生产单晶硅制备及其应用工艺技术模板.doc

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1、01805741.1 单晶硅晶片及单晶硅制造方法 2 01806781.6 绝缘体上单晶硅(SOI)材料制造方法 3 02111781.0 分离单晶硅埚底料中石英工艺 4 03112137.3 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成制作方法 5 02802101.0 直径300mm及300mm以上单晶硅晶片及其制造方法 6 96120692.6 抑制长大直径单晶硅生长条纹直拉生长装置 7 87103486 掺金、掺铂单晶硅交换热敏电阻及其制作方法 8 88108387.9 单晶硅制造方法和设备 9 89103289.4 一个单晶硅压力传感器制造方法及其结构 10 90100791.9 单晶硅生产装

2、置 11 90102475.9 制造单晶硅设备 12 91102921.4 单晶硅直径测定法及其设备 13 91102922.2 单晶硅直径控制法及其设备 14 91102924.9 单晶硅生产设备 15 91102923.0 单晶硅生产设备 16 91102532.4 单晶硅生产设备 17 91102343.7 制造单晶硅装置 18 95119376.7 单晶硅上大面积(100)取向金刚石膜生长方法 19 96102527.1 单晶硅锭及其制造方法 20 97113523.1 提拉单晶硅装置 21 97120661.9 直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧一氧化硅探针 22 97121626.

3、6 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法 23 98100416.4 经过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片方法及其产品 24 98116827.2 单晶硅纳米晶立方氮化硼薄膜类PN结及其制作方法 25 97113737.4 低浓度钙杂质石墨支撑容器及其在制造单晶硅中应用 26 98121350.2 单晶硅片抗机械力提升 27 98807859.7 生长富空位单晶硅热屏蔽组件和方法 28 98807993.3 用于单晶硅生长非Dash缩颈法 29 99801049.9 形成单晶硅层方法和制造半导体器件方法 30 99812088.X 热退火后低缺点密度单晶硅 31 99811709.9 从低缺

4、点密度单晶硅上制备硅绝缘体结构 32 01131737.X 标定单晶硅晶圆晶向方法 33 00812335.7 制备含有均匀热过程单晶硅方法 34 02111221.5 单晶硅片衬底磁控溅射铁膜合成二硫化铁制备方法 35 10133581.6 单晶硅高效复合切割方法及其切割系统 36 10047776.9 新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池 37 10180002.3 过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻 38 10185125.6 单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池 39 10185126.0 单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池 40 10185123.7 单晶硅太阳能电池

5、制造方法及单晶硅太阳能电池 41 10185124.1 单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池 42 10157175.3 超声波清洗单晶硅片方法及其装置 43 10151631.3 使用金属污染及热处理识别单晶硅中晶体缺点区方法 44 10162854.5 可反射出色域电极结构和单晶硅面板和显示装置 45 80050178.6 单晶硅生长方法 46 10018889.6 单晶硅薄膜及其组件制备方法 47 10192803.1 单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构 48 10063644.5 提升单晶硅太阳能电池减反射膜质量方法 49 10060274.4 改善半导体单晶硅研磨硅片平行度方法及其

6、装置 50 85100591 非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置 51 85100856 制备单晶硅片表面完整层新路径 52 02281654.2 一个直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器 53 89213391.0 区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 54 9311.6 单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽 55 96236137.2 单晶硅片各向异性腐蚀夹具 56 95224595.7 用于制备薄膜单晶硅辐射式加热器 57 97239008.1 单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置 58 00224737.2 单晶硅衬底双面抛光片 59 00225900.1 单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置 60 01265431

7、.0 低氧碳单晶硅复投料自卸机构 61 9053.X 一个单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽 62 2576.8 超声波清洗单晶硅片装置 63 10092027.4 一个锌掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻 64 10116749.4 一个锰掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻 65 10096670.4 含有均匀空位缺点单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备 66 03808958.0 单晶硅制造方法及单晶硅和硅晶片 67 03810538.1 单晶硅晶片及外延片和单晶硅制造方法 68 10023460.7 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜方法 69 10023461.1 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米

