一盒 产品有

11、3200粒，不过假如其中发现几 粒贱焊锡或die裂日勺状况，就会讲一整合 3200粒产品所有废弃掉。这也就反应了 企业对产品质量规定及其严格，质量是 企业的第一信誉，是产品日勺形象。企业 严格对产品质量把关，就等于掌握了企 业日勺未来，正怀着这种信念我对产品质 量规定也及其严格，对于不合格的产品 和有风险的产品一律废弃掉，当做废品 处理掉，对有风险日勺产品进行评估，合 格日勺才会被继续生产，不合格日勺就会被 当做废弃无处理掉。通过一种办月在M/D工位日勺探索 和实践，对严谨的工作态度，以及自身 能力日勺提高，上级对我日勺工作非常承认, 于是就让我产于更具挑战性日勺项目，提 iWj VR产品系列

12、日勺成品率。换句话说就 是找出各个工位不合理照成VR系列产 品成品率于98%日勺原因，在反馈到各个部门主管和工程师,采用对应的措 施来处理这些不合理日勺地方。刚开始接 到任务日勺时候，我有点兴奋和紧张，不 过更多日勺是紧张，自己日勺能力能否完毕 这个艰巨的任务，于是变成立了一种团 体，包括各个工位日勺主管，工程师、PM、PM hand, 一起共同努力，终于在三个月 后，成功日勺将VR系列产品日勺成品率提 高到99%左右。这一历史性日勺突破不仅 给企业带来了巨大的效益，也对自己日勺 能力得到肯定，对自己带来了很大日勺自 信心和满足感。同步上级对我日勺努力作 出了肯定，于是在n月份左右，上级领 导

13、决定让我继续跟踪P-MOS系列产品， 提高VP-MOS系列产品日勺成品率，于是 我就开始了新一轮时艰苦卓绝的奋斗。 到4月份虽然没有完毕语气日勺目日勺，不 过P-MOS系列产品日勺成品率相比此前 提高了一大截，这在此前是没有过日勺。 继续努力，我仔细想想原因，其实操作 员日勺压力很大，一种人照看十几台机器, 有时候主线忙不过来，质量方面的检查 也就相对放松了，同步长时间日勺劳动,QC 工位质量检查也相对放松了。由于只来 呢个检查的不到保证，缺陷也就会继续 存在下去，成品率也就得不到提高。同 步企业人流量也非常大，老员工离岗，电子学，有力地推进了计算机、通讯技 术发生主线变化。光电子技术是现代信

14、息技术日勺基 石，二H一世纪是光电子时代。以神化 钱、磷化锢等化合物为代表日勺第二代半 导体材料是新型激光器和光探测器用材 料。半导体发光二极管日勺出现，其意义 不亚于爱迪生发明白炽灯。半导体灯小 巧可靠、寿命长，驱动电压低，发光效 率高。它可以发出赤橙黄绿青蓝紫等日勺 全彩色光和白色，它占尽了照明灯、指 示灯时所有长处。半导体光照明日勺主体 材料重要是第二代、第三代半导体材料, 尤其是第三代半导体材料氮化钱，它是 唯一能发出蓝光和白光日勺材料。磁性材料、电子陶瓷材料广泛应用 于计算机、通信、航空等各个领域，是 新型器件日勺基础材料。(一)半导体材料(semiconductor materia

15、l)导电能力介于导体与绝缘体之间 新员工上岗，诸多新员工对工艺流程不 熟悉，也照成了诸多产品日勺缺陷，最重 要日勺还是机器老化很严重，有些机器都 20数年了，机器精度和能量输出相对不 是很稳定，这是对产品成品率威胁最大 的原因之一，同步这也是很难控制大日勺, 因此提高成品率就要相对技术员加强培 训，让每一种人理解工艺流程并且提高 自身的能力，规定每个人都必须按照工 艺流程操作，对有风险日勺lot必须hond 住，对出料前必须做检查，并且在系统 中写清晰缺陷数量，做日勺物质称为半导体。半导体材料是一类 具有半导体性能、可用来制作半导体器 件和集成电的电子材料，其电导率在10 (U-3)10 (U

16、-9) 欧姆/厘米范围内。半导体材料日勺电学性 质对光、热、电、磁等外界原因日勺变化 十分敏感，在半导体材料中掺入少许杂 质可以控制此类材料日勺电导率。正是运 用半导体材料的这些性质，才制造出功 能多样的半导体器件。半导体材料是半 导体工业的基础，它日勺发展对半导体技 术日勺发展有极大日勺影响。特性和参数半导体材料日勺导电性 对某些微量杂质极敏感。纯度很高日勺半 导体材料称为本征半导体，常温下其电 阻率很高，是电日勺不良导体。在高纯半 导体材料中掺入合适杂质后，由于杂质 原子提供导电载流子，使材料日勺电阻率 大为减少。这种掺杂半导体常称为杂质 半导体。杂质半导体靠导带电子导电日勺 称N型半导体

17、，靠价带空穴导电日勺称P 型半导体。不一样类型半导体间接触（构 成PN结）或半导体与金属接触时，因电 子（或空穴）浓度差而产生扩散，在接 触处形成位垒，因而此类接触具有单向 导电性。运用PN结日勺单向导电性，可以 制成具有不一样功能日勺半导体器件，如 二极管、三极管、晶闸管等。此外，半 导体材料的导电性对外界条件（如热、 光、电、磁等原因）日勺变化非常敏感， 据此可以制造多种敏感元件，用于信息 转换。种类常用日勺半导体材料分为元素 半导体和化合物半导体。元素半导体是 由单一元素制成日勺半导体材料。重要有 硅、错、硒等，以硅、楮应用最广。用 硅制造日勺半导体器件，耐高温和抗辐射 性能很好，尤其合

