压电效应与压电方程市公开课一等奖百校联赛特等奖课件.pptx
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1、压电效应与压电方程压电效应与压电方程Piezoelectric effectPiezoelectric 第1页v压电效应基本现象压电效应基本现象v石英晶体压电效应,压电方程组石英晶体压电效应,压电方程组v压电常数与对称性压电常数与对称性v压电晶体切割压电晶体切割,v四类压电方程组,旋转坐标系,四类压电方程组,旋转坐标系,v次级压电效应,压电常数之间关系次级压电效应,压电常数之间关系v机电耦合系数机电耦合系数主要内容主要内容 第2页压电效应基本现象压电效应基本现象通俗来说通俗来说:压电效应是指材料在压力作用下产生压电效应是指材料在压力作用下产生电信号效应电信号效应;或者在电场作用下或者在电场作用
2、下,材料发生机械形材料发生机械形变现象。变现象。压电效应有严格定义,上述说法只是一个简单直压电效应有严格定义,上述说法只是一个简单直观描述。观描述。压电效应由压电方程描写;材料压电性由压电常压电效应由压电方程描写;材料压电性由压电常数决定。数决定。第3页压电效应基本现象压电效应基本现象晶体介电常数、弹性常数与晶体对称性亲密相关。晶体介电常数、弹性常数与晶体对称性亲密相关。一样,压电常数也与晶体对称性亲密相关。所以一样,压电常数也与晶体对称性亲密相关。所以不是从压电晶体上随意切下一块晶片,就能做压不是从压电晶体上随意切下一块晶片,就能做压电元件,而是要依据该压电晶体压电常数来设计电元件,而是要依
3、据该压电晶体压电常数来设计晶片切割。晶片切割。第4页正正压电效应压电效应当压电晶体受到外力而发生形变时,在它一当压电晶体受到外力而发生形变时,在它一些表面上出现与外力成些表面上出现与外力成线性百分比线性百分比电荷积累,电荷积累,这个现象称为压电效应。这个现象称为压电效应。是一个线性响应!是一个线性响应!第5页石英晶体压电效应石英晶体压电效应现以现以 石英晶体为例,因为石英晶体为例,因为 石英晶体在石英晶体在18801880年就发觉了压电效应,是最早发觉压电年就发觉了压电效应,是最早发觉压电晶体,也是当前最好和最主要压电晶体之一。晶体,也是当前最好和最主要压电晶体之一。石英晶体最大特点是:石英晶
4、体最大特点是:性能稳定,频率温度系数低(能够做到频率性能稳定,频率温度系数低(能够做到频率温度系数靠近于零),在通讯技术中有广泛温度系数靠近于零),在通讯技术中有广泛地应用。地应用。第6页图图4-14-1:石英晶体属于六角晶系石英晶体属于六角晶系3232点群,它坐标系点群,它坐标系o-xyzo-xyz。第7页光轴光轴 电轴电轴 机械轴机械轴 z z轴轴与与天天然然石石英英晶晶体体上上、下下顶顶角角连连线线重重合合(即即与与晶晶体体C C轴轴重重合合)。因因为为光光线线沿沿z z轴轴经经过过石石英英晶晶体体时时不不产生双折射,故称产生双折射,故称z z轴为石英晶体轴为石英晶体光轴光轴。x x轴轴
5、与与石石英英晶晶体体横横截截面面上上对对角角线线重重合合(即即与与晶晶体体a a轴轴重重合合),因因为为沿沿x x方方向向对对晶晶体体施施加加压压力力时时,产产生生压电效应最显著,故常称压电效应最显著,故常称x x轴为石英晶体轴为石英晶体电轴电轴。z z轴轴与与z z轴轴方方向向要要求求后后,y y轴轴方方向向也也就就定定了了,如如图图4-4-1 1 a a所所表表示示。y y轴轴与与石石英英晶晶体体横横截截面面对对边边中中点点连连线线重合,常称为重合,常称为机械轴机械轴。第8页在在晶晶体体x x轴轴垂垂直直方方向向上上,切切下下一一块块薄薄晶晶片片,晶晶片片面面与与x x轴轴垂垂直直,如如图
