表面工程学(课堂PPT).ppt
《表面工程学(课堂PPT).ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《表面工程学(课堂PPT).ppt(68页珍藏版)》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
1、主讲人:朱主讲人:朱 芠芠Tel:027-87558310Email:1表面工程学表面工程学曾晓雁,吴懿平曾晓雁,吴懿平 主编主编 机械工业出版社,机械工业出版社,20012001材料表面工程材料表面工程徐滨士,朱绍华,刘世参徐滨士,朱绍华,刘世参编著编著 哈尔滨工业大学出版社,哈尔滨工业大学出版社,20052005参考教材参考教材21.1 表面工程学的定义与内涵表面工程学的定义与内涵1.2 表面工程的特点与意义表面工程的特点与意义1.3 表面工程技术的分类表面工程技术的分类3磨损、腐蚀、断裂是机械零件工程构建的三大主要磨损、腐蚀、断裂是机械零件工程构建的三大主要破坏形式。前二者造成经济损失占
2、很大比重。破坏形式。前二者造成经济损失占很大比重。数数 据据磨磨损损美国:美国国家材料政策委员会向美国国美国:美国国家材料政策委员会向美国国 会提出的一份报告:会提出的一份报告:摩擦磨损引起的损失摩擦磨损引起的损失10001000亿美元亿美元/年;年;德国:德国:19831983年,前联邦德国调查,摩擦磨年,前联邦德国调查,摩擦磨损损失损损失287287亿马克;亿马克;英国:摩擦磨损损失英国:摩擦磨损损失5150051500英镑英镑/年;年;4腐腐蚀蚀美国:国家标准局美国:国家标准局19781978年调查:年调查:19751975年腐蚀损失达年腐蚀损失达820820亿美元,占亿美元,占国民生产
3、总值的国民生产总值的4.9%4.9%;19951995年腐蚀损失达年腐蚀损失达30003000亿美元;亿美元;中国:中国:19831983年调查:腐蚀损失年调查:腐蚀损失400400亿元亿元/年年腐腐蚀蚀和和磨磨损损均均是是发发生生于于机机件件表表面面的的材材料料流流失失过过程程,其其他他形形式式的的失失效效过过程程有有许许多多也也是是从表面开始从表面开始延缓和延缓和控制表控制表面破坏面破坏的方法的方法促进促进了表了表面工面工程学程学的发的发展与展与形成形成5表面工程学围绕表面工程学围绕腐蚀腐蚀、摩擦与磨损摩擦与磨损和和功能功能特性特性(声,光,磁,电的转换)三大因素,(声,光,磁,电的转换)
4、三大因素,成为成为80年代后期重点发展的关键技术之一,年代后期重点发展的关键技术之一,形成表面工程学。形成表面工程学。定义定义为满足特定的工程需求,使材料表面或为满足特定的工程需求,使材料表面或零部件表面具有特殊的成分,结构和性零部件表面具有特殊的成分,结构和性能能(或功能或功能)的化学,物理方法与工艺。的化学,物理方法与工艺。6表面改性技术;表面改性技术;1表面合成材料技术;表面合成材料技术;3表面加工技术;表面加工技术;2u提高耐磨性、耐蚀性、抗高温氧化性能、装饰提高耐磨性、耐蚀性、抗高温氧化性能、装饰性,或具有特殊功能(如电性能、磁性能和光性,或具有特殊功能(如电性能、磁性能和光电性能等
5、)电性能等)u能够在材料表面加工或制作各种功能结构元器能够在材料表面加工或制作各种功能结构元器件的有关技术。如光刻技术、离子刻蚀技术等件的有关技术。如光刻技术、离子刻蚀技术等 表面加工三维合成技术;表面加工三维合成技术;4u即借助各种手段在材料表面合成新材料的技术,即借助各种手段在材料表面合成新材料的技术,如纳米粒子制备过程中的表面工程技术、离子如纳米粒子制备过程中的表面工程技术、离子注入等注入等u快速成型制造快速成型制造上述几个要点的组合或综合;上述几个要点的组合或综合;57内涵扩展内涵扩展表面工程技术所涉及的基材包括几乎所有的工表面工程技术所涉及的基材包括几乎所有的工程材料,如金属、陶瓷、