8、复合薄膜方法 70 03818379.X 提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚方法 71 10062693.8 涂覆有金属电镀层单晶硅基片和垂直磁统计介质 72 10059736.7 直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法和使用该掺杂剂单晶硅制造方法 73 03159798.X 单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置 74 03132132.1 平板单晶硅表面改性方法 75 01821381.2 用于制备低铁污染单晶硅装置和方法 76 01819895.3 用于控制空位为主单晶硅热过程方法 77 02131185.4 一个直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器 78 02804207.7 用于

9、制备含有改善栅氧化层完整性单晶硅方法 79 02155236.3 单晶硅太阳能电池表面结构及其制作方法 80 10123043.0 硅片和生产单晶硅方法 81 10001382.6 单晶硅膜制造方法 82 10108926.4 单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜制备方法 83 10124860.8 经过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片方法及其产品 84 10112207.9 单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜制备方法 85 10004057.4 一个生产硅铁、硅钙和单晶硅原料加工方法 86 10068987.1 单晶硅液晶显示面板驱动系统和方法 87 10011753.3 单一轴向排布单晶硅纳

10、米线阵列制备方法 88 10042603.4 单晶硅微机械加工电容式麦克风及其制造方法 89 10050335.5 用于纳米光子技术单晶硅纳米膜制备方法 90 10027350.8 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜方法 91 10027349.5 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜方法 92 10098526.9 纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法 93 80108637.2 利用坩埚旋转以控制温度梯度制备单晶硅方法 94 10088609.5 一个单晶硅抛光片热处理工艺 95 10024981.9 单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜制备方法 96 100249

11、80.4 单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜制备方法 97 10026855.7 单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜制备方法 98 10010099.9 对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪 99 10054245.8 p型单晶硅片表面处理方法 100 10054246.2 n型单晶硅片表面处理方法 101 10043184.5 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏制备方法 102 10043185.X 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器制备方法 103 10106431.1 掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法 104 10043186.4 单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚制备方法 105

12、 10043187.9 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒制备方法 106 10099146.1 单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法 107 10092880.0 单片单晶硅微机械加工电容式压力传感器 108 10092319.2 反射式单晶硅液晶面板和使用此液晶面板投影装置 109 10048750.1 一个在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜方法 110 10094904.6 单晶硅切方机构 111 10111453.2 制作单晶硅太阳电池绒面方法 112 10111455.1 单晶硅太阳电池绒面制备方法 113 10136041.4 单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气和氩气

13、回收工艺 114 10149906.5 生产单晶硅方法 115 10105331.7 基于霍夫变换直拉单晶硅棒直径测量方法 116 10105332.1 直拉法单晶硅生长过程中熔体液面位置检测方法 117 10037043.7 在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜方法 118 10037045.6 单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜制备方法 119 10017915.3 单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩制备方法 120 10080114.7 反射式单晶硅液晶面板 121 80006256.2 用于单晶硅连续生长系统 122 10040549.3 单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥方法和它一体化

14、处理机 123 10023967.1 一个单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽 124 10028783.X 形成纳米单晶硅方法和非挥发性半导体存放器制造方法 125 10029378.X 单晶硅切割废液处理回收方法 126 10106433.5 单晶硅培育工艺中溶液液面位置监视装置 127 10101680.0 单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法 128 10060641.0 一个低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺 129 10083479.4 单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池 130 10023591.9 单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法 131 10011318.