6、图4-1b4-1b所所表表示示,称称为为x x切切割割。更更详详细细说说法法是是:假假如如晶晶片片厚厚度度沿沿x x轴轴方方向向,长长度度沿沿y y方方向向,则则称称为为xyxy切切割割。该该晶晶片片长长度度为为l l,宽宽度度为为l lw w,厚厚度度为为l lt t,与与x x轴轴垂垂直直二二个个晶晶面面上上涂涂上上电电极极,并并与与冲冲击击电电流流计计连连接接(测测量量电电量量用用),如如图图4-1c4-1c所所表表示。示。第9页现分别进行以下试验现分别进行以下试验(1 1)当当晶晶片片受受到到沿沿x x轴轴方方向向力力FxFx作作用用时时,经经过过冲冲击击电电流流计计,可可测测出出在在
7、x x轴轴方方向向电电极极面面上上电电荷荷q q(1)(1)1 1。并并发发觉觉x x轴轴方方向向电电极极面面上上电电荷荷密密度度(q q(1)(1)1 1/ll/llw w)大大小小与与x x轴轴方方向向单单位位面面积积上上力力(Fx/llFx/llw w)成正比,即:)成正比,即:第10页因因 为为(q q(1)(1)1 1/ll/llw w)是是 极极 化化 强强 度度 分分 量量 P P(1)(1)1 1;(Fx/llFx/llw w)为)为x x方向应力方向应力X X1 1,于是得到,于是得到(4-1)(4-1)式式中中,P P(1)(1)1 1为为晶晶片片只只受受到到x x方方向向
8、应应力力X X1 1作作用用时时,在在x x方方向向产产生生极极化化强强度度分分量量,百百分分比比系系数数d d1111称称为为压压电常数。电常数。即:即:第11页(2 2)当当晶晶片片受受到到沿沿y y方方向向力力F Fy y作作用用时时,经经过过冲冲击击电电流流计计,可可测测出出在在x x轴轴方方向向电电极极面面上上电电荷荷q q(2)(2)1 1,并并发发觉觉x x方方向向电电极极面面上上电电荷荷密密度度(q q(2)(2)1 1/ll/llw w)大大小小与与y y方方向向单单位位面面积积上上力力(Fx/lFx/lw wl lt t)成成正正比,因为(比,因为(q q(2)(2)1 1
9、/ll/llw w)是极化强度分量)是极化强度分量P P(2)(2)1 1。第12页(F Fy y/l/lw wl lt t)为)为y y方向应力方向应力X X2 2,于是有,于是有式中,式中,P P(2)(2)1 1为晶片只受到为晶片只受到y y方向应力方向应力X X1 1作用时,作用时,在在x x方向产生极化强度分量,百分比系数方向产生极化强度分量,百分比系数d d1212也也称为压电常数。称为压电常数。即:即:第13页试试验验上上还还发发觉觉当当X X1 1=X=X2 2时时,存存在在P P(2)(2)1 1=-P-P(1)(1)1 1,由由此此可可得得d d1111=-d=-d1212
10、,即即石石英英晶晶体体压压电电常常数数d d1212大大小小等等于压电常数于压电常数d d1111负值。负值。第14页第15页(3 3)当晶片受到沿)当晶片受到沿z z方向力方向力F Fz z作用时,经过冲击作用时,经过冲击电流计,并发觉电流计,并发觉x x方向电极面上不产生电荷。即方向电极面上不产生电荷。即有有(4-3)(4-3)因为因为X X3 3 0 0,故压电常数,故压电常数d d1313=0=0。由此可见,对于。由此可见,对于x x切割石英晶片,当切割石英晶片,当z z方向受到应力方向受到应力X X3 3作用时,在作用时,在x x方向并不产生压电效应。方向并不产生压电效应。第16页(