6、半导体材料、高分子程材料,如金属、陶瓷、半导体材料、高分子材料、混凝土、木材和各类复合材料等,所涉材料、混凝土、木材和各类复合材料等,所涉及的工艺方法数以百计,各具特点。及的工艺方法数以百计,各具特点。经过内涵扩展以后的表面工程技术,由单纯的经过内涵扩展以后的表面工程技术,由单纯的表面改性扩展到表面加工和合成新材料等领域,表面改性扩展到表面加工和合成新材料等领域,涵盖涵盖材料科学、物理、化学、冶金、机械、电材料科学、物理、化学、冶金、机械、电子与生物子与生物等领域,成为新型的、名副其实的交等领域,成为新型的、名副其实的交叉学科。叉学科。81.学习掌握表面工程技术的基本理论和基本特学习掌握表面工
7、程技术的基本理论和基本特点。点。2.能够根据工程的需要选择相应的表面工程技能够根据工程的需要选择相应的表面工程技术或几种技术的组合,选择所用材料和制定术或几种技术的组合,选择所用材料和制定最佳工艺,解决工程问题。最佳工艺,解决工程问题。3.具备基本的研究与开发表面工程新技术的能具备基本的研究与开发表面工程新技术的能力。力。93)兼有装饰和防护功能;)兼有装饰和防护功能;4)化学气相沉积,物理气相沉积,掩模,光刻等表面)化学气相沉积,物理气相沉积,掩模,光刻等表面薄膜沉积技术和表面细微加工是制造大规模集成电薄膜沉积技术和表面细微加工是制造大规模集成电路的基础;路的基础;5)生成型制造法是以表面加
8、工为基础;)生成型制造法是以表面加工为基础;1 1)作用于表面,对基材组织与性能影响不大;)作用于表面,对基材组织与性能影响不大;2 2)采用表面技术替代整体合金化;)采用表面技术替代整体合金化;6)可以在表面制备整体合金化难以做到的特殊性能合)可以在表面制备整体合金化难以做到的特殊性能合金金。10按学科特点:按学科特点:1 1)表面合金化技术)表面合金化技术 u利用外来元素与基材元素相混合,形成成分不同于基材和添加利用外来元素与基材元素相混合,形成成分不同于基材和添加材料的表面新材料。材料的表面新材料。喷焊、堆焊、离子注入、激光熔覆、热渗镀。喷焊、堆焊、离子注入、激光熔覆、热渗镀。2 2)表
9、面覆盖和覆膜技术)表面覆盖和覆膜技术3)表面组织转化)表面组织转化u不改变基材的成分,利用外加涂层或镀不改变基材的成分,利用外加涂层或镀层的性能使基材表面性能优化。层的性能使基材表面性能优化。热喷镀、电镀、化学转化处理、化学镀、气相沉积、涂装、热喷镀、电镀、化学转化处理、化学镀、气相沉积、涂装、金属染色。金属染色。u不改变材料的表面成分,只是通过改变其组织结构特性或应力不改变材料的表面成分,只是通过改变其组织结构特性或应力状况来改变材料的性能。状况来改变材料的性能。激光表面淬火、电子束热处理、喷丸、滚压。激光表面淬火、电子束热处理、喷丸、滚压。1112表面工程技术实施的对象是固体材料的表面,表
10、面工程技术实施的对象是固体材料的表面,因此掌握材料因此掌握材料表面表面与与界面界面的基础知识是正确选的基础知识是正确选择与运用表面工程技术的基础。择与运用表面工程技术的基础。成功运用表面工程技术的两个要素是:成功运用表面工程技术的两个要素是:掌握各种表面工程技术的特点。掌握各种表面工程技术的特点。了解和掌握影响材料表面性能的主要因素,其了解和掌握影响材料表面性能的主要因素,其中,材料的中,材料的耐磨性耐磨性和和抗蚀性抗蚀性影响因素众多,本影响因素众多,本章将重点进行介绍。章将重点进行介绍。13表面表面固相与气相的分界面。固相与气相的分界面。界面界面固相之间的分界面。固相之间的分界面。相界面相界