15、4 单晶硅片水基清洗剂 132 10064876.2 一个双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 133 10064879.6 一个静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关 134 10090977.1 单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池 135 10111608.6 单晶硅炉传动装置 136 1006.5 单晶硅太阳能电池表面处理用制绒剂及其制造方法 137 10040645.2 混合图形化单晶硅绝缘层上锗结构、方法及应用 138 10079251.8 单晶硅制备炉石英埚增容加料装置 139 10042332.0 磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面方法 140 80051077.5 单晶硅晶片制造

16、方法 141 80051311.4 单晶硅晶片制造方法 142 10145905.2 单晶硅提拉方法 143 10213369.5 超净工作台及单晶硅用原料制造方法 144 10072970.7 单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法 145 10072972.6 金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法 146 10171923.8 一个掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法 147 10122228.2 一个基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性方法 148 10170672.1 一个单晶硅片制绒方法 149 10234626.3 一个单晶硅加料装置 150 1011.0 一个在单晶硅片表

17、面制备ZrO2复合薄膜方法 151 10122243.7 一个制备单晶硅绒面碱腐蚀溶液及方法 152 10163097.2 单晶硅太阳电池制绒方法 153 10163098.7 单晶硅太阳电池绒面制备方法 154 10162544.2 一个单晶硅棒生产工艺及设备 155 10240275.7 基于单晶硅PN结非制冷红外探测器阵列及其制备方法 156 10220602.2 透光单晶硅太阳电池制造方法 157 80017871.2 含有单晶硅电极电容性微机电传感器 158 80020983.3 单晶硅片COP产生原因判定方法 159 80021544.4 单晶硅片COP评价方法 160 10183

18、113.4 太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法 161 10001026.7 单晶硅薄膜太阳电池 162 80024275.7 单晶硅制造系统及使用该系统单晶硅制造方法 163 10009001.1 单晶硅衬底多结太阳电池 164 10095528.0 一个太阳能级单晶硅棒抛光处理方法 165 10024890.9 一个制造掺镓单晶硅太阳能电池磷扩散方法 166 10048384.3 一个机床刀具用单晶硅片表面涂层Si3N4复合薄膜方法 167 10097597.5 一个在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面方法 168 10026142.4 利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒方法及其装置 169 1

19、0048383.9 一个在单晶硅片表面制备Si3N4复合薄膜方法 170 80044557.3 含有逆碳分布低缺点碳替换单晶硅层 171 80037848.X 非易失性电荷俘获存放器件单晶硅制造工艺 172 10059272.8 一个基于摩擦诱导结构单晶硅表面纳米凸起结构加工方法 173 10049740.3 单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜制备方法 174 10097219.7 单晶硅掺杂剂生产工艺 175 10008161.4 单晶硅半导体晶片及其制造方法 176 10085898.6 一个用于单晶硅绒面制备腐蚀液及单晶硅绒面制备方法 177 10145260.7 单晶硅薄膜

20、组件制备方法 178 1021.6 一个激光精密加工单晶硅方法 179 10099495.7 一个单晶硅片清洗方法 180 10123639.3 太阳能级6英吋无位错单晶硅制备方法 181 10099989.5 掺氮定向凝固铸造单晶硅及其制备方法 182 10099991.2 掺锗定向凝固铸造单晶硅及其制备方法 183 10099990.8 在氮气下铸造氮浓度可控掺氮单晶硅方法 184 10099992.7 在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅方法 185 10088732.X 一个绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统 186 10181549.4 一个降低绒面单晶硅片表面反射率方法 1

21、87 10124161.6 太阳能单晶硅切片工艺 188 10126810.6 单晶硅液晶元件及其和线路板组装结构 189 10181550.7 一个用于单晶硅绒面制备碳酸盐和苛性碱混合溶液 190 10139507.4 二氧化硅玻璃坩埚和用二氧化硅玻璃坩埚提拉单晶硅方法 191 80006135.1 单晶硅芯片制造方法 192 10091826.2 一个制备单晶硅绒面腐蚀液及方法 193 10091827.7 一个制备单晶硅绒面方法 194 10183007.0 制备单晶硅绒面方法 195 10152753.3 一个低表面反射率单晶硅太阳电池绒面制作工艺 196 10182714.8 一个改