11、4 4)当晶片受到切应力)当晶片受到切应力X X4 4作用时,经过冲击电作用时,经过冲击电流计,可测出在流计,可测出在x x方向电极面上面电荷密度方向电极面上面电荷密度(q q(4)(4)1 1/ll/llw w)=P=P(4)(4)1 1,并发觉,并发觉P P(4)(4)1 1与与X X2 2成正,成正,于是于是(4-4)(4-4)式中,式中,P P(4)(4)1 1为晶片只受切应力为晶片只受切应力X X4 4作用时,在作用时,在x x方向产生极化强度分量,百分比系数方向产生极化强度分量,百分比系数d d1414称为压称为压电常数。电常数。第17页第18页(5 5)当晶片受到切应力)当晶片受
12、到切应力X X5 5或或X X6 6作用时,经过冲作用时,经过冲击电流计,并发觉击电流计,并发觉x x方向电极面上不产生电方向电极面上不产生电荷,于是有荷,于是有(4-5)(4-5)因为因为X X5 5 0 0,X X6 6 0 0,故压电常数,故压电常数d d1515=0=0,d d1616=0=0,由,由此可见,对于此可见,对于x x切割石英晶片,当受到切应力切割石英晶片,当受到切应力X X5 5或或X X6 6作用时,在作用时,在x x方向并不产生压电效应。方向并不产生压电效应。第19页综合上述试验结果得到,选综合上述试验结果得到,选x x方向为电极面,方向为电极面,当电场当电场E=0E
13、=0时,应力张量时,应力张量X X对对x x方向极化强度分方向极化强度分量量P P1 1贡献为:贡献为:第20页当选当选y y方向为电极面,重复上述试验,当电场方向为电极面,重复上述试验,当电场E=0E=0时,时,应力张量应力张量X X对对y y方向极化强度分量方向极化强度分量P P2 2贡献为:贡献为:(4-74-7)即石英晶体压电常数即石英晶体压电常数d d2525=-d=-d1414,d d2626=-2d=-2d1111。第21页当选当选z z方向为电极面,重复上述试验,当电场方向为电极面,重复上述试验,当电场E=0E=0时,应力张量时,应力张量X X对对z z方向极化强度分量方向极化
14、强度分量P P3 3贡献贡献为:为:(4-84-8)第22页依据(依据(4-64-6)、()、(4-74-7)以及()以及(4-84-8)式结果,可)式结果,可得到石英晶体正向压电效应表示式用矩阵表示为:得到石英晶体正向压电效应表示式用矩阵表示为:第23页在压电物理中惯用电位移在压电物理中惯用电位移D D代替极化强度代替极化强度P P,当,当电场电场E=0E=0时,时,D=D=0 0E+P=PE+P=P,电位移三个分量:,电位移三个分量:D D1 1=P=P1 1,D D2 2=P=P2 2,D D3 3=P=P3 3。将这些关系代入到(将这些关系代入到(4-94-9)式,即得到用电位移)式,
15、即得到用电位移分量与应力分量表示石英晶体正向压电效应表分量与应力分量表示石英晶体正向压电效应表示式为,示式为,第24页式中附标式中附标E E表示电场强度表示电场强度E=0E=0。第25页从以上两式式能够看出:从以上两式式能够看出:(1 1)对对于于石石英英晶晶体体不不是是在在任任何何方方向向上上都都存存在在压压电电效效应应,只只有有在在一一些些方方向向上上,在在一一些些力力作作用用下下,产产生生才才能能出出现现正正压压电电效效应应。比比如如,在在石石英英晶晶体体x x方方向向,只只有有X X1 1、X X2 2、X X4 4作作用用时时,才才能能在在x x方方向向压压电电效效应应,而而X X3