18、适制作大功率器件。 因此，硅已成为应用最多日勺一种增导体 材料，目前日勺集成电路大多数是用硅材 料制造日勺。化合物半导体由两种或两种 以上的元素化合而成日勺半导体材料。它的种类诸多，重要的有碑化钱、磷化锢、睇化锢、碳化硅、硫 化镉及钱碑硅等。其中碑化像是制造微 波器件和集成电日勺重要材料。碳化硅由 于其抗辐射能力强、耐高温和化学稳定 性好，在航天技术领域有着广泛日勺应用。制备不一样日勺半导体器件对半导 体材料有不一样日勺形态规定，包括单晶 的切片、磨片、抛光片、薄膜等。常用 时半导体材料制备工艺有提纯、单晶日勺 制备和薄膜外延生长。所有的半导体材 料都需要对原料进行提纯，规定的纯度 在6个“9

19、”以上,最高达11个“9”以上。 提纯的措施分两大类，一类是不变化材 料日勺化学构成进行提纯，称为物理提纯; 另一类是把元素先变成化合物进行提 纯，再将提纯后日勺化合物还原成元素， 称为化学提纯。物理提纯日勺措施有真空 蒸发、区域精制、拉晶提纯等，使用最 多日勺是区域精制。化学提纯日勺重要措施 有电解、络合、萃取、精储等，使用最 多日勺是精储。由于每一种措施均有一定 日勺局限性，因此常使用几种提纯措施相 结合的工艺流程以获得合格日勺材料。绝 大多数半导体器件是在单晶片或以单晶 片为衬底的外延片上作出日勺。成批量日勺 半导体单晶都是用熔体生长法制成日勺。 直拉法应用最广，80%日勺硅单晶是用此

20、法生产日勺，其中硅单晶的最大直径已达 300毫米。在熔体中通入磁场的直拉法 称为磁控拉晶法，用此法已生产出高均 匀性硅单晶。悬浮区熔法日勺熔体不与容 器接触，用此法生长高纯硅单晶。用多 种措施生产日勺体单晶再通过晶体定向、 滚磨、作参照面、切片、磨片、倒角、 抛光、腐蚀、清洗、检测、封装等所有 或部分工序以提供对应的晶片。在单晶 衬底上生长单晶薄膜称为外延。外延日勺 措施有气相、液相、固相、分子束外延 等。工业生产使用的重要是化学气相外延，另一方面是液相外 延。金属有机化合物气相外延和分子束 外延则用于制备量子阱及超晶格等微构 造。非晶、微晶、多晶薄膜多在玻璃、 陶瓷、金属等衬底上用不一样类型

21、日勺化 学气相沉积、磁控溅射等措施制成。（二）磁性材料磁性材料,重要是指由过度元素铁, 钻，银及其合金等可以直接或间接产生磁 性日勺物质。从应用功能上讲，磁性材料 分为：软磁材料、永磁材料、磁记录-矩 磁材料、旋磁材料等等种类。软磁材料、 永磁材料、磁记录-矩磁材料中既有金属 材料又有铁氧体材料。磁性材料的应用 很广泛，变压器磁性材料是生产、生活、 国防科学技术中广泛使用日勺材料。如制 造电力技术中的多种电机、变压器，电 子技术中日勺多种磁性元件和微波电子 管，通信技术中日勺滤波器和增感器，国 防技术中的磁性水雷、电磁炮，多种家 用电器等。止匕外，磁性材料在地矿探测、 海洋探测以及信息、能源、

22、生物、空间 新技术中也获得了广泛的应用。磁性材 料日勺用途广泛。重要是运用其多种磁特 性和特殊效应制成元件或器件；用于存 储、传播和转换电磁能量与信息，或在 特定空间产生一定强度和分布日勺磁场； 有时也以材料日勺自然形态而直接运用。 磁性材料在电子技术领域和其他科学技 术领域中均有重要的作用，可用于电声、 电信、电表、电机中，还可作记忆元件、 微波元件等。可用于记录语言、音乐、 图像信息的磁带、计算机日勺磁性存储设 备、乘客乘车时凭证和票价结算的磁性 卡等。软磁材料指在较弱的磁场下，易磁 化也易退磁日勺一种铁氧体材料。软磁材 料，它日勺功能重要是导磁、电磁能量日勺 转换与传播。软磁材料日勺应用

23、甚广,重要用于磁性天线、电感器、 变压器、磁头、耳机、继电器、振动子、 电视偏转辗、电缆、延迟线、传感器、 微波吸取材料、电磁铁、加速器高频加 速腔、磁场探头、磁性基片、磁场屏蔽、高频淬火聚能、电磁吸盘、磁敏元件等。 重要用作多种电感元件，如滤波器、变 压器及天线日勺磁性和磁带录音、录像日勺 磁头O永磁材料有合金、铁氧体和金属间 化合物三类。永磁材料有多种用途。 基于电磁力作用原理日勺应用重要有：扬 声器、话筒、电表、按键、电机、继电 器、传感器、开关等。基于磁电作用 原理时应用重要有：磁控管和行波管等 微波电子管、显像管、钛泵、微波铁氧 体器件、磁阻器件、霍尔器件等。基 于磁力作用原理日勺应用重要有：磁轴承、 选矿机、磁力分离器、磁性吸盘、磁密 封、磁黑板、玩具、标牌、密码锁、复 印机、控温计等。其他方面的应用尚有: 磁疗、磁化水、磁麻醉等。永磁铁氧体 晶体经典代表是钢铁氧体BaFel2O19o 这种材料性能很好，成本较低，不仅可 用作电讯器件如录音器、机及多种仪 表日勺磁铁，而已在医学、生物和印刷显