22、善型单晶硅棒切断机 197 10182715.2 一个改善用于单晶硅棒夹持机构 198 10182701.0 一个单晶硅棒切方工艺 199 10196144.8 在单晶硅基片表面制备Co3O4复合薄膜方法及用途 200 10187632.2 用于单晶硅片化学机械抛光抛光液 201 10172897.5 单晶硅半导体晶片及其制造方法 202 10197094.5 单晶硅片表面磷酸基硅烷-CdSe复合薄膜制备方法 203 10035633.5 一个用于单晶硅绒面制备正磷酸盐和苛性碱混合溶液 204 80022738.0 重掺杂单晶硅衬底中氧沉淀抑制 205 10186977.9 非晶硅/单晶硅异质

23、结太阳能电池铝背电场制备方法 206 10205614.5 嵌入式单晶硅腔体六边形硅膜压阻式压力传感器及方法 207 10057250.8 形成交替P型和N型单晶硅结构方法 208 10057253.1 提升SONOS数据保持能力单晶硅无损伤隧穿窗口集成方法 209 10027873.0 一个大直径低氧碳太阳能单晶硅片制备方法 210 10259895.2 光伏用单晶硅掺杂方法 211 10099022.7 一个单晶硅太阳能电池绒面制作方法 212 10232677.X 单晶硅棒线开方夹具 213 10035634.X 一个用于单晶硅绒面制备添加剂 214 10100178.2 CZ单晶硅生产

24、中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法 215 10182605.6 单晶硅太阳电池绒面上pn结杂质浓度分布测量方法 216 10311756.7 一个多工位单晶硅方形棒平面磨削装置 217 10309453.1 低纯度单晶硅太阳能电池制造方法 218 10309461.6 一个低纯度单晶硅太阳能电池制造方法 219 10157192.6 一个用于制备单晶硅绒面酸腐蚀溶液及其使用方法 220 10107257.1 高纯多晶硅棒作为供料棒在单晶硅区域熔炼法中应用和制备方法 221 10175320.X 有效控制单晶硅中碳含量方法 222 10046405.3 指状交叉背电极单晶硅太阳电池在聚光应用中封装结

25、构 223 10204590.4 一个单晶硅磨面滚圆磨削方法 224 10239837.6 用于单晶硅生长过程控制智能PID控制方法及其系统 225 10197123.8 一个在单晶硅片表面制备Co3O4复合薄膜方法 226 10240302.0 一个太阳能电池单晶硅片界面钝化方法 227 10263714.0 含有单晶硅在硅化物上集成电路组件及其制造方法 228 10096021.7 单晶硅埚底料中石英分离工艺 229 10104303.X 掺锗重掺磷直拉单晶硅片内吸杂结构制备工艺 230 10114326.9 太阳能电池用掺镓铟单晶硅材料及其制备方法 231 10138362.9 一步法制

26、备单晶硅太阳能电池绒面方法 232 10161287.8 单晶硅添加剂制绒液 233 10080359.3 由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置及方法 234 10127197.4 用于制造单晶硅片绒面加热装置和方法 235 10187541.1 一个多晶硅或单晶硅用坩埚涂层及其制备方法 236 10177182.1 表面含有超疏水性纳米硅线阵列单晶硅片及其制备方法 237 10195095.9 单晶硅片碱性制绒液添加剂及使用方法 238 10195103.X 单晶硅片制绒液添加剂及使用方法 239 10194517.0 一个太阳能电池单晶硅片制造方法 240 10176628.9 一

27、个次单晶硅铸锭炉双腔体隔热笼 241 10198142.5 一个准单晶硅铸锭方法 242 10044001.5 改善单晶硅太阳能电池减反射膜特征方法 243 10259098.4 一个单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构 244 10280712.5 由单晶硅和多晶硅切割废料中回收硅和碳化硅方法 245 10500429.9 单晶硅炉电源用滤波赔偿装置 246 10284947.1 一个用于生长铸造单晶硅坩埚及衬底片 247 10273954.1 一个降低单晶硅位错方法248 10057624.6 经过对称折叠梁弹簧解耦单晶硅MEMS陀螺仪 249 10235669.0 台阶式顶层单晶硅绝缘体上硅