11、面不同凝聚相之间的分界面,不同凝聚相之间的分界面,如:如:A A与与M M,F F与与M M同相中晶粒之间的分界面称为晶界同相中晶粒之间的分界面称为晶界 微晶微晶 m m;非晶;非晶1nm1nm141 1 1 1 理想表面理想表面理想表面理想表面认为半无限晶体中的原子位置和电子密度都和原无限晶体认为半无限晶体中的原子位置和电子密度都和原无限晶体一样。显然自然界很难获得理想表面。一样。显然自然界很难获得理想表面。2 2 2 2 洁净表面洁净表面洁净表面洁净表面由于在垂直于表面方向上,晶内原子排列呈周期性变化,而表由于在垂直于表面方向上,晶内原子排列呈周期性变化,而表面原子的近邻原子数减少,使得其
12、拥有的能量大于晶体内部原面原子的近邻原子数减少,使得其拥有的能量大于晶体内部原子的能量,超出的能量正比于减少的键数,该部分能量即为材子的能量,超出的能量正比于减少的键数,该部分能量即为材料的表面能。料的表面能。表面能表面能允许有吸附物,只有经过特殊处理方法得到,如高温处允许有吸附物,只有经过特殊处理方法得到,如高温处理、离子轰击加热退火等。理、离子轰击加热退火等。材料表层原子结构的周期性不同于体内,但化学成分与体内相同,这材料表层原子结构的周期性不同于体内,但化学成分与体内相同,这种表面称为洁净表面。相对于表面受污染程度和理想表面而言的。种表面称为洁净表面。相对于表面受污染程度和理想表面而言的
13、。15驰豫;驰豫;指表面附近的点阵常数在垂直指表面附近的点阵常数在垂直方向上较晶体内部发生明显的方向上较晶体内部发生明显的变化。变化。重构重构;指表面原子在水平方向的周期性不指表面原子在水平方向的周期性不同于体内的晶面同于体内的晶面。台阶化台阶化;台阶化是指实际晶体的外台阶化是指实际晶体的外表面由许多密排面的台阶表面由许多密排面的台阶构成构成偏析和吸附偏析和吸附是指化学组分在表面是指化学组分在表面区的变化区的变化在获得的各种涂层或镀膜之前,常需采用各种预处理工艺获得清洁表面;在获得的各种涂层或镀膜之前,常需采用各种预处理工艺获得清洁表面;微电子工业中气相沉积和微细加工则需要超洁净表面。微电子工
14、业中气相沉积和微细加工则需要超洁净表面。在高洁净度的表面上可以发生多种与体内不同在高洁净度的表面上可以发生多种与体内不同的结构和成分的变化:的结构和成分的变化:3 3 3 3 清洁表面清洁表面清洁表面清洁表面指经过清洗(脱脂,浸湿)以指经过清洗(脱脂,浸湿)以 后的表面。后的表面。16波纹度:指在一段较长距离内出现一个峰和谷的波纹度:指在一段较长距离内出现一个峰和谷的 周期。周期。粗糙度:在较短距离内(粗糙度:在较短距离内(2800m)出现的凹凸)出现的凹凸 不平(不平(0.03400m)的程度。)的程度。4 4 4 4 机械加工过的表面机械加工过的表面机械加工过的表面机械加工过的表面实际零件
15、表面不可能绝对平滑光整,微观上实际零件表面不可能绝对平滑光整,微观上由不规则的起伏不平的峰谷组成。由不规则的起伏不平的峰谷组成。表面的不平整性包括表面的不平整性包括波纹度波纹度和和粗糙度粗糙度两个概念。两个概念。17材料表面粗糙度与加工方法相关,材料表面粗糙度与加工方法相关,最后一道加工工序起决定作用。最后一道加工工序起决定作用。粗糙度的表示方法:粗糙度的表示方法:轮廓的算术平均偏差轮廓的算术平均偏差RaRa:yi为峰或谷的绝对值,为峰或谷的绝对值,n为测量个数。为测量个数。真实面积与投影面积的比值真实面积与投影面积的比值i i:Ai为真实面积,为真实面积,Al为为Ai的投影面积。的投影面积。