16、 3、X X5 5、X X6 6不不能能在在x x方方向向压压电电效效应应。在在石石英英晶晶体体z z方方向向,不不论论在在什什么么方方向向作作用用多多大大力力,都都不能在不能在z z方向压电效应。方向压电效应。第26页(2 2)石石英英晶晶体体独独立立压压电电常常数数只只有有d d1111与与d d1414两两个个,它们数值是:它们数值是:d d1111=-2.31=-2.31 1010-12-12库仑库仑/牛顿,牛顿,d d1414=0.73=0.73 1010-12-12库仑库仑/牛顿。牛顿。第27页对对于于普普通通情情况况,比比如如属属于于三三斜斜晶晶系系1 1(C C1 1)点点群群
17、压压电电晶晶体体是是完完全全各各向向异异性性,独独立立压压电电常常数数共共有有1818个个,用矩阵表示即为,用矩阵表示即为,第28页可见压电常数可见压电常数d d矩阵形式是一个三行六列矩阵,矩阵形式是一个三行六列矩阵,即即d d是一个三级张量。普通情况下正压电效应表是一个三级张量。普通情况下正压电效应表示式为:示式为:第29页或简写为:或简写为:或:或:第30页逆压电效应逆压电效应 inverse effect inverse effect当当晶晶体体受受到到电电场场E E作作用用时时,晶晶体体产产生生与与电电场场成成线线性性百百分分比比畸畸变变,这这个个现现象象称称为为逆逆压压电电效效应应。
18、逆逆压压电电效效应应产产生生是是因因为为压压电电晶晶体体受受到到电电场场作作用用时时,在在晶晶体体内内部部产产生生应应力力,这这个个应应力力常常称称为为压压电电应应力。经过压电应力作用,产生压电形变。力。经过压电应力作用,产生压电形变。仍以石英晶体为例说明以下。仍以石英晶体为例说明以下。第31页(1 1)选取石英晶体)选取石英晶体x x切割晶片,以切割晶片,以x x面为电极面。当面为电极面。当晶片只受到晶片只受到x x方向电场分量方向电场分量E E1 1作用(应力张量作用(应力张量X=0X=0)时,分别在)时,分别在x x方向和方向和y y方向产生应变方向产生应变x x1 1和和x x2 2以
19、以及切应变及切应变x x4 4,这些应变都与,这些应变都与E E1 1成正比,即成正比,即其中下标其中下标X X表示应力张量表示应力张量X=0X=0。第32页(2 2)以)以y y面为电极面,当晶片只受到面为电极面,当晶片只受到y y方向电场方向电场分量分量E E2 2作用时,分别产生切应变作用时,分别产生切应变x x5 5和和x x6 6,这些,这些应变都与应变都与E E2 2正比,即:正比,即:第33页(3 3)以)以z z面为电极面,当晶片只受到面为电极面,当晶片只受到z z方向电场方向电场分量分量E E3 3作用时,晶片不产生任何形变。作用时,晶片不产生任何形变。综合上述结果,得到石英
20、晶体逆压电效应表示式,综合上述结果,得到石英晶体逆压电效应表示式,用矩阵表示为用矩阵表示为第34页逆压电效应逆压电效应第35页从上式能够看出:从上式能够看出:(1 1)对对于于石石英英晶晶体体不不是是在在任任何何方方向向上上都都存存在在逆逆压压电电效效应应,只只有有在在一一些些方方向向,在在一一些些电电场场作作用用下下,才才能能产产生生逆逆压压电电效效应应。比比如如,当当x x方方向向电电场场分分量量E E1 1作作用用时时,可可产产生生压压电电形形变变x x1 1和和x x2 2以以及及压压电电切切应应变变x x4 4。又又如如当当z z方方向向电电场场分分量量E E3 3作作用用时时,晶晶