28、衬底硅片加工方法 250 10226437.9 单晶硅太阳能电池表面微区可控修饰工艺 251 10526866.8 一个单晶硅片制绒液及其用于制绒方法 252 80107029.7 单晶硅拉晶用石英坩埚及其制造方法 253 10520649.8 单晶硅腐蚀剂制备方法、对凸角硅进行腐蚀方法 254 10238046.9 单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液 255 10540745.9 单晶硅太阳能电池片制绒液 256 03231427.2 双面光照单晶硅太阳电池 257 6510.3 单晶硅切方装置 258 3172.6 反射式单晶硅液晶面板和使用此液晶面板投影装置 259 2303.8 单晶硅棒

29、切方滚磨机床 260 3851.2 直拉法单晶硅生产用石英坩埚 261 0444.7 单晶硅棒切方滚磨机床 262 3749.0 N型基体单晶硅太阳电池 263 7810.6 区熔单晶硅炉 264 7812.5 区熔单晶硅生长炉 265 7926.X 单晶硅炉控制装置 266 7811.0 软轴单晶硅炉 267 7100.0 丝网印刷铝背发射结N型单晶硅太阳电池 268 4195.X 一个用于直拉单晶硅制备中掺杂装置 269 1913.X 单晶硅取锭运锭车 270 5030.7 改善半导体单晶硅研磨硅片平行度装置 271 0642.7 软轴单晶硅炉 272 0659.2 一个单晶硅炉 273

30、6553.2 大面积超薄型高效率单晶硅双面照光太阳电池 274 9321.5 一个降低单晶硅炉能耗装置 275 9320.0 一个提升单晶硅炉晶体生长速度装置 276 9366.2 单晶硅晶体切片厚度控制器 277 6444.9 单晶硅加料装置 278 6095.4 单晶硅加料器 279 6661.8 一个装夹单晶硅工件四爪自定心夹具 280 6660.3 一个数控单晶硅专用磨床 281 8764.1 一个单晶硅生长炉 282 8952.4 一个单晶硅磨圆装置 283 20232271.X 便于线切割单晶硅棒 284 20303350.5 一个单晶硅热场二次加料装置 285 6586.4 由硅

31、矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置 286 1825.7 单晶硅运锭车 287 1831.2 一个单晶硅生长炉加热系统 288 1827.6 一个单晶硅生产设备真空装置 289 8379.X 单晶硅棒举升机 290 1472.6 利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒设备 291 2970.4 CGC单晶硅晶体生长控制器 292 5133.5 单晶硅高效聚光薄片太阳电池 293 1533.X 超高频太阳能级单晶硅多晶硅原材料自动分拣机 294 9627.5 连续浇铸单晶硅带设备 295 20301821.6 一个直拉法制备单晶硅所使用硅籽晶 296 3608.1 单晶硅生产用异形石墨坩埚 2

32、97 6043.0 一个180186瓦72片单晶硅电池片组件及其使用单晶硅电池片 298 3291.1 一个用于切断单晶硅棒料组合夹具 299 5175.X 一个单晶硅棒 300 5176.4 一个单晶硅棒 301 5177.9 一个单晶硅棒 302 1189.1 一个太阳能单晶硅制备用磁场装置 303 8299.2 一个用于单晶硅棒夹持机构 304 7955.4 一个提升单晶硅炉投料量装置 305 7956.9 一个单晶硅炉温场稳定装置 306 8298.8 一个单晶硅棒切断机 307 9518.9 单晶硅拉制两截可挂式热屏 308 2955.8 单晶硅棒料开方检验设备组合付款方法：1、本套技术资料220元2、资料全部为电子版，部分资料包含专利和科研结果资料，能够打印。专利技术资料包含专利相关工艺步骤，资料发明人专利批号全部有，资料真实可靠，为你创业保驾护航，资料能够邮箱发送或qq传送。也能够邮寄光盘技术资料。3、本资料全方面价格优惠，资料随时更新，无偿为你两年内提供中国能有相关技术！