16、18p除除Au以外,金属经机械加工后,在常温常压下会以外,金属经机械加工后,在常温常压下会发生氧化。因此,在固体表面会吸附一层外来原发生氧化。因此,在固体表面会吸附一层外来原子。子。氧化皮氧化皮p大部分表面覆层技术在工艺实施之前,都要求对大部分表面覆层技术在工艺实施之前,都要求对表面进行预处理,清除掉表面的氧化皮,以便提表面进行预处理,清除掉表面的氧化皮,以便提高覆层与基材的结合强度。高覆层与基材的结合强度。5 5 5 5 一般表面一般表面一般表面一般表面由于表面原子的能量处于非平衡状态,一般由于表面原子的能量处于非平衡状态,一般会在固体表面吸附一层外来原子。会在固体表面吸附一层外来原子。19
17、1 1 基于固相晶体尺寸和微观结构差异形成的界面;基于固相晶体尺寸和微观结构差异形成的界面;2 2 基于固相组织或晶体结构形成的界面;基于固相组织或晶体结构形成的界面;3 3 基于固相宏观成分差异形成的界面;基于固相宏观成分差异形成的界面;界面通常指两个块体之间的过渡区,其空间尺度界面通常指两个块体之间的过渡区,其空间尺度决定于原子间力作用影响范围的大小;其状态决决定于原子间力作用影响范围的大小;其状态决定于材料和环境条件特性。定于材料和环境条件特性。最为常见的界面类型有:最为常见的界面类型有:20u600#SiC砂纸研磨黄铜砂纸研磨黄铜,深度可达深度可达1-10um;u单晶塑变层单晶塑变层多
18、晶塑变层多晶塑变层抛光金属的表面组织:抛光金属的表面组织:微晶层微晶层具有粘性液体膜似的非晶具有粘性液体膜似的非晶态外观态外观,不仅能将表面覆盖不仅能将表面覆盖得很平滑得很平滑,而且能流入裂纹而且能流入裂纹划痕等表面不规则处划痕等表面不规则处;塑性流塑性流变层变层塑变程度与深度有关塑变程度与深度有关;与与硬度成反比硬度成反比;21钢中珠光体钢中珠光体:F:F和渗和渗C C体体;钢表面淬火钢表面淬火:表面为表面为M,M,心部仍为原始组织心部仍为原始组织,存在过渡区。它存在过渡区。它由部分马氏体和部分铁素体、珠光体混合而成。由部分马氏体和部分铁素体、珠光体混合而成。典型特征典型特征典型特征典型特征
19、:两相之间微观成分和组织存在很大两相之间微观成分和组织存在很大差异差异;无宏观成分的明显区别无宏观成分的明显区别.典型例子典型例子典型例子典型例子:这种相界面虽然在微观尺度的晶体结构上有明显的突变,但这种相界面虽然在微观尺度的晶体结构上有明显的突变,但从宏观来看,组织的变化存在一个渐变区域。因此,材料在从宏观来看,组织的变化存在一个渐变区域。因此,材料在服役过程中不存在表面层剥落等情况。服役过程中不存在表面层剥落等情况。22冶金结合界面冶金结合界面冶金结合界面冶金结合界面覆层与基材是通过处于熔融状态的覆层材料沿半熔覆层与基材是通过处于熔融状态的覆层材料沿半熔化状态的基材表面向外凝固结晶而形成的
20、。化状态的基材表面向外凝固结晶而形成的。特点特点结合强度高,金属键结合,承结合强度高,金属键结合,承载大,不易剥落载大,不易剥落典型工艺典型工艺堆焊;喷焊;激光熔覆等技术堆焊;喷焊;激光熔覆等技术23扩散结合界面扩散结合界面扩散结合界面扩散结合界面两个固体直接接触,通过抽真空、加热、加压、界两个固体直接接触,通过抽真空、加热、加压、界面扩散和反应等途径所形成的结合界面。面扩散和反应等途径所形成的结合界面。特点特点覆层与基材之间成分梯度变化。覆层与基材之间成分梯度变化。典型工艺典型工艺扩散焊,热扩渗等工艺扩散焊,热扩渗等工艺 24外延生长界面外延生长界面外延生长界面外延生长界面在单晶衬底表面沿原