21、体体不不会会产产生生任任何形变。何形变。第36页(2 2)逆逆压压电电常常数数与与正正压压电电常常数数相相同同,而而且且一一一一对应。对应。(3 3)有有正正压压电电效效应应方方向向就就有有对对应应逆逆压压电电效效应应。晶晶体体中中那那个个方方向向上上有有正正压压电电效效应应,则则此此方方向上一定存在逆压电效应。向上一定存在逆压电效应。第37页对于普通情况,比如三斜晶系中压电晶体,它逆对于普通情况,比如三斜晶系中压电晶体,它逆压电效应用矩阵表示即为,压电效应用矩阵表示即为,第38页transpose将将正正压压电电效效应应方方程程式式与与逆逆压压电电效效应应方方程程式式比比较较,可可见见逆逆压
22、压电电效效应应表表示示式式中中,压压电电常常数数矩矩阵阵是是正正压压电电常常数数矩矩阵阵d d转转置置矩矩阵阵。惯惯用用表表示示d dt t。d dt t是是一一个个六六行行三三列列矩矩阵阵,于于是是逆逆压压电电效效应应方方程程式式可可简简写为写为或或第39页关于压电常数关于压电常数d dnini意义意义压压电电晶晶体体与与其其它它晶晶体体主主要要区区分分在在于于压压电电晶晶体体介介电电性性质质与与弹弹性性性性质质之之间间存存在在线线性性耦耦合合关关系系,而压电常数就是反应这种耦合关系物理量。而压电常数就是反应这种耦合关系物理量。第40页由由(4-174-17)式式可可得得,d dnini=(
23、=(x xi i/E En n)X X,即即应应力力X X为为零零时时(或或X X为为常常数数时时),因因为为电电场场强强度度分分量量E En n改改变变引引发发应应变变分分量量x xi i改改变变与与电电场场强强度度分分量量E En n改改变变之之比比。或或者者说说d dnini为为应应力力为为零零时时,压压电电晶晶体体应应变变分分量量x xi i随电场强度分量随电场强度分量E En n改变率。改变率。第41页由由(4-134-13)式式可可得得,d dmjmj=(=(D Dm m/X Xj j)E E,为为电电场场强强度度为为零零时时(或或E E为为常常数数时时),因因为为应应力力分分量量
24、X Xj j改改变变引引发发电电位位移移分分量量D Dm m改改变变与与应应力力分分量量X Xj j改改变变之之比比。或或者者说说d dmjmj为为电电场场强强度度为为零零时时,压压电电晶晶体体电电位位移移分分量量D Dm m随应力分量随应力分量X Xj j改变率。改变率。试试验验上上常常依依据据d dmjmj=(=(D Dm m/X Xj j)E E来来测测量量压压电电晶晶体体压压电常数电常数d dmjmj。第42页 压电常数与对称性压电常数与对称性 第43页与与介介电电常常数数和和弹弹性性常常数数一一样样,晶晶体体压压电电常常数数也也与与晶晶体体对对称称性性相相关关。不不一一样样对对称称性
25、性晶晶体体,不不但但压压电电常常数数数数值值不不一一样样,而而且且独独立立压压电电常常数数也也不不一样。一样。这这一一节节主主要要内内容容是是怎怎样样依依据据不不一一样样类类型型压压电电晶晶体体对对称称性性,来来确确定定它它压压电电效效应应和和压压电电常常数数。先先介介绍绍晶晶体体对对称称性性与与电电偶偶极极矩矩分分布布;其其次次 一一石石英英晶体和钛酸钡晶体为例做深入分析讨论。晶体和钛酸钡晶体为例做深入分析讨论。第44页晶体对称性与电偶极矩分布晶体对称性与电偶极矩分布 压压电电晶晶体体物物理理性性质质特特点点是是,形形变变能能使使晶晶体体产产生生极极化化(或或者者说说能能改改变变晶晶体体极极
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