21、来的结晶轴向生成一层晶格完在单晶衬底表面沿原来的结晶轴向生成一层晶格完整的新单晶层的工艺过程,称为外延生长。整的新单晶层的工艺过程,称为外延生长。特点特点外延的程度取决于基体与外延层的晶外延的程度取决于基体与外延层的晶格类型和常数。具体的结合强度取决于格类型和常数。具体的结合强度取决于结合键的类型,如分子键、共价键、离结合键的类型,如分子键、共价键、离子键或金属键等。子键或金属键等。典型工艺典型工艺气相外延,如化学气相沉积技术;气相外延,如化学气相沉积技术;液相外延,如电化学等。液相外延,如电化学等。25化学键结合界面化学键结合界面化学键结合界面化学键结合界面覆层材料与基材之间发生化学反应,形
22、成成分固定覆层材料与基材之间发生化学反应,形成成分固定的化合物时,两种材料的界面就称为化学键结合界的化合物时,两种材料的界面就称为化学键结合界面。如面。如Ti合金表面气相沉积形成合金表面气相沉积形成TiN和和TiC薄膜。薄膜。特点特点结合强度较高,但界面的韧性较差,结合强度较高,但界面的韧性较差,易发生脆性断裂或剥落。易发生脆性断裂或剥落。典型工艺典型工艺物理和化学气相沉积、离子注入、物理和化学气相沉积、离子注入、化学转化膜等技术化学转化膜等技术 26分子键结合界面分子键结合界面分子键结合界面分子键结合界面以范德华力结合的覆层与基体的界面以范德华力结合的覆层与基体的界面特点特点界面特征为未发生
23、扩散和化学作用。界面特征为未发生扩散和化学作用。典型工艺典型工艺部分物理气相沉积层、涂装技术中有部分物理气相沉积层、涂装技术中有机粘结涂层机粘结涂层机械结合界面机械结合界面机械结合界面机械结合界面两种材料相互镶嵌的机械连接作用形成的界面两种材料相互镶嵌的机械连接作用形成的界面典型工艺典型工艺热喷涂,包镀,钎焊热喷涂,包镀,钎焊27在表面科学中,任何一个二维周期结构的重复性在表面科学中,任何一个二维周期结构的重复性都可用一个二维布拉菲晶格都可用一个二维布拉菲晶格(点阵点阵)加上结点加上结点(阵点阵点)来描述。来描述。实际表面结构并不是完整无缺的,存在着很多缺实际表面结构并不是完整无缺的,存在着很
24、多缺陷。陷。典型的典型的TLKTLK模型分析:模型分析:28考塞尔考塞尔考塞尔考塞尔(Kossel)Kossel)Kossel)Kossel)斯特朗斯基斯特朗斯基斯特朗斯基斯特朗斯基(Stranski)Stranski)Stranski)Stranski)表面晶表面晶表面晶表面晶体结构物理模型体结构物理模型体结构物理模型体结构物理模型平台平台(Terrace)-台阶台阶(Ledge)扭折扭折(Kink)模型模型表面区的每个原子都可以用最近邻数来描述表面区的每个原子都可以用最近邻数来描述29根据根据TLKTLK模型,台阶一般比较光滑,但温度模型,台阶一般比较光滑,但温度,扭折数会增加,扭折间距扭
25、折数会增加,扭折间距0 0和温度及晶面指数和温度及晶面指数k k有关,可由下式描述:有关,可由下式描述:-原子间距;原子间距;E EL L台阶生成能台阶生成能面心立方(面心立方(111111)面上台阶的)面上台阶的 0 0约为约为4.4.简单立方(简单立方(100100)晶面上台阶的)晶面上台阶的 0 0约为约为3030实际中,表面会存在大量缺陷,如空位、位错实际中,表面会存在大量缺陷,如空位、位错露头、晶界痕迹等。露头、晶界痕迹等。据分析据分析30扩散扩散物质中原子(分子)的迁移现象称为物质中原子(分子)的迁移现象称为物质中原子(分子)的迁移现象称为物质中原子(分子)的迁移现象称为扩散扩散扩
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 表面 工程学 课堂 PPT
限